【解決手段】酸不安定基により水酸基が保護された構造を有する繰り返し単位（ａ１）とアミノ基、アミド結合、カルバメート結合、含窒素複素環から選ばれる構造を１つ以上含む繰り返し単位（ａ２）とを含有する高分子化合物［Ａ］と、光酸発生剤［Ｂ］と、有機溶剤［Ｃ］とを共に含むレジスト組成物を基板に塗布し、塗布後加熱処理をして作製したレジスト膜を高エネルギー線で露光し、露光後加熱処理を施した後に、有機溶剤を含有する現像液によりレジスト膜の未露光部分を選択的に溶解させるネガ型パターン形成方法。
【効果】本発明の特定の構造の高分子化合物と光酸発生剤と有機溶剤を含むレジスト組成物は、有機溶剤ネガ現像と組み合わせることで高い解像性を示し、例えば微細トレンチパターンやホールパターンの側壁の垂直性を高め、パターン倒れ耐性を向上させることが可能である。 （もっと読む）

【課題】バリア性と密着性に優れたバリア性積層体の提供。
【解決手段】少なくとも１層の有機層と、少なくとも１層のアルミまたはケイ素の、酸化物、窒化物、炭化物、またはその混合物を含む無機層とを有し、前記有機層は、下記一般式(１)または(２)で表される重合性化合物を含む重合性組成物を重合させてなるポリマーを含む、バリア性積層体。
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【課題】リソグラフィおよび現像性能に悪影響を及ぼさず、膜表面および頂部表面付近の領域に分布した、濃縮されたクエンチャー材料が存在するフォトレジスト組成物。
【解決手段】式（Ｉａ）、式（Ｉｂ）または式（Ｉａ）および（Ｉｂ）の組み合わせを含む窒素含有モノマーと、特定の酸脱保護性モノマーとを含むモノマーの重合生成物を含むポリマー。（Ｉａ）：Ｒ^ａ−Ｃ（＝ＣＨ_２）−ＣＯ−（−Ｏ−Ｌ^１−）_ａ−ＮＲ^ｂ_２、（Ｉｂ）：Ｒ^ａ−Ｃ（＝ＣＨ_２）−ＣＯ−Ｏ−ＬＮ−Ｘ。（式中ａは０または１であり、Ｌ^１は直鎖もしくは分岐Ｃ_１−１０アルキレン基、または単環式、多環式、もしくは縮合多環式Ｃ_３−２０（ヘテロ）シクロアルキル等であり、各Ｒ^ｂは別々に分かれているか、または少なくとも一つのＲ^ｂは隣のＲ^ｂに結合されており；ＬＮは縮合多環式Ｃ_３−２０ヘテロシクロアルキレン基等であり、ＸはＨ、Ｃ_１−１０アルキル等である。） （もっと読む）

【課題】低温硬化が可能で、アルカリ水溶液現像が可能であり、十分に高い感度及び解像度で、密着性及び耐熱衝撃性に優れるレジストパターンを形成することができるポジ型感光性樹脂組成物、ポジ型感光性樹脂組成物を用いたレジストパターンの製造方法、係る方法により形成されたレジストパターンを有する半導体装置、及び半導体装置を備える電子デバイスの提供。
【解決手段】フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂と、光により酸を生成する化合物と、熱架橋剤と、炭素数４〜２０のアルキル（メタ）アクリレート単位、（メタ）アクリル酸単位及び側鎖に１級、２級、３級アミノ基を有する（メタ）アクリレート単位を有するアクリル樹脂と、を含有するポジ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】フォーカスマージン（ＤＯＦ）が満足できるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】以下の（Ａ）及び（Ｂ）を含有するレジスト組成物。（Ａ）式（ａ）で表される化合物に由来する構造単位を有する樹脂


［式（ａ）中、Ｒ^１は、水素原子又はメチル基を表す。Ａ^１は、式（ａ−ｇ１）：−（Ａ^１０−Ｘ^１０）_ｓ−Ａ^１１−（式（ａ−ｇ１）中、ｓは０〜２の整数を表す。Ａ^１０及びＡ^１１は、それぞれ独立に、炭素数１〜５の脂肪族炭化水素基等を表す。Ｘ^１０は、酸素原子、カルボニル基、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基等を表す。）で表される基を表す。Ｒ^２は、置換基を有していてもよい炭素数１〜１８の脂肪族炭化水素基等を表す。］（Ｂ）酸発生剤 （もっと読む）

