【課題】本発明の目的は、レジスト膜に対する高い屈折率と高い吸光係数とを有し、耐パターン倒れ性に優れるレジスト下層膜形成用組成物及びパターン形成方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、［Ａ］下記式（１）で表される化合物に由来する構造単位（Ｉ）と、ラクトン構造を有する構造単位及び環状カーボネート構造を有する構造単位からなる群より選択される少なくとも１種の構造単位（ＩＩ）とを含む重合体を含有するレジスト下層膜形成用組成物である。式（１）中、Ｒ^１は、水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。ｎ１及びｎ２は、それぞれ独立して、０〜２の整数である。
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【解決手段】酸不安定基と結合する窒素原子を有する繰り返し単位を含有する高分子化合物と、酸発生剤と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得るパターン形成方法。
【効果】本発明の酸不安定基と結合する窒素原子を有する繰り返し単位を含む高分子化合物と酸発生剤とを含むレジスト膜は、有機溶剤による現像におけるポジネガ反転の画像形成において、未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く、即ち溶解コントラストが高く、酸拡散を抑制する効果が非常に高い特徴を有する。このレジスト膜を用いてドットパターン又は格子状パターンのマスクを使って露光し、有機溶剤現像を行うことによって、微細なホールパターンを寸法制御よく形成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】透明性、耐熱性および成形性の高い炭化水素系共重合体および成形体を提供する。
【解決手段】２−ノルボルネンやテトラシクロドデセンなどのノルボルネン誘導体と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドなどのＮ−シクロアルキルマレイミド、Ｎ−メチルマレイミドやＮ−エチルマレイミドなどのＮ−アルキルマレイミドまたはＮ−フェニルマレイミドなどのＮ−アリールマレイミドとを共重合してなる数平均分子量が５×１０⁴〜５×１０⁶の範囲である炭化水素系共重合体。該炭化水素系共重合体を成形してフィルムなどの成形体を得る。 （もっと読む）

【課題】導電率、耐熱性及び耐光性に優れる有機導電膜を形成可能な導電膜形成用組成物を提供する。
【解決手段】［Ａ］共役系高分子、及び［Ｂ］式（１）で表される構造単位（Ｉ）を含む共重合体を含有する有機導電膜形成用組成物である。式（１）中、Ｒ^１はメチレン基、炭素数２〜１２のアルキレン基、炭素数４〜２０の２価の脂環式基、フェニレン基又はナフチレン基である。Ｒ^２は、水酸基、カルボキシル基、スルホ基、ホスホノ基又はこれらの基の塩である。
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【課題】耐熱性、耐湿性、耐傷性、機械的な強度、偏光膜との密着性、及び、光学等方性に優れる偏光膜保護フィルム、並びに、それを備える偏光板を提供する。
【解決手段】メタクリル酸単量体及びメタクリル酸エステル単量体から形成される第一の構造単位５０〜９５質量％と、Ｎ−置換基がアリール基もしくはアリールアルキル基からなるＮ−置換マレイミド化合物から形成される第二の構造単位０．１〜２０質量％と、Ｎ−置換基がアルキル基もしくはシクロアルキル基からなるＮ−置換マレイミド化合物から形成される第三の構造単位０．１〜４９．９質量％とを有するアクリル系熱可塑性樹脂から形成される光学等方性偏光膜保護フィルム。 （もっと読む）

【課題】高Ｔｇ及び高い透明性を有し、吸湿性が低い、新規含フッ素重合体及びその製造方法、該重合体を含む樹脂組成物並びに光ファイバーを提供する。
【解決手段】式（ａ）で表わされる化合物と式（ｂ）で表わされる化合物とを重合させて得られる式（１ａ）で表わされる含フッ素重合体、該重合体を含む樹脂組成物並びに重合体を含む樹脂組成物からなる光ファイバー。


（式中、Ｒは、炭素数１〜６のフルオロアルキル基又はフルオロフェニル基を表す。） （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス基板に対する密着性や弾性回復力に優れた柱状スペーサーの提供を前提として、このような柱状スペーサーを得ることのできるフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物の提供を課題としている。
【解決手段】液晶セルの柱状スペーサーの製造のために用いられるフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物であって、感光性ポリマーと、多官能モノマーと、光重合開始剤とを含有し、該感光性ポリマーが、ラジカル重合性不飽和二重結合を有し、且つ、主鎖に環構造を導入し得るモノマーと、酸基を導入し得るモノマーと、側鎖に炭素数１３以上の長鎖アルキル基を含有するモノマーとを必須モノマーとして含むモノマー成分から合成される酸基含有ポリマーであることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】高いエッチング耐性を有するレジストパターンを形成させることのできる微細パターン形成用組成物、およびそれを用いたレジストパターンの形成方法の提供。
【解決手段】側鎖に芳香族含有置換基を有する水溶性樹脂と純水とを含む微細パターン形成用組成物。この組成物は、水溶性樹脂に結合した酸基を含むか、または組成物中に遊離の酸を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス基板に対する密着性や弾性回復力に優れた柱状スペーサーの提供を前提として、このような柱状スペーサーを得ることのできるフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物の提供を課題としている。
【解決手段】液晶セルの柱状スペーサーの製造のために用いられるフォトスペーサー用硬化性樹脂組成物であって、酸基を導入し得るモノマーと、アミド基含有モノマーとを必須成分として含むモノマー成分から合成された酸基含有ポリマーの酸基に、ラジカル重合性不飽和二重結合と酸基と反応し得る官能基を有する化合物を反応させることによって得られる感光性ポリマーと、多官能モノマーと、光重合開始剤とを有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】形成されるパターン上において異物の発生が少ない着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】着色剤、樹脂、光重合性化合物及び光重合開始剤を含み、着色剤が、キサンテン染料を含む着色剤であり、樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも一種に由来する構造単位と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位とを有する共重合体である着色感光性樹脂組成物。 （もっと読む）