【課題】特に露光光源として電子線、Ｘ線又はＥＵＶ光を用いるリソグラフィーにおいて、感度、高解像性、パターン形状、及びラインエッジラフネス、ドライエッチング耐性を同時に満足する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物並びにそれを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】カチオンを有するカチオン性繰り返し単位（Ａ）、
前記カチオンとイオン対を形成するアニオンを有し、かつ活性光線又は放射線の照射により前記カチオンから解離して酸を発生するアニオン性繰り返し単位（Ｂ）、及び
酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する繰り返し単位（Ｃ）を有する樹脂（Ｐ）を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】高温高湿処理を受けたときに、窒化珪素膜との界面との密着性を向上させて優れた接続信頼性を発揮することが可能な回路接続材料を提供する。
【解決手段】回路接続材料は、（１）多官能（メタ）アクリレートモノマーと、（２）熱又は光によって遊離ラジカルを発生するラジカル重合開始剤と、（３）単官能（メタ）アクリレートモノマーとを含有し、単官能（メタ）アクリレートモノマーは、ビフェニル基又はナフタレン基を有し、ビフェニル基又はナフタレン基とそれに結合する酸素原子との結合位置はオルト位、メタ位、又はパラ位である。 （もっと読む）

【課題】フッ素を有するシルセスキオキサンを含む重合体を提供し、この重合体を表面改質剤として利用すること、好ましくはマトリックス樹脂の表面改質剤として利用することである。
【解決手段】１つの付加重合性官能基を有するフルオロシルセスキオキサン（ａ）と、付加重合性官能基を有するオルガノポリシロキサン（ｃ）との付加共重合体、または、１つの付加重合性官能基を有するフルオロシルセスキオキサンと、付加重合性官能基を有するオルガノポリシロキサン（ｃ）と、付加重合性単量体（ｂ）との付加共重合体を提供する。 （もっと読む）

【課題】高感度、高解像度で、ラフネス（ＬＷＲ）が小さく、露光後のパターン形状が良好であるポジ型レジスト材料、特に化学増幅ポジ型レジスト材料のベース樹脂として好適な高分子化合物を用いたポジ型レジスト材料、及びパターン形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも、下記一般式（１）で示される基を有する繰り返し単位ａと、カルボキシル基の水素原子が酸不安定基で置換されている繰り返し単位ｂとを含む、重量平均分子量が１，０００〜５００，０００の高分子化合物をベース樹脂として含有することを特徴とするポジ型レジスト材料。
【化１】
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【課題】感度、ラフネス特性、孤立パターンの解像性及びドライエッチング耐性に優れ、かつ良好な形状のパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたレジスト膜、及び、パターン形成方法を提供する。
【解決手段】下記一般式（Ｉ）により表される繰り返し単位（Ａ）と、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する繰り返し単位（Ｂ）とを備えた樹脂を含有する、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたレジスト膜、及び、パターン形成方法。


一般式（Ｉ）中、ＡＲは、アリール基を表す。Ｒｎは、アルキル基、シクロアルキル基又はアリール基を表す。ＲｎとＡＲとは互いに結合して非芳香族環を形成してもよい。
Ｒ_１は、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、ハロゲン原子、シアノ基又はアルキルオキシカルボニル基を表す。 （もっと読む）

【課題】塗料、粘着剤、接着剤、レジスト材料、アクリルシラップなどに使用されるアクリル樹脂組成物の、加熱や紫外線照射によるラジカル重合硬化性、傷や汚染に対する自己修復性、接着性、粘着性、現像性ハンドリング性、などの性能向上を提供する。
【解決手段】分子中に２個以上のアクリロイル基を有する多官能アクリル単量体（Ａ）０．００２〜１．５重量％と、分子中に１個のアクリロイル基を有するアクリル単量体（Ｂ）８８．５〜９９．９９８重量％、分子中に（メタ）アクリロイル基以外のラジカル重合性不飽和基を有するビニル単量体（Ｃ）０．０〜１０．０重量％からなるアクリル樹脂を含むアクリル樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】オリゴマー副生成物をより少ししか有しないか、またはヘアスタイリング配合物に使用されるＶＯＣとより適合性であるオリゴマーを有するポリマーを提供する。
【解決手段】ポリ（エチレングリコール）（メタ）アクリラート（ＰＥＧＭＡ）のような１種以上の非イオン性水溶性モノマーを含む良好な適合性を有するポリマーを製造する。このポリマーは向上した透明性を有するエアロゾルヘアスタイリング配合物において使用するのに好適である。 （もっと読む）

【課題】粒子内部及び表面に部分的に空孔を有するポリマー粒子を容易に製造する方法及び部分多孔質ポリマー粒子を提供する。
【解決手段】単官能ビニルモノマー、多官能ビニルモノマーとしてトリアリルシアヌレート、重合開始剤及び特定の多孔質化剤を水中に分散させ懸濁状態とし、懸濁重合法により重合した後に多孔質化剤を除去することを特徴とする部分多孔質ポリマー粒子の製造方法及び該製造方法により製造した部分多孔質ポリマー粒子である。 （もっと読む）

【課題】ＬＷＲ等のラフネス特性、孤立スペースパターン（トレンチパターン）のＤＯＦ、及び露光ラチチュードに優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）下記一般式（Ｉ）で表される酸分解性繰り返し単位及び下記一般式（ＩＩ）で表される非酸分解性繰り返し単位を有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂、及び（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
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【課題】
塗料、粘着剤、接着剤、レジスト材料、アクリルシラップなどに使用されるアクリル樹脂の、加熱や紫外線照射によるラジカル硬化性、接着性、現像性、ハンドリング性などの主要要求性能を改善し、解決することを課題とする。
【解決手段】
分子中に２個以上のメタクリロイル基を有する多官能アクリル単量体（Ａ）０．２〜１．５重量％と、分子中に１個のメタクリロイル基を有するアクリル単量体（Ｂ）９８．５〜９９．８重量％からなるアクリル樹脂を含むアクリル樹脂組成物であって、分子中に１個のメタクリロイル基を有するアクリル単量体（Ｂ）が、メタクリル酸メチルを５０〜１００重量％を含むアクリル樹脂組成物。 （もっと読む）