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国際特許分類[C08F220/18]の内容

国際特許分類[C08F220/18]に分類される特許

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【課題】EUV用又はEB用として有用なレジスト組成物、及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】式(a5−0−1)又は式(a5−0−2)で表される基を含む構成単位(a5)と式(a6−1)で表される構成単位とを有する樹脂成分を含有し、構成単位(a5)を誘導するモノマー量が、該構成単位(a5)を有する重合体に対して100ppm以下のレジスト組成物。式中、Q、Q、Qは単結合又は連結基;R、R、Rは有機基であり、RとRとは環を形成してもよい。式中の基−R−S(R)(R)は全体で芳香環を1個のみ有するか又は芳香環を有さない。Vは対アニオン、Aはアニオンを含む基;Mm+は芳香環を1個のみ有するか又は芳香環を有さない有機カチオン;mは1〜3の整数;Rは水素原子、アルキル基又はハロゲン化アルキル基;Pは芳香族炭化水素基である。
[化1]
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【課題】LWR等のラフネス性能、局所的なパターン寸法の均一性及び露光ラチチュードに優れ、かつ良好なドライエッチング耐性を有するパターン形成方法、それに用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(ア)下記一般式(b1)で表される非酸分解性の繰り返し単位(b1)、および、酸によって分解し極性基を生じる基を有する繰り返し単位を含む樹脂(P)、及び、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物(B)を含有する感活性光線性又は感放線性樹脂組成物を用いて膜を形成する工程、(イ)該膜を波長が200nm以下の活性光線又は放射線により露光する工程、及び(ウ)ヘテロ原子及び炭素原子を含み、且つ、炭素原子数が7以上の有機溶剤を含む現像液を用いて現像してネガ型のパターンを形成する工程、を含むパターン形成方法。(式中、Aは酸素原子を含まない、置換基を有していてもよい脂環式炭化水素基を表し、Xは水素原子又はアルキル基を表す。)
【化1】
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【課題】パルプや無機繊維などをバインダー樹脂の水性分散体とともに凝集させて、紙あるいは不織布、シート状物等を製造する抄紙技術において、硫酸や硫酸バンドの使用量が少ない場合にも、凝集性に優れるバインダー樹脂を提供する。
【解決手段】カルボン酸塩型アニオン系界面活性剤(A)の存在下で、アクリル系単量体を含む単量体混合物を乳化重合する抄紙加工用アクリル系樹脂分散体を製造する方法、および前記抄紙加工用アクリル系樹脂分散体を用いた抄紙方法にある。 (もっと読む)


【課題】解像度、密着性及びレジスト形状がいずれも良好である感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、脂環状又は分岐状の基を有する(メタ)アクリル酸エステル化合物及び(メタ)アクリル酸に基づく構成単位を有し、分散度が1.6以下であるバインダーポリマーと、光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有する。 (もっと読む)


【課題】減水性に優れ、凝結遅延がなく、さらにフレッシュコンクリートの粘性が低く練り混ぜが容易であり、施工性に優れたセメント分散剤を提供する。
【解決手段】下記単量体(a)、(b)及び必要に応じ(c)を反応して得られる共重合体もしくはその塩であって、単量体(a)乃至(c)の共重合比が質量基準で(a):(b):(c)=50〜95:5〜50:0〜40である共重合体もしくはその塩(A)と、(a):(b):(c)=0〜45:5〜30:30〜90である共重合体もしくはその塩(B)とを含有する水硬性組成物用混和剤。(a)下記一般式(1):RO−(AO)n−H(1)で表される化合物1モルに対し、炭素数2〜4のアルキレンオキサイドを0〜10モル付加し、さらに該付加物をα,β−不飽和カルボン酸と反応させて得られるエステル化合物、(b)α,β−不飽和カルボン酸又はその塩、及び、(c)その他の共重合可能な単量体。 (もっと読む)


【課題】水蒸気透過度を低く抑え、かつ、剥離強度も優れる透明バリア積層体及び画像表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の透明バリア積層体に対応する第1の積層体2は、アクリル系共重合体(A)及び架橋剤(B)を含有する粘着組成物からなる粘着層を介して、2つの透明バリアフィルムが積層される。アクリル系共重合体(A)は、炭素数8以上15以下の鎖状アルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステル24.9〜75質量%と、脂環構造を有する(メタ)アクリレート24.9〜75質量%と、官能基含有アクリルモノマー0.1〜10質量%とを含有し、かつ、上記粘着層25μmあたりの水蒸気透過度は、JIS K7129A法、40℃×90%RHにおいて100g/m・day以下である。また、本発明の画像表示装置1は、上記第1の積層体2がディスプレイの表面側に配置されており、上記第1の積層体2の端面2aが封止未処理である。 (もっと読む)


【課題】低極性被着体に対する接着性が向上したアクリル系粘着テープを提供する。
【解決手段】アクリル系粘着剤組成物は、アクリル系ポリマー(A)100質量部と、側鎖にテルペン骨格を有し、重量平均分子量が1000以上30000未満の(メタ)アクリル系重合体(B)1〜70質量部と、を含む。(メタ)アクリル系重合体(B)は、粘着性組成物としてのアクリル系ポリマー(A)より重量平均分子量が小さい重合体であり、粘着付与樹脂として機能する。 (もっと読む)


【課題】高感度、高解像性(高解像力など)、高ラインウィズスラフネス(LWR)性能を極めて高次元で同時に満足するパターン形成方法、感電子線性又は感極紫外線性樹脂組成物、及び、レジスト膜、並びに、これらを用いた電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係るパターン形成方法は、(1)感電子線性又は感極紫外線性樹脂組成物を用いて膜を形成することと、(2)前記膜を電子線または極紫外線で露光することと、(3)有機溶剤を含んだ現像液を用いて前記露光された膜を現像することとを含み、前記感電子線性又は感極紫外線性樹脂組成物は、(A)電子線又は極紫外線の照射により分解して酸を発生する構造部位を備えた繰り返し単位(R)を有する樹脂と、(B)溶剤とを含有している。 (もっと読む)


【解決手段】置換又は非置換のメチロール基と結合する窒素原子を含むウレア結合、アミド結合、又はウレタン結合を有する化合物と、ヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位を有する高分子化合物と、酸発生剤と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得ることを特徴とするパターン形成方法。
【効果】本発明に係るレジスト膜は、有機溶剤による現像におけるポジネガ反転の画像形成において、未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く、溶解コントラストが高い特徴を有する。 (もっと読む)


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