【課題】太陽電池モジュールの封止材との密着性が良く、また紫外線吸収性能に優れ、長期間使用した場合でも基材シートの光劣化を生じ難く、長期安定性に優れた太陽電池モジュール用裏面保護シートの提供。
【解決手段】基材シートの一方の面にアクリル系高分子型紫外線吸収層を有し、前記アクリル系高分子型紫外線吸収層は、分子内に紫外線吸収性ユニットをもつ単量体単位を有することを特徴とする太陽電池モジュール用裏面保護シート。 （もっと読む）

【課題】２種類以上の単量体組成物を共重合させ、反応速度が速い単量体が偏在していない樹脂組成物を合成することで反応時において得られる樹脂の特性バラツキが少ない樹脂組成物とその製造方法を提供する。
【解決手段】２種類以上の単量体及び重合開始剤を含む単量体混合物を重合反応させて得られる樹脂組成物であって、得られる樹脂組成物における２種類以上の単量体の１種に由来する官能基をＵＶ（紫外光）で検出可能な基に変換しＲＩ（示差屈折率）検出器、ＵＶ検出器を用いてＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー）スペクトルを測定したとき、次式に示すＸが−０．０３以上、０．０３以下である樹脂組成物。
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【課題】金属含有量が高く、簡便に調製することのできる有機無機複合体を提供することであり、且つ、クロスカップリング反応に対して高活性・高耐久性で、反応系内に漏出する金属量の少ない不溶性固体触媒として機能する有機無機複合体、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】重合性組成物（Ａ）の重合体（Ｐ_Ａ）と金属ナノ粒子との複合体であって、該重合性組成物（Ａ）が、（１）アミノ基、イミノ基、ウレア結合又はアミド結合と、ビニル基とを有する重合性化合物（ａ）と、（２）分岐していてもよい炭素数４〜１２のアルキレン基及び２個以上のビニル基を有する重合性化合物（ｂ）と、を含むことを特徴とする有機無機複合体。 （もっと読む）

【課題】
粒子径が小さく均一で保存安定性に優れる水溶性重合体分散液、および保存安定性に優れ、得られる紙の地合いを乱さず、かつ、紙に高い紙力効果を付与することができる紙力増強剤、製紙用濾水性向上剤および製紙用歩留向上剤を提供する。
【解決手段】
塩濃度が１０重量％以上飽和濃度以下の塩水溶液中で、少なくともカチオン性ラジカル重合性単量体（ａ１）および（メタ）アクリルアミド（ａ４）を含有するラジカル重合成分（ａ）を共重合させて得られる水溶性重合体（Ａ）を、下記（Ｂ）および（Ｃ）成分を用いて分散させて得られる水溶性重合体分散液。（Ｂ）成分：カチオン性ラジカル重合性単量体（ｂ１）、（メタ）アクリルアミド（ｂ５）ならびに架橋性単量体（ｂ３）および／または一般式（１）ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ１）−ＣＯＮＲ２（Ｒ２）（式中、Ｒ１は水素原子またはメチル基、Ｒ２は、それぞれ独立に炭素数１〜４の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、を表す）で表わされるＮ−置換（メタ）アクリルアミド（ｂ４）を含有するラジカル重合成分（ｂ）を共重合させて得られる高分子分散剤、（Ｃ）成分：炭素数２〜１０の多価アルコール （もっと読む）

【課題】屈折率が向上して反射防止膜としての効果に優れ、コーティング膜の親水性と疏水性を調節することにより、レジストとの互換性に優れた有機反射防止膜用共重合体、単量体、及びそれを含む有機反射防止膜組成物を提供する。
【解決手段】本発明による有機反射防止膜用共重合体、単量体、及びそれを含む有機反射防止膜組成物は、下記一般式（１）で表される繰り返し単位を含むことを特徴とする。
【化１】



（式中、Ｒ₁、Ｒ₂、Ｒ₃、Ａ、ｍ及びｎに関する定義は発明の詳細な説明に記載した通りである。） （もっと読む）