【課題】ＰＳＡ法を利用して高純度ヘリウムを高収率で得るのに適したヘリウム精製方法と装置を提供する。
【解決手段】本発明のヘリウム精製方法では、原料ガスＧ₀を貯留槽１０に取り込み、また、吸着剤が充填された吸着塔３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃに向けて貯留槽１０から混合ガスＧ₁を供給する。そして、吸着工程と脱着工程を含むサイクルを各吸着塔にて繰り返し行う。吸着工程では、塔内が相対的に高圧である状態にて、当該吸着塔にガスＧ₁を導入してガスＧ₁中の不純物を吸着剤に吸着させ、且つ、ヘリウムが富化されたガスＧ₂を当該吸着塔から導出する。脱着工程では、塔内を降圧して吸着剤から不純物を脱着させ、且つ、当該吸着塔からガスを導出する。また、脱着工程は、当該工程の開始から途中までにおいて吸着塔からガスＧ₅を導出する第１脱着工程と、吸着塔からガスＧ₆を導出する第２脱着工程とを含み、ガスＧ₅を貯留槽１０に戻す。 （もっと読む）

【課題】 クリプトンやキセノン、ネオンを使用する半導体製造装置からの排ガスから不純物を効果的に除去してクリプトン等を循環再利用できるガス分離方法及び装置を提供する。
【解決手段】 クリプトン、キセノン、ネオンの少なくとも１種を含む混合ガス中の不純物成分を分離除去するにあたり、不純物成分のアンモニアと窒素酸化物とを脱硝触媒により窒素及び水蒸気に転化させてアンモニア及び窒素酸化物の少なくともいずれか一方を除去する触媒反応工程と、窒素酸化物を窒素と水蒸気とに転化する脱硝工程と、アンモニア及び水蒸気を吸着分離する第１吸着分離工程と、クリプトン、キセノン及びネオンを吸着する第２吸着剤に対して難吸着性の不純物成分を排出する第２吸着分離工程と、第２吸着分離工程で第２吸着剤に吸着したガス成分を回収する脱着回収工程と、第３吸着剤に接触させて易吸着性のガス成分を吸着分離する第３吸着分離工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】深冷空気分離法によってアルゴンを製造する際に、アルゴンの回収率を高めることができ、しかも酸素および窒素の収率がこれによって影響を受けないようにする。
【解決手段】低圧蒸留塔の中間に熱交換型蒸留器１９を配し、その空気蒸留通路２０において上部低圧塔１５から流下する第２酸素富化液化空気と下部低圧塔１０から上昇する第１酸素富化ガスをアルゴン蒸留通路２１から与えられた熱を利用して蒸留し、空気蒸留通路頂部に分離した第２酸素富化ガスを上部低圧塔に供給するとともに空気蒸留通路底部に分離した第３酸素富化液化空気を下部低圧塔に流下液として供給し、そのアルゴン蒸留通路において粗アルゴン塔２３頂部から導入されたアルゴン富化ガスを空気蒸留通路に奪われる熱で凝縮して蒸留し、アルゴン蒸留通路頂部に濃縮されたアルゴンガスを採取し、アルゴン蒸留通路底部からの粗液体アルゴンを粗アルゴン塔頂部に戻して還流液とする。 （もっと読む）

【課題】大量の窒素ガス、希ガス中の水素、一酸化炭素、二酸化炭素、酸素および水を除去、精製する際に、精製装置のコンパクト化が可能であり、高価なジルコニウムゲッターやニッケル触媒などの触媒の使用量を低減でき、精製コストを削減できるようにする。
【解決手段】窒素ガスまたは希ガスを水分吸着剤に接触させて水を除去するとともにガスの流れを整流する。ついで、水素還元したニッケル触媒に接触させて水素、一酸化炭素および酸素を除去する。さらにアルミナに接触させて二酸化炭素を除去し、かつガスの流れをダウンフローとし、その流速を空塔速度で３１〜１００ｃｍ／秒とする。 （もっと読む）

【課題】ヘリウム液化機において循環使用されて回収された不純ヘリウムガス中の水素を低費用で、小規模装置により簡便に除去できるようにする。
【解決手段】回収された不純ヘリウムガスをガスバッグ５２に貯め、これを回収ガス圧縮機５３で加圧した後、ヘリウム乾燥機５４で乾燥し、不純カードル５５に貯留する。不純カードルからの不純ヘリウムガスの一部をゲッター剤が充填された水素除去筒５８に導入して水素を除去し、このへリウムガスを再度ガスバッグ５２に貯める。不純カードルからの不純ヘリウムガスの残部をヘリウム液化機の低温精製装置６１に送る。 （もっと読む）

