国際特許分類［C07D321/02］の内容
化学；冶金 (1,075,549) | 有機化学 (230,229) | 複素環式化合物 (108,186) | 異項原子として２個の酸素原子のみをもつ環を含有し，グループ３１７／００から３１９／００までに属さない複素環式化合物 (78) | ７員環 (56)
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他の環と縮合していないもの (5)
炭素環または環系と縮合したもの (50)
国際特許分類［C07D321/02］に分類される特許
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レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
【課題】ＣＤ均一性に優れ、欠陥の発生数の少ないレジスト組成物に有用な樹脂及びレジスト組成物を提供する。
【解決手段】以下の〔１〕及び〔１〕と、酸発生剤と、溶剤とを含有するレジスト。〔１〕式（ａ）で表される構造単位を有する樹脂。
［式（ａ）中、Ｒｆは、フッ素原子又はフッ素化アルキル基を表す。Ｗは、炭素数３〜３６の脂肪族環を表す。Ｒｘは、ハロゲン原子を有してもよいアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。］
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