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国際特許分類[C08F20/12]の内容

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【課題】製造工程での汚染による金属不純物量の増加を2ppb以下に抑制できる重合体または重合体溶液の製造方法の提供。
【解決手段】下記(1a)〜(1b)の工程を含む、重合体または重合体溶液の製造方法。(1a)重合体または重合体溶液の製造に使用される原料を、1立方メートル中に存在する粒径0.5μm以上の粒子の数が3,520,000個(以下、「クラス8」と表記)以下の雰囲気下で取り扱い、クラス8を超える外気に接触させることなく重合釜に移送し、該重合釜にて単量体を重合し、重合体または重合体溶液を得る工程。(1b)前記(1a)で得た重合体または重合体溶液を、クラス8を超える外気に接触させることなくクラス8以下の雰囲気下へ移送し、該雰囲気下にて容器に充填する工程。 (もっと読む)


【課題】優れたCD均一性(CDU)で、欠陥数の少ないレジストパターンの製造。
【解決手段】式(aa)、(ab)の構造単位を有する樹脂(X)、酸発生剤(B)を含有する組成物。


[式中、Aaa1は、置換基を有していてもよいアルカンジイル基等で表される基;Raa2は、脂肪族炭化水素基;Rab2は芳香族炭化水素基を表す。] (もっと読む)


【課題】レジスト膜の面方向における断面形状に関して整形性が良好な(変形度が低い)コンタクトホールを形成できるパターン形成方法、並びに、これを用いた電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイスを提供する。
【解決手段】(1)基板上に、(A)化学増幅型レジスト組成物によって、レジスト膜を形成する工程、(2)露光して、ラインアンドスペースの潜像を形成する工程、(3)第1の加熱処理を行う工程、(4)第2のラインアンドスペースの潜像を、前記第1のラインアンドスペースの潜像におけるライン方向と交差するように形成する工程、(5)第2の加熱処理を行う工程、及び、(6)前記第2の加熱処理が行われたレジスト膜を、有機溶剤を含む現像液を用いて現像を行う工程を、この順で有するパターン形成方法、並びに、このパターン形成方法を用いた電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイス。 (もっと読む)


【課題】向上したLER性能を示すフォトレジスト組成物の提供。
【解決手段】フォトレジスト組成物は、酸感受性ポリマー、および式


を有する環式スルホニウム化合物を含む組成物。(式中、各Rは独立して置換もしくは非置換のC1−30アルキル基、C6−30アリール基、C7−30アラルキル基、または前記のものの少なくとも1種を含む組み合わせであり、Arは単環式、多環式、または縮合多環式C6−30アリール基であり、各Rは独立してH、F、線状もしくは分岐のC1−10フルオロアルキル、または線状もしくは分岐のへテロ原子含有C1−10フルオロアルキルであり、LはC1−30連結基であって、場合によってはヘテロ原子を含むものであり、このヘテロ原子はO、S、N、Fまたは前記のヘテロ原子の少なくとも1種を含む組み合わせを含む。) (もっと読む)


【課題】各種(メタ)アクリルモノマーに溶解するとともに、従来のアクリル化合物と比較して高屈折率を有するレンズ材用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】(A)下記一般式(1)で表される化合物、および、(B)光ラジカル開始剤、を含有する、レンズ材用硬化性組成物。


(上記一般式(1)中、Xは硫黄原子、又は酸素原子である。Rは水素原子、又は(メタ)アクリロイル基であり、少なくとも1つは(メタ)アクリロイル基である。nは0〜2の整数である。) (もっと読む)


【課題】従来から知られる酸発生剤を含有するレジスト組成物では、得られるレジストパターンのマスクエラーファクター(MEF)が必ずしも十分に満足できない場合があった。
【解決手段】式(I)で表される塩。


[式(I)中、R及びRは、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。Xは、2価の炭素数1〜17の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子で置換されていてもよく、該飽和炭化水素基を構成する−CH−は、−O−又は−CO−で置き換わっていてもよい。Z1+は、有機対イオンを表す。] (もっと読む)


【課題】照射した超音波を減衰又は遮蔽する着色剤等の物質が高濃度で存在する場合や厚い膜厚の場合でも少エネルギー量で硬化可能な超音波硬化型組成物の提供。
【解決手段】下記(1)〜(3)を含有する超音波硬化型組成物であって、ラジカル開始剤(A)、酸発生剤(B)及び塩基発生剤(C)の内の少なくとも1つが超音波の照射により活性種(H)を発生し、該活性種(H)がラジカル開始剤(A)、酸発生剤(B)及び/又は塩基発生剤(C)と反応して新たな活性種(I)を生成して該新たな活性種(I)による重合性物質(D)の重合反応が進行し、該活性種(H)又は(I)が酸又は塩基であることを特徴とする超音波硬化型組成物;(1)ラジカル開始剤(A)、(2)酸発生剤(B)及び/又は塩基発生剤(C)、(3)重合性物質(D)。 (もっと読む)


【課題】 照射したマイクロ波を減衰又は遮蔽する着色剤等の物質が高濃度で存在する場合や厚い膜厚の場合でも少エネルギー量で硬化可能なマイクロ波硬化型組成物を提供する。
【解決手段】 下記(1)〜(4)を含有するマイクロ波硬化型組成物であって、ラジカル開始剤(A)、酸発生剤(B)及び塩基発生剤(C)の内の少なくとも1つがマイクロ波の照射により活性種(H)を発生し、該活性種(H)がラジカル開始剤(A)、酸発生剤(B)及び/又は塩基発生剤(C)と反応して新たな活性種(I)を生成して該新たな活性種(I)による重合性物質(D)の重合反応が進行し、該活性種(H)又は(I)が酸又は塩基であることを特徴とするマイクロ波硬化型組成物;
(1)ラジカル開始剤(A)、
(2)酸発生剤(B)及び/又は塩基発生剤(C)、
(3)重合性物質(D)。 (もっと読む)


【課題】太陽電池として実際に使用される環境だけでなく、太陽電池モジュールを評価する際に検討される高温多湿の雰囲気中における促進試験を行なった場合であっても、太陽電池に用いられる充填材に対する接着性および耐候性に優れ、電気出力特性を維持し、バックシートの外観不良が生じがたい太陽電池モジュール用接着剤、太陽電池モジュール用バックシート、太陽電池モジュールおよび太陽電池を提供すること。
【解決手段】太陽電池モジュールに用いられるバックシートと充填材と貼り合わすために用いられる接着剤であって、ヘテロ原子を含む1,5−ジエン構造含有単量体およびヘテロ原子を含む1,6−ジエン構造含有単量体からなる群より選ばれた少なくとも1種のジエン構造含有単量体を含有する単量体成分を環化重合させてなるヘテロ原子を含む環構造を主鎖に有する重合体を含有することを特徴とする太陽電池モジュール用接着剤。 (もっと読む)


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