【課題】遠紫外領域における透過性に優れる液浸露光用液体として好適な飽和炭化水素化合物を従来より少量の硫酸で処理できる。
【解決手段】上記硫酸洗浄処理が第１の硫酸洗浄処理工程後に該第１の工程の洗浄処理温度よりも１０℃以上低い洗浄処理温度で処理する第２の硫酸洗浄処理工程を有する吸光度を低下させるための硫酸洗浄処理による飽和炭化水素化合物の製造方法であり、また、上記第２の硫酸洗浄処理工程で処理される飽和炭化水素化合物の吸光度が液体の光路長１ｃｍあたり波長１９３ｎｍにおける吸光度が０．１０以下であり、また、上記飽和炭化水素化合物が脂環式飽和炭化水素化合物である。 （もっと読む）