【課題】 キセノン−塩素系ガスを使用するエキシマレーザ装置から、その大部分を占めているネオンガスを効率よく回収する方法を提供する。
【解決手段】 キセノン−塩素系エキシマレーザガスを使用したエキシマレーザ装置(１)からの排出エキシマレーザガスから塩化水素成分を除去する第１ステップと、第ステップ１でのスルーガスを触媒装置(８)に通過させることで排出エキシマレーザガスから水素成分を除去する第２ステップと、第２ステップでのスルーガスをキセノン沸点温度で第１次低温吸着処理する第３ステップと、第３ステップでのスルーガスを窒素沸点温度で第２次低温吸着処理する第４ステップとを含む処理工程で、エキシマレーザガス中のネオンガスを精製回収する。 （もっと読む）

【課題】 低濃度のＸｅが含まれるプラズマエッチング等の半導体製造プロセス排ガス中より、水分、ＣＯ_２およびＦＣ等を機能的に除去して高純度なＸｅを回収することが可能な、簡便で捕集効率の高い回収方法および回収装置を提供すること。
【解決手段】 キセノンおよびフルオロカーボンを含む試料について、少なくとも、細孔径４Å以下の合成ゼオライトおよび酸化アルミニウムを直列に配して充填された第１吸着手段（Ａ１）、シリコーン製あるいはポリエチレン製の中空糸ガス分離膜モジュール４からなるガス分離手段（Ａ２）、活性炭、細孔径５Å以上の合成ゼオライト、細孔径５Å以上のモレキュラーシービングカーボン、あるいはこれらの組合せのいずれかが充填された第２吸着手段（Ａ３）、反応剤としてカルシウム化合物が充填された反応手段（Ａ４）、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 バッチ方式とフローセル方式の双方の特徴を生かし、かつ偏極希ガスの生成効率とその利用効率性にも優れたシステムを提供する。
【解決手段】 隙間には希ガスと光ポンピング用触媒の混合気体が流通する平面型セル部と、レーザー光を照射して平面型セル内に励起用光を照射するレーザー光照射部と、磁場印加部と、平面型セル部の温度調節部とを備えた核スピン偏極希ガスの製造装置であって、前記平面型セル部は、平板面の一方がレーザー光透過性とし、核スピン偏極希ガスの導出部を有し、気体導入部は、バルブを開けた時に気体導入のための上流側から平面型セル部である下流側を見通すことが可能な構造のバルブにより、核スピン偏極希ガスの導出部は上流側から生成された核スピン偏極希ガスの導出部となる下流側を見通すことが可能な構造のバルブにより導出と停止が自在とされ、該導出部には極細キャピラリー管が連結と脱着可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 除去し難い不純物としてメタン等の炭化水素を含む不活性ガスから、効率よく容易に前記不純物を除去することが可能で、しかも除去能力が高い不活性ガスの処理方法、精製方法、及びガス処理筒を提供する。
【解決手段】 炭化水素を含む不活性ガスを、加熱下で金属ニッケル及び／または酸化ニッケルを含む処理剤と接触させて、該不活性ガスから炭化水素を除去する。さらに、ゲッター材または吸着剤と接触させて、前記処理剤との接触により生成する除去し易い不純物ガス（水素、二酸化炭素、水）を除去する。また、金属ニッケル及び／または酸化ニッケルを含む処理剤と、ゲッター材が、空間または不活性充填材により互いに分離されて充填されたガス処理筒とする。 （もっと読む）

