【課題】未焼結部を無くすとともに、種棒の過度の加熱を防止して引き伸びを無くすことができるガラス母材の製造方法およびガラス母材を製造する焼結炉を提供する。
【解決手段】ガラス母材を製造する焼結炉１０によれば、位置調整可能な下部治具２２を有する遮熱治具２０を直接出発種棒３に固定して、下部治具２２をガラス微粒子堆積体１上部のテーパ部２近傍に配置した。これにより、ヒータ１２からの熱が出発種棒３へ伝わらないように遮熱できるので、出発種棒３の引き伸びを確実に防止することができる。また、ガラス微粒子堆積体１の上部をヒータ１２に近づけることができるので、ガラス微粒子堆積体１の上端部の未焼結部の領域を小さくすることができる。また、下部治具２２は、ガラス微粒子堆積体１の長手方向に位置調整できるので、ガラス微粒子堆積体１に接触することなく、ガラス微粒子堆積体１毎に遮熱板の位置調整を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】赤外線遮蔽材料微粒子が媒体中に分散してなる赤外線遮蔽材料微粒子分散体、該赤外線遮蔽材料微粒子分散体より製造した赤外線遮蔽体、該赤外線遮蔽材料微粒子分散体に用いられる赤外線遮蔽材料微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】赤外線遮蔽材料微粒子は、一般式Ｍ_ＸＡ_ＹＷ_{（１−Ｙ）}Ｏ_３（但し、Ｍは、Ｃｓ、Ｒｂ、Ｋ、Ｌｉのうちから選択される１種類以上の元素、ＡはＭｏ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｎ、Ｖ、Ｒｅ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｔｉのうちから選択される１種類以上の元素、Ｗはタングステン、Ｏは酸素、０．３３≦Ｘ≦０．８、０．０５≦Ｙ≦１）で表記される。 （もっと読む）

【課題】緻密膜層が保護された多孔質材料を容易に製造することができる方法を提供する。
【解決手段】本発明の多孔質材料製造方法は、多孔質層と緻密膜層とを有する多孔質材料を製造する方法であって、セラミック材料からなる多孔質母材２５の内部において集光するようにレーザ光Ｂを該多孔質母材２５に対して照射して、多孔質母材２５の内部におけるレーザ光集光箇所を選択的に緻密化し、その緻密化した層を緻密膜層とし、その他の部分を多孔質層として、多孔質材料を製造する。 （もっと読む）

【解決手段】ケイ素源原料ガス及びチタン源原料ガスと可燃性ガス及び支燃性ガスをバーナ先端部から噴出させ、ケイ素源原料ガス及びチタン源原料ガスを可燃性ガス及び支燃性ガスにより酸化又は火炎加水分解させて得た合成シリカ−チタニア微粒子を回転すると共に所定速度で後退するターゲット上に堆積すると同時に溶融ガラス化してチタニアドープ石英ガラスのインゴットを製造する際、バーナの先端部と成長するインゴット先端部との距離が２５０ｍｍ以上とすることを特徴とするチタニアドープ石英ガラスの製造方法。
【効果】本発明によれば、厚さ５ｍｍあたりの見かけ透過率における吸収端波長の分布が少なく、ＥＵＶリソグラフィ用部材として好適なチタニアドープ石英ガラスを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】火炎加工の火力を、可燃性ガスの流量を無駄に増やすことなく向上させることができ、かつ多孔質ガラス母材の堆積効率を向上させることのできる石英ガラス製バーナを提供する。
【解決手段】バーナ中心軸に対して、同心円状に一列もしくは複数列に配置された小口径助燃性ガス噴出ポート１と、該小口径助燃性ガス噴出ポート１を内包する可燃性ガス噴出ポート２から構成される石英ガラス製バーナであって、該可燃性ガス噴出ポート２の先端内側が、前記小口径助燃性ガス噴出ポート１の最外周列の形状に合わせた形状を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
従来、半導体熱処理治具に一般に使用されてきた天然シリカ熔融石英ガラスは金属不純物、特に銅の拡散阻止能を持たない。金属不純物阻止能を有し、高温粘性の高い石英ガラスを提供する。
【解決手段】
高純度の合成シリカ粉を中性不活性雰囲気中結晶化した後に電気炉中溶解やプラズマ溶解することにより、酸素欠乏欠陥ＯＤＣＩＩ含有量を１０×１０^１５個／ｃｍ^３以下にし、かつＳｉ孤立電子対含有量を２×１０^１５個／ｃｍ^３以下にし、さらに含有Ｎａ濃度を０．０３ｗｔ．ｐｐｍ以下に抑えことにより、金属不純物拡散阻止能を有し、半導体熱処理時に粘性率の高い石英ガラスが得られる。 （もっと読む）

