【課題】ケイフッ化水素酸を含むフッ酸廃液を簡便に処理してケイフッ化水素酸と金属成分を低濃度まで除去することによりフッ酸廃液を再利用可能とするフッ酸回収方法及び装置を提供する。
【解決手段】ケイフッ化水素酸を含むフッ酸廃液をナノ濾過するナノ濾過手段２と、ナノ濾過手段２を経た透過液をアニオン交換処理するアニオン交換手段５と、アニオン交換手段５を経たアニオン交換処理液をカチオン交換処理するカチオン交換手段６とを有するフッ酸回収装置により、上記課題を解決する。この装置において、ナノ濾過手段２で濾過した後の濃縮液をさらにナノ濾過する濃縮液ナノ濾過手段と、その濃縮液ナノ濾過手段で濾過した後の濃縮液を、ナノ濾過手段２に供給されるフッ酸廃液に混合する配管とをさらに備えるように構成してもよい。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板、ガラス基板またはその他の珪素含有材料を処理するフッ酸含有処理液を再生する方法及び装置において、効果的な再生または回収を可能にする。
【解決手段】、使用後のフッ酸含有処理液を貯留する貯蔵タンク1と、この貯蔵タンク1中の液におけるヘキサフルオロ珪酸の濃度を測定する濃度測定装置11と、貯蔵タンク1から受け入れた液を静置可能な析出反応タンク2と、測定された濃度から求められる理論計算量に基づき析出反応タンク2中に所定量のカリウム塩の水溶液を添加する析出用薬液供給部7,8,15と、析出した不溶性カリウム塩の懸濁液を静置して上澄み液を取り出し、必要に応じて濾過することで、清澄液と沈殿固形物とに分離する固液分離機構3-6,9と、この清澄液におけるフッ酸及び硝酸の濃度を測定する濃度測定装置11と、この濃度測定結果に基づきフッ酸及び硝酸を追加する機構13,14,23とを含む。 （もっと読む）

【課題】吸着剤を無駄なく効率的に使用可能なフッ素ガス生成装置を提供する。
【解決手段】主生ガスを流通させる筒状部材３１ａと、筒状部材３１ａに前記主生ガスを導入するガス導入口５１ａと、筒状部材３１ａから主生ガスを導出するガス導出口５２ａと、筒状部材３１ａを流通する主生ガスの流路を確保する空間を形成するように配置された吸着剤保持具２０１と、ガス導入口５１ａから流入した主生ガスを攪拌するための攪拌羽根２０２と、主生ガスを筒状部材３１ａ内の空間に循環又は拡散させるためのガス流案内筒２０３と、を有することを特徴とするフッ素ガス生成装置１００。 （もっと読む）

【課題】少なくともフッ酸、フッ化水素アンモニウム、珪フッ化アンモニウムおよび水を含む混酸から、フッ酸とフッ化水素アンモニウムをそれぞれ分離することのできる分離方法および分離装置を提供すること。
【解決手段】混酸１００を蒸留することによって、フッ酸および水を含む留出液２００を回収するとともに、フッ化水素アンモニウムおよび珪素を含む缶出液５００として回収する第１の蒸留工程と、留出液２００を蒸留することによって、留出液２００から水を主に分離し、留出液２００よりもフッ酸の濃度の高い缶出液６００を回収する第２の蒸留工程と、第１の蒸留工程の缶出液５００から晶析する第１の固体５１０とアンモニアを反応させる析出工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】少なくともフッ酸、フッ化水素アンモニウム、珪素および水を含む混酸から、簡単に、高純度のフッ酸を分離することのできる分離方法および分離装置を提供すること。
【解決手段】少なくともフッ酸、フッ化水素アンモニウム、珪素および水を含む混酸１００から、フッ酸を分離する分離方法であって、混酸１００を蒸留することによって、フッ酸および水を含む留出液２００を回収するとともに、フッ化水素アンモニウムおよび珪素を含む缶出液５００として回収する第１の蒸留工程と、留出液２００を蒸留することによって、留出液２００から水を主に分離し、留出液２００よりもフッ酸の濃度の高い缶出液６００を回収する第２の蒸留工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 アルカリなど不純物となるイオンを添加することなく、フッ硝酸廃液に含まれるケイフッ酸を効率よく除去し、廃棄されるフッ酸と硝酸の量を少なくし、ケイフッ酸濃度が低く、フッ酸および硝酸濃度が高い精製フッ硝酸液を効率的に回収する装置、方法を提案する。
【解決手段】 陰極２と陽極３間に第１、第２のカチオン交換膜Ｃ１、Ｃ２が配置され、これらのカチオン交換膜間に第１、第２の１価選択性アニオン交換膜ＡＳ１、ＡＳ２が配置され、これらの１価選択性アニオン交換膜間に脱塩室４が形成され、第１のカチオン交換膜Ｃ１と第１の１価選択性アニオン交換膜ＡＳ１間に濃縮液室５が形成され、第２の１価選択性アニオン交換膜ＡＳ２と第２のカチオン交換膜Ｃ２間に精製液室６が形成され、脱塩室４にケイフッ酸を含むフッ硝酸廃液を導入し、脱塩室４から濃縮液室５に電解液を移送して電気透析し、精製液室６から精製液を回収する。 （もっと読む）