【課題】冷凍状態で流れている超分極された¹²⁹Ｘｅの連続的又は個別的集積を可能にする。磁気共鳴イメージング（ＭＲＩ）法を通してのヒト及び動物被験者（体）のイメージングを含めた数多くの目的のための超分極された¹²⁹Ｘｅの大規模の生産、貯蔵、及び使用を可能にする。
【解決手段】希ガスを含んでなる高圧条件下の標的ガスを、連続的に分極可能な量の希ガスの多くを保持できる加圧されたガス供給源から連続式又は半連続式にポンピングチャンバに制御可能に流すステップと、超分極された希ガス流を得るために、上記ポンピングチャンバ内の上記希ガスを、アルカリ金属原子とのスピン交換によって超分極するステップと、該ポンピングチャンバから超分極させた希ガスを連続式又は半連続式に制御可能に放出するステップとを含む、連続的に流れる又は一時的に中断された希ガスを超分極する、超分極希ガスの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】過偏光¹²⁹Ｘｅを蓄積するための方法および装置を開示する。
【解決手段】本発明の方法および装置を使用すると、流動する過偏光¹²⁹Ｘｅを凍結状で連続的にあるいは一時的に蓄積することが可能である。この方法を使用すると、過偏光¹²⁹Ｘｅを蓄積することも可能である。本発明は、連続流動配置またはパルス流動配置で¹²⁹Ｘｅ過偏光手段と統合された¹²⁹Ｘｅ蓄積手段（１７）をさらに含む。この方法および装置を使用すると、磁気共鳴イメージング（ＭＲＩ）技術によるヒト被験者および動物被験者のイメージングを含め、多数の目的のための、過偏光¹²⁹Ｘｅの大規模製造、保存および使用が可能になる。 （もっと読む）

【課題】ヘリウムガスの再液化装置に用いられるヘリウム精製器において、不純物を捕捉する捕捉体の熱伝導性を改善する。
【解決手段】ヘリウムガス中の不純物を冷却・固化して捕捉する捕捉体として、三次元網構造を有する発泡金属材料を用いる。発泡金属捕捉体６０をヘリウムガスの流路に配置し、流路を形成する内筒５０、外筒５２および発泡金属捕捉体６０を支持するフランジ６２により熱が伝えられ、冷却および加熱が行われる。三次元網構造を有することにより、発泡金属捕捉体６０の内部まで短時間で熱が伝わる。 （もっと読む）

【課題】ポリマーコーティングされた表面により、過分極不活性ガス、特に好ましくは¹²⁹Ｘｅの表面誘導核スピン緩和及び表面による捕捉を阻害する方法を提供する。
【解決手段】不活性ガスと接触する装置の表面上のポリマーコーティングと不活性ガスとの相互作用の量を阻害することを含む。好ましくは、この方法は、非ゼロ核スピン及び／又は減少したポリマー透過性を有する置換基でポリマー中のプロトンの少なくとも幾つかを置換することにより不活性ガス核スピン緩和を阻害することを含む。不活性ガス捕捉及び核スピン緩和を阻害するポリマーでコーティングされた表面を有する容器をも提供する。更に、本発明は、不活性ガス含有装置のポリマーコーティングにおける不活性ガスの核スピン緩和を減少させかつ捕捉を制限することによる、過分極不活性ガスの製造及び貯蔵を強化する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】触媒槽の長寿命化を図ることができ、空気分離機の減量運転時にアルゴンガス回収量が減少しないように、通常運転時にはアルゴンガスの回収量を増大させることができるように、触媒槽の温度を触媒劣化温度未満で制御すること。
【解決手段】粗アルゴンガス３２を各チューブ３７を通過させ、この際の触媒反応によりガス中酸素を除去する場合に、冷却水４４を強冷却部４１のチューブ３７の外面と触媒槽３１の内面との空間へ流入してチューブ３７を冷却する。これによってチューブ３７内の入口側の強い触媒反応に応じた温度上昇を抑制する。また、その空間の冷却水４４をＵ字型配管４６を介してジャケット４８の空間へ通過させる。これによって、触媒槽３１の外面を冷却してチューブ３７内の出口側の弱い触媒反応に応じた温度上昇を抑制する。 （もっと読む）

【課題】希ガスおよびその他のガスを含む混合ガスから、効率的かつ安価に希ガスを回収する方法を提供する。
【解決手段】銅（II）イオンに代表される金属イオンと、ピラジン−２，３−ジカルボン酸に代表される、窒素、酸素および硫黄からなる群より選ばれる原子を２つ以上有する配位子（Ａ）と、３，６―ビス（４−ピリジル）―１，２，４，５―テトラジンに代表される、上記金属イオンへの配位原子を２つ以上有すると共に、少なくとも１つのヘテロ環骨格を有する配位子（Ｂ）とから構成される三次元構造を有する金属錯体に、上記混合ガスを接触させることにより、希ガスを選択的に金属錯体に吸着させ、回収することが可能である。 （もっと読む）