【課題】 不純物汚染防止及び離型性に優れ、結晶粒の大きさ及び結晶軸方位が揃った多結晶シリコンインゴットを製造することができる、きわめて低コストの多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器を提供する。
【解決手段】 シリコン融液を凝固して多結晶シリコンインゴットを製造するための角形シリカ容器であって、多孔質シリカからなる平行平板状の多孔質シリカ板体を組み合わせて構成されたものであり、少なくとも前記角形シリカ容器の側部をなす前記多孔質シリカ板体における両平行平面の表面部分のかさ密度が、前記角形シリカ容器の内表面部分よりも外表面部分において高く、前記角形シリカ容器の底部をなす前記多孔質シリカ板体の内表面部分は、溝又は穴を所定間隔で複数有しており、前記溝又は穴の側面の少なくとも一部が、鉛直方向に対して１５〜６０°の角度をなす斜面で形成されている多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器。 （もっと読む）

【課題】
ガラスの［ＯＨ］含有量および仮想温度の変化を通じて、低熱膨張性のシリカ・チタニアガラスの膨張性を調整および改善する。
【解決手段】
ガラスにおける［ＯＨ］濃度は６００〜２５００ｐｐｍの範囲でありうる。仮想温度Ｔ_Fは９００℃未満である。 （もっと読む）

【課題】
焼きなまし速度の変化を通じて、透過特性の改善とＣＴＥの絶対値の調整の両方を同時に生じる、ＣＴＥの絶対値を調整する手段。
【解決手段】
１つの実施の形態では、本開示は、３４０ｎｍ〜８４０ｎｍの波長において＞９０％／ｃｍ、３４０ｎｍ〜８４０ｎｍの波長において＞９３％／ｃｍ、または、３４０ｎｍ〜８４０ｎｍの波長において＞９５％／ｃｍの内部透過性を有するシリカ・チタニアガラスを対象とする。別の実施の形態では、本開示は、ガラスでできた光学系部材の全般的な透過性が、３４０ｎｍ〜８４０ｎｍの波長において＞８４％、３４０ｎｍ〜８４０ｎｍの波長において＞８６％、または３３０ｎｍ〜８４０ｎｍの波長において＞８８％である、シリカ・チタニアガラスを対象とする。さらなる実施の形態では、シリカ・チタニアガラスは、３重量ｐｐｍ未満のＴｉ⁺³濃度レベルを有する。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス母材を加熱溶融して成形する石英ガラス成形体の外径を容易に変更できるようにする。
【解決手段】カーボンよりなる板材を組み合わせることによって得られる正多角柱を外筒とする型材１０を用いて溶融成形を行う際に、得られる溶融成形体の外径を変更するために、板材の幅を変更することによって解決する。正八角形の場合、板材の一辺の幅をａから１．２ａ、そして１．４ａと大きくしていくことによって、組み立てられた正多角柱の内接円の直径（Ｒ）は、それぞれ２．４ａ、２．９ａ、そして３．４ａと大きくなっていくので、容易に直径を変更することができる。 （もっと読む）