【課題】第１処理対象物質Ｘの熱分解で生成される中間生成物質が、第２処理対象物質Ｙと爆発的に反応し、かつ、第２処理対象物質は、第１処理対象物質の熱分解によって生成される物質と反応して熱分解されるといった２種類の処理対象物質を安全かつ安定的に継続して効率的に熱分解する熱分解装置を提供する。
【解決手段】熱分解装置１０を、３つの熱分解空間４０、４２、４４と、第１熱分解空間４０および第２熱分解空間４２の上端部を連通する第１連絡路４８と、第２熱分解空間４２の上端部および第３熱分解空間４４の上端部を連通する第２連絡路５０と、第１熱分解空間４０および第３熱分解空間４４に設けられたヒータ２４と、第１処理対象物質導入路５２と、第２処理対象物質Ｙを第２熱分解空間４２の下端部に導入する第２処理対象物質導入路５４とで構成することにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】ケイフッ酸を含む廃液から回収される酸に含まれるケイフッ酸の量を可及的に低減する。
【解決手段】ケイフッ酸を含む廃液を原液とし、この原液に、アルカリ金属の水酸化物として水酸化ナトリウム水溶液を添加してケイフッ酸を、ケイ酸塩であるケイフッ化ナトリウムとして析出させてろ過装置２で除去し、原液を、濃縮装置３で蒸発濃縮させて凝縮水としてフッ酸を含む酸を回収する。回収した酸は、ケイフッ酸が除去されているので、例えば、回収した酸を、エッチング液として再利用する場合に、エッチング速度が低下するのを防ぐことができる。しかも、ケイフッ酸は、濃縮工程に先立つ除去工程で除去されているので、濃縮工程で使用する濃縮装置３等に、ケイ素系のスケールが付着するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】乾式法による再転換工程で発生したフッ化水素を大掛かりな濃縮工程を必要とせずに高濃度のフッ化水素として再生可能な再転換工程におけるフッ化水素再生法を提供する。
【解決手段】本発明に係る再転換工程におけるフッ化水素再生法は、乾式再転換工程で発生しウラン化合物を含むフッ化水素水をフッ化物塩に吸着させてウラン化合物および水分を除去し(Ｓ１)、フッ化水素とフッ化物塩とから成る複塩を生成する工程(Ｓ２)と、生成した複塩を２５０℃以上３５０℃以下に加熱することにより複塩からフッ化水素を遊離させる工程(Ｓ４)とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な蒸留操作で且つ低コストで、塩酸及びフッ酸を含む混酸廃液から塩酸系混酸とフッ酸系混酸をそれぞれ回収する方法を提供する。
【解決手段】この発明に係る塩酸−フッ酸系混酸廃液から塩酸とフッ酸をそれぞれ回収する方法は、塩酸及びフッ酸を含む混酸廃液を蒸留することによって、塩酸及びフッ酸を含む混酸液を留出させて第１留出液を得る第１蒸留工程と、前記第１留出液に硝酸リチウムを溶解せしめて蒸留を行うことによって、塩酸組成比の増大した混酸液を留出させて第２留出液を得る第２蒸留工程と、前記第２蒸留工程で得られた蒸留残液を蒸留することによって、フッ酸組成比の増大した混酸液を留出させて第３留出液を得る第３蒸留工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）