【課題】ナノインプリントリソグラフィ用モールド基材として使用した場合に、寸法のばらつきが±１０％以内の凹凸パターンを形成することができるＴｉＯ2含有石英ガラス基板の提供。
【解決手段】１５〜３５℃における熱膨張係数が±２００ｐｐｂ／℃以内であり、ＴｉＯ₂濃度が４〜９ｗｔ％であり、転写パターンを形成する側の基板表面から深さ５０μｍまでの表面近傍領域におけるＴｉＯ₂濃度分布が、±１ｗｔ％以内であることを特徴とするＴｉＯ₂含有石英ガラス基板。 （もっと読む）

【課題】 大型、高寸法精度、高耐久性の、シリカを主な構成成分とするシリカ容器を、安価な比較的低品位のシリカ粉体を主原料として、投入エネルギー量を少なく、低コストで製造するためのシリカ容器の製造方法、及び、このようなシリカ容器を提供する。
【解決手段】 シリカを主な構成成分とし、回転対称性を有するシリカ容器の製造方法であって、少なくとも、シリカを主な構成成分とし、回転対称性を有するシリカ基体を形成し、該シリカ基体の内表面上に、シリカゾルからゾル−ゲル法によって透明シリカガラス層を形成するシリカ容器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 大型、高寸法精度、高耐久性の、シリカを主な構成成分とするシリカ容器を、安価な比較的低品位のシリカ粉体を主原料として、投入エネルギー量を少なく、低コストで製造するためのシリカ容器の製造方法、及び、このようなシリカ容器を提供する。
【解決手段】 シリカを主な構成成分とし、回転対称性を有するシリカ容器の製造方法であって、少なくとも、シリカを主な構成成分とし、回転対称性を有するシリカ基体を形成し、該シリカ基体の内表面上に、シリカゾルからゾル−ゲル法によって透明シリカガラス層を形成するシリカ容器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】低コストで種々の外径の石英ガラス成形体を製造できるようにする。
【解決手段】厚さ１ｃｍ、直径５０ｃｍの円形のカーボン製の底板１２の中央に石英ガラス材料１６を載置し、その外側に板材１４の一方の端部を、多角形の隣接する辺の板材の端部から８ｃｍの位置に８枚を順次組み合わせ、カーボン繊維の糸条体で緊締して外筒を組み上げ、石英ガラス材料をこの外筒内に設置して電気炉内に移し、窒素ガス雰囲気下で１８００℃で２時間加熱溶融し、一辺８ｃｍ、平均高さ７．９ｃｍの正八角柱の石英ガラス成形体１６ａを得た。 （もっと読む）

【課題】水素分離特性に優れつつ耐擦傷性にも優れた水素分離材料及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】水素分離材料１０は、熱膨張係数が２×１０^−６／Ｋ以下の多孔質支持体１１上に、シリカガラス分離膜層１２および多孔質保護層１３をこの順に有する。 （もっと読む）

【課題】 シリコン融液及び多結晶シリコンインゴットへの不純物汚染を抑制し、かつ、離型性に優れるとともに、きわめて低コストの多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器を提供する。
【解決手段】 シリコン融液を凝固して多結晶シリコンインゴットを製造するための角形シリカ容器であって、多孔質シリカからなる平行平板状の多孔質シリカ板体を組み合わせて構成されたものであり、内側表面部分の少なくとも一部に前記多結晶シリコンインゴットの離型を促進する離型促進剤が含有されているものであり、前記多孔質シリカ板体のかさ密度が、両平行平面の表面部分よりも内部の部分において低い多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器。 （もっと読む）

【課題】合成石英ガラス成形体に存在する不純物汚染による不良部位を確実に選別することが可能な合成石英ガラス成形体の検査方法を提供する。
【解決手段】合成石英ガラス成形体に対して、可視光を遮蔽又は減光するフィルターを通したＨｇランプの波長２５４ｎｍのスペクトル線を照度１０ｍＷ／ｃｍ^２以上という条件で照射する工程と、前記合成石英ガラス成形体が発する波長２５４ｎｍの輝線強度と、前記合成石英ガラス成形体が発する波長５００ｎｍ〜６００ｎｍを中心とした緑色から黄色の蛍光の蛍光強度とを測定する工程と、前記輝線強度と前記蛍光強度との比（蛍光強度／輝線の強度）に基いて合成石英ガラス成形体の良部位を選別する工程と、を含む、合成石英ガラス成形体の検査方法。 （もっと読む）

【課題】 重水素処理に伴う波長1400nm付近での吸収損失を低減し、1300〜1625nm波長域において低損失なシリカガラス光ファイバを効率よく作製するシリカガラスの処理方法及びシリカガラス光ファイバを提供する。
【解決手段】 シリカガラスを重水素含有雰囲気に所定時間暴露して該シリカガラス内に重水素分子を拡散させる重水素拡散ステップ、該シリカガラスを40℃以上に保持する高温保持ステップ、次いで該シリカガラスを室温にまで冷却する冷却ステップからなることを特徴とするシリカガラスの処理方法であり、前記シリカガラスは、シリカガラス系の光ファイバであって、中心に少なくともゲルマニウムを含有するシリカガラスのコアを有し、該コアをこれよりも屈折率の低いシリカガラスのクラッドが囲み、シリカガラスの表面には、樹脂被覆が施されている。 （もっと読む）

【課題】 シリコン融液及び多結晶シリコンインゴットへの不純物汚染を抑制し、かつ、離型性に優れるとともに、きわめて低コストの多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器を提供する。
【解決手段】 シリコン融液を凝固して多結晶シリコンインゴットを製造するための角形シリカ容器であって、多孔質シリカからなる平行平板状の多孔質シリカ板体を組み合わせて構成されたものであり、前記多孔質シリカ板体のかさ密度が、両平行平面の表面部分よりも内部の部分において低い多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器。 （もっと読む）

【課題】合成石英ガラス中に残留する屈折率分布を考慮した合成石英ガラスの製造方法、当該製造方法に用いられる合成石英ガラス製造用治具、及び当該製造方法により製造された光学部材用合成石英ガラスを提供する。
【解決手段】合成石英ガラスの製造において多孔質石英ガラス母材に鉛直に荷重を負荷するために用いられる合成石英ガラス製造用冶具は、多孔質石英ガラス母材の軸を鉛直とした上で多孔質石英ガラス母材を載置される基台と、基台に立設されたガイド部材により鉛直方向に移動自在に支持されて当該基台との間で多孔質石英ガラス母材を狭持する押圧部材と、を備える。押圧部材が、多孔質石英ガラス母材に当接し且つガラス化温度以上に加熱された多孔質石英ガラス母材の収縮に伴って鉛直に降下して、その自重により多孔質石英ガラス母材に鉛直に荷重を負荷する。 （もっと読む）