【課題】経時の影響による寸法変動が抑制されると共に、リソグラフィー特性とレジストパターン形状に優れたレジスト組成物及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】一般式（ｇ１）又は（ｇ２）で表される一価の基を有する化合物（Ｇ）と、一般式（ｈ１）又は（ｈ２）で表される一価の基を有する化合物（Ｈ）とを含有するレジスト組成物。
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【課題】従来技術と比較して、セメント混和剤における各種の性能をより一層改善しうる手段を提供する。
【解決手段】本発明の親水性共重合体の製造方法は、化学式１で表されるカルボン酸単量体と、化学式２で表されるポリエーテル単量体とを必須成分として含有する単量体成分を反応器中で反応させることを含む。そして、反応液が前記反応器中に存在する状態で、前記単量体成分中の少なくとも１つの単量体（第１の単量体）を当該反応液と予め混合した混合物の状態で当該反応液中に添加する点に特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】解像度及びレジスト剥離特性の向上に十分効果のある感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）スチレン又はスチレン誘導体に基づく構造単位と、（メタ）アクリル酸ベンジル又は（メタ）アクリル酸ベンジル誘導体に基づく構造単位と、（メタ）アクリル酸に基づく構造単位と、（メタ）アクリル酸アルキルエステルに基づく構造単位とを有し、分散度が１．０〜２．０であるバインダーポリマー、（Ｂ）光重合性化合物、及び、（Ｃ）光重合開始剤を含有する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は感度及び解像性に優れる感放射線性樹脂組成物、並びにムラが少なく、透明性、現像密着性、比誘電率等に優れる層間絶縁膜を提供することである。
【解決手段】［Ａ］共重合体、［Ｂ］重合性不飽和化合物、［Ｃ］感放射線性重合開始剤及び［Ｄ］有機溶媒を含有し、［Ａ］共重合体が（Ａ１）構造単位、（Ａ２）構造単位、（Ａ３）構造単位、並びに（Ａ４）構造単位を含み、［Ａ］共重合体における（Ａ１）構造単位の含有割合が１モル％以上４０モル％以下、（Ａ２）構造単位の含有割合が１モル％以上１５モル％以下、（Ａ３）構造単位の含有割合が１モル％以上７０モル％以下、及び（Ａ４）構造単位の含有割合が１モル％以上３０モル％以下である感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 洗浄時に優れたCaイオン捕捉能や耐ゲルを発揮することができ、界面活性剤との相溶性にも優れたスルホン酸基含有重合体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 特定の構造を有する（ｉ）スルホン酸基含有単量体に由来する構造単位と、（ｉｉ）カルボキシル基含有単量体（Ｂ）に由来する構造単位、とを必須とするスルホン酸基含有重合体である。 （もっと読む）

【課題】保存安定性と短時間の低温焼成を両立し、かつ十分な感度及び現像性を有する感放射線性樹脂組成物、圧縮特性、耐熱性、比誘電率、耐溶媒性、硬度及び電圧保持率に優れる硬化膜、硬化膜形成方法、並びに耐熱性、耐溶媒性、電圧保持率等に優れるカラーフィルタの提供。
【解決手段】［Ａ］(Ａ１)不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物より選択される少なくとも１種の化合物と(Ａ２)エポキシ基含有不飽和化合物とを共重合してなるアルカリ可溶性樹脂、［Ｂ］重合性化合物、［Ｃ］感放射線性重合開始剤、［Ｄ］下記式（１）の化合物、［Ｅ］有機酸又は無機酸化合物を含有する感放射線性樹脂組成物。
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【課題】イオン性架橋剤として金属を使用する向上した水性コーティング組成物を提供する。
【解決手段】０．５〜８重量％の亜鉛、カルシウムもしくはマグネシウムイオンのジ（メタ）アクリラート塩を有する重合混合物を形成し、亜鉛イオン、カルシウムイオンもしくはマグネシウムイオン；０．５〜７重量％のイタコン酸および４〜１５重量％の（メタ）アクリル酸の重合残基を含むポリマーを製造する。このポリマーは５０〜１１０℃のＴｇを有する。 （もっと読む）

【課題】
下水処理場における下水余剰汚泥や下水消化汚泥のように繊維分の少ない所謂難脱水汚泥に対し、脱水ケーキ含水率低下の要求を満足し、架橋あるいは分岐した水溶性高分子においても添加量増加を極力抑えた汚泥脱水剤を開発することである。
【解決手段】
特定のカチオン性単量体、（メタ）アクリルアミド、および特定のアニオン性単量体１〜５モル％からなる単量体混合物を重合した両性水溶性高分子によって達成できた。また連鎖移動剤を１００〜１，０００ｐｐｍ、架橋剤を５〜１００ｐｐｍ、いずれも前記単量体混合物に対し質量換算で共存させ重合した架橋性の両性水溶性高分子によっても優れた効果を発揮する汚泥脱水剤を開発することができた。
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【課題】再溶解性、微細パターンの実現能力に優れ、基板との密着力および分散安定性が改善されたアルカリ可溶性バインダー樹脂の提供。
【解決手段】不飽和二重結合を含んだモノマー、カルボン酸を含んだ不飽和二重結合性モノマー、およびアリル基を含む不飽和二重結合性モノマーを繰り返し単位として含み、分子量分布(Ｍｗ/Ｍｎ)が２.０〜３.５であることを特徴とするアルカリ可溶性バインダー樹脂およびこれを含むネガ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 １９３ｎｍ放射波長において低屈折率を有する上面反射防止コーティングを提供する。
【解決手段】 芳香族部分及び１９３ｎｍの放射波長に対して１．５未満の屈折率値ｎを有する、塩基水溶液に可溶なポリマーの存在を特徴とする組成物は、１９３ｎｍドライ・リソグラフィ工程における上面反射防止コーティングとして特に有用であることを見出した。エチレン型主鎖を有し、フッ素及びスルホン酸部分を有するポリマーが特に有用であることを見出した。この組成物は、１９３ｎｍにおける上面反射の制御を可能にすると共に、アルカリ性水溶液現像液への溶解性により用い易いものとなる。 （もっと読む）