【課題】クリプトン及び／又はキセノンの回収方法と装置を提供すること。
【解決手段】酸素と、クリプトン及びキセノンからなる群より選ばれる少なくとも１種の希ガスとを含み混合物から、当該混合物又はそれに由来する混合物を希ガス回収系へ供給しこの混合物原料を当該希ガス回収系において分離して希ガスの減少した気体酸素（ＧＯＸ）と希ガスを富化した製品とにすることを含む方法でもって、クリプトン及び／又はキセノンを粗く分離する。この方法は、当該混合物の少なくとも約５０モル％を希ガス回収系へ気相でもって供給し、但し当該混合物原料を選択的な吸着により分離する場合には、当該混合物原料中のキセノン濃度は空気中のキセノン濃度の５０倍以下であることを特徴とする。本発明の好ましい態様の一つの利点は、それを既存のポンプ移送液体酸素サイクルの空気分離装置に容易に追加導入できることである。 （もっと読む）

【課題】クリプトン及び／又はキセノンの回収方法と装置を提供すること。
【解決手段】酸素と、クリプトン及びキセノンからなる群より選ばれる少なくとも１種の希ガスとを含み混合物から、当該混合物又はそれに由来する混合物を希ガス回収系へ供給しこの混合物原料を当該希ガス回収系において分離して希ガスの減少した気体酸素（ＧＯＸ）と希ガスを富化した製品とにすることを含む方法でもって、クリプトン及び／又はキセノンを粗く分離する。この方法は、当該混合物の少なくとも約５０モル％を希ガス回収系へ気相でもって供給し、但し当該混合物原料を選択的な吸着により分離する場合には、当該混合物原料中のキセノン濃度は空気中のキセノン濃度の５０倍以下であることを特徴とする。本発明の好ましい態様の一つの利点は、それを既存のポンプ移送液体酸素サイクルの空気分離装置に容易に追加導入できることである。 （もっと読む）

【課題】ＰＳＡ法を利用して高純度アルゴンを高収率で得るのに適したアルゴン精製方法と装置を提供する。
【解決手段】本発明のアルゴン精製方法では、原料ガスＧ₀を貯留槽１０に取り込み、また、吸着剤が充填された吸着塔３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃに向けて貯留槽１０から混合ガスＧ₁を供給する。そして、吸着工程と脱着工程を含むサイクルを各吸着塔にて繰り返し行う。吸着工程では、塔内が相対的に高圧である状態にて、当該吸着塔にガスＧ₁を導入してガスＧ₁中の不純物を吸着剤に吸着させ、且つ、アルゴンが富化されたガスＧ₂を当該吸着塔から導出する。脱着工程では、塔内を降圧して吸着剤から不純物を脱着させ、且つ、当該吸着塔からガスを導出する。また、脱着工程は、当該工程の開始から途中までにおいて吸着塔からガスＧ₅を導出する第１脱着工程と、吸着塔からガスＧ₆を導出する第２脱着工程とを含み、ガスＧ₅を貯留槽１０に戻す。 （もっと読む）

本発明は、ナトロライト系ゼオライトを用いたガスの選択的分離に係り、さらに詳しくは、新規なナトロライト系ゼオライトおよびナトロライト系ゼオライトを用いた水素および／またはヘリウムガスの選択的分離に関する。本発明は、水素を含むガスをナトロライト系ゼオライトに接触させて水素を選択的を分離することを特徴とする。本発明によって、水素および／またはヘリウムを選択的に分離可能な吸着体が得られ、前記水素および／またはヘリウムを常温または高温で分離可能な方法が得られる。 （もっと読む）

【課題】ユーザーサイトにて、クリプトンガスの含有量が０．１ｐｐｂ以下、好ましくは１０ｐｐｔ以下、より好ましくは０．１ｐｐｔ以下の超高純度の液体キセノンを精製することが可能なキセノン精留装置を提供する。
【解決手段】キセノン精留装置１０は、リボイラー１５と、上部に順に連設された精留筒１６およびコンデンサー１７を備えた精留塔１１を有し、コンデンサー１７はキセノンガスの凝縮部２８をなす内部空間が設けられた凝縮部本体２３、頂部に設けられ凝縮部本体２３を冷却する蓄冷式小型冷凍機２４の冷却部ヘッド３２、凝縮部２８と冷却部ヘッド３２の間に設けられた電気ヒーター２５および第一の温度センサー２６、および、凝縮部２８の下部に設けられた第二の温度センサー２７を備え、凝縮部２８に凝縮部本体２３の頂部側の内面から垂下する多数の柱状の伝熱部２９が互いに間隔を置いて設けられている。 （もっと読む）