国際特許分類[C09K11/62]の内容
化学;冶金 (1,075,549) | 染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用 (147,412) | 他に分類されない応用される物質;他に分類されない物質の応用 (32,573) | 発光性物質,例.電気発光性物質;化学発光性物質 (13,022) | 無機発光性物質を含有するもの (7,581) | ガリウム,インジウムまたはタリウムを含むもの (411)
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発光体堆積のための硫化水素注入方法
本発明は、硫黄含有の多元素の薄膜組成物を基板上に真空蒸着する方法である。前記方法は、1又は2以上の材料を蒸着する間に前記薄膜組成物の少なくとも一部を構成する1又は2以上の原料物質でガス又は蒸気の硫黄種の供給源を対象とする処理を有する。前記ガス又は蒸気の硫黄種が1又は2以上の原料物質に到達したときに硫黄種が高温で加熱され、前記薄膜組成物の堆積の間に前記1又は2以上の原料物質からの蒸発物と前記ガス又は蒸気の硫黄種との化学相互作用が生じる。前記方法は、高誘電率を有する厚膜フィルムの誘電層を用いるフルカラーの交流エレクトロルミネセントディスプレイ用の発光体の堆積に特に有用である。 (もっと読む)
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