【課題】硬化性に優れた硬化物の提供。
【解決手段】（Ａ）窒素カチオンを有するオニウム塩と（Ｂ）硬化性化合物を含有する組成物にプラズマを照射することを含む、硬化物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】モノマー塗膜の重合硬膜の表面硬化度を、膜内部の硬化度を低下させることなく改善する。
【解決手段】少なくとも１種のラジカル重合性化合物と、重合開始剤及び連鎖移動剤の少なくともいずれか一方と、を含有する組成物に、プラズマ照射するプラズマ重合膜の製造方法である。また、重合開始剤及び連鎖移動剤の少なくともいずれか一方と、少なくとも１種のラジカル重合性化合物と、を含有する組成物を、プラズマ照射によって重合させてなるプラズマ重合膜である。 （もっと読む）

１つまたは２つ以上の官能基を有する透過性ポリマーマトリックス、およびポリマーマトリックス内に埋め込まれた、抗微生物特性を提供するための銅または銀などの無機物質（単数または複数）の１個または２個以上のナノ粒子を含む活性ポリマーフィルムが記載される。

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【課題】優れたエッチング選択性及び微細加工性を示し、高密度プラズマ下においてもエッチング速度とエッチング選択性のバランスに優れたドライエッチングが可能であり、また、加熱処理を施しても応力緩和の小さいフルオロカーボン膜を成膜可能なプラズマ反応用ガスを提供すること。
【解決手段】パーフルオロ−(３−メチレンシクロペンテン)を含有してなるプラズマ反応用ガス。 （もっと読む）

【課題】溶媒を使用しない方法、および複雑な幾何形状の基板の形状に完全に適合し、かつイオン伝導特性が良好である燃料電池用非架橋イオン伝導性膜を提供する。
【解決手段】それぞれが、少なくとも１つの重合可能な基と、ホスホニルエステル、アシルエステル、スルホニルエステル、ハロゲン化カルボニル、またはハロゲン化チオニルによって形成される基から選択されるイオン伝導性官能基の少なくとも１つの前駆体基とを含む少なくとも２つの同一または異なる重合可能なモノマーをプラズマ化学蒸着させることによって燃料電池のイオン伝導性高分子膜を製造する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の層間絶縁膜などに有用な誘電率が低く、かつ機械的強度が高い絶縁膜を得る。
【解決手段】絶縁膜材料として、ジイソプロピルジビニルシラン、ジアリルジビニルシランなどを用い、プラズマＣＶＤ法によって成膜する。Ｈｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅ、水素、炭素数２〜６の炭化水素などの水素を含まない同伴ガスを成膜時に同伴させてもよい。１−メチル−４−イソピル−１，３−シクロヘキサジエンなどのポロジエンを添加して成膜してもよく、プラズマ発生用高周波電力、成膜用ガスの流量あるいは成膜圧力を変化させて成膜してもよい。 （もっと読む）

【課題】プラズマ重合により、より低い誘電率の膜を製造する方法およびより低い誘電率の高分子膜を提供すること。
【解決手段】式（１）で示される化合物のガスを含む混合ガスを減圧下の反応室に供給する工程と、反応室内に形成されたプラズマ中を通過させることにより反応室内に設置された基板表面に前記ガスを吹き付けて、前記有機化合物を骨格に含む高分子膜を基板表面上に成長させる工程とを含む高分子膜の製造方法。該製造方法により得られる高分子膜。


（ＰＣＡは炭素原子数７以上のポリシクロ脂肪族炭化水素基。ＡＬＫは炭素原子数１〜１０の二価の脂肪族炭化水素基。ｍは１または２。ｎは０または１。Ｒ１およびＲ２は炭素原子数１〜６のアルキル基、炭素原子数２〜６のアルケニル基、炭素原子数２〜６のアルキニル基、炭素原子数１〜６のアルコキシ基、炭素原子数６〜１０のアリール基または炭素原子数６〜１０のアリールオキシ基。） （もっと読む）

【課題】 光触媒による汚染物質の分解機能を具備し、且つ、高度に親水性の表面及び高度に撥水性の表面であり、更に可視光域の光をも上記光触媒機能の発現に利用可能とした優れた防汚性被膜及びその形成方法を提供する。
【解決手段】 光触媒酸化チタンと親水性有機官能基を含有する有機無機複合バインダーからなる防汚染性被膜であって、上記親水性有機官能基が、アルコール性水酸基、カルボキシル基及びその塩類、アミド基、スルホン酸基及びその塩類、リン酸基及びその塩類もしくはリン酸エステル基、ポリエチレングリコール残基の群から選ばれる少なくとも１種であり、且つ、上記有機無機複合バインダーが、親水性有機官能基を有するアルコキシシリル化合物と４官能アルコキシシリル化合物との縮合体からなり、該親水性有機官能基を有するアルコキシシリル化合物と４官能アルコキシシリル化合物の成分比（重量）が２０：８０〜８０：２０であることを特徴とする防汚性被膜。 （もっと読む）

【課題】 電気抵抗が低く、かつ、電極物質が透過しない程度に小孔径である二次電池やコンデンサなどの電気化学装置用セパレータの製造方法。
【解決手段】 従来から使用されている精密ろ過膜をセパレータのベースとして用い、電解液として使用されるプロピレンカーボネートを溶媒として用い、電解質を存在させるか存在させることなく、屈曲性ジアミンをジアミン成分とする界面重合法、もしくは、ビニルモノマーのプラズマ重合法により表面改質を行う。 （もっと読む）

【課題】 耐久性等の膜特性に優れたプラズマ重合膜を製造することはもとより、異常放電の発生が極めて少なく、プラズマ重合膜を長時間安定に成膜することができ、製品歩留の向上が図れるプラズマ重合膜の形成方法およびプラズマ重合膜形成装置を提供する。
【解決手段】 フィルム状の長尺基材を連続的に搬送させつつ、この長尺基材の上にプラズマ重合膜を形成させるプラズマ重合膜の形成方法であって、プラズマ重合を行うための電極として、プラズマ重合膜を形成する面と対向する側の電極を、高分子材料で被覆率５０〜１００％の割合で被覆したものを用い、原料ガスを導入しつつ、被覆された電極側に電圧を印加し、動作圧力１０^-3〜１Ｔｏｒｒの範囲の条件で、長尺基材の上にプラズマ重合膜を形成させる。 （もっと読む）