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国際特許分類[C23C14/12]の内容

国際特許分類[C23C14/12]に分類される特許

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【課題】重合性モノマー液の供給装置において、一時停止期間中の洗浄後、供給再開前の真空引きの際に、気化室の温度が過度に上昇するのを防止する。
【解決手段】モノマー供給装置1の供給モード(供給工程)では、重合性モノマー液を供給部2から供給ライン10に送出し、気化室41にて気化させてモノマー利用部3に供給する。供給モードを一時停止したときは、洗浄液を供給部4から供給ライン10に流して気化室41にて気化させる洗浄モード(洗浄工程)を実行する。かつ、洗浄モードの後期における洗浄液の流量を洗浄モードの初期における前記洗浄液の流量より小さくする。供給モードを再開するときは、供給ライン10内の流体を吸引する真空引きモード(真空引き工程)を経て、供給工程に切り替える。 (もっと読む)


【課題】コンパクトで使い勝手が良く、イニシャルコストもランニングコストも安い真空成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜チャンバ(2)内に、ワークホルダ(10)と、マグネトロン電極(15)とを設ける。マグネトロン電極(15)には、第1のターゲット材料(16)を設け、これに重ね合わせるように第2のターゲット材料(17)を設ける。第2のターゲット材料(17、17)は第1のターゲット材料(16)をカバーする位置と、開放する位置の2位置を採ることができるようにする。ワークホルダ(10)と、第1、2のターゲット材料(16、17)との間には、直流電圧と高周波電圧とが選択可能に印加されるようにする。 (もっと読む)


【課題】高い水蒸気バリアー性能を有するバリアーフィルムとその製造方法及びそのバリアーフィルムを用いた電子機器を実現する。
【解決手段】基材1上にガスバリアー層2を備えたバリアーフィルム10を製造する場合、基材1上にポリシラザンを含有した塗布液を塗布して成膜した塗膜に、真空紫外光を照射する処理を施した後に、100℃以上250℃以下の加熱処理を施すことによって、水分透過率の低下を図ったガスバリアー層2を形成するようにした。 (もっと読む)


【課題】重合性モノマーを用いて被処理フィルムを表面処理する際に、ロール電極に付着した重合性モノマーの凝縮物又は重合物等からなる付着物を除去し、上記付着物に起因する歩留まりの低下を防止する。
【解決手段】被処理フィルム9を、フィルム表面処理装置1のロール電極11の外周面の軸方向の端部分11eより内側かつ周方向の一部分11aに巻き付ける。ロール電極11を軸線回りに回転させながら、重合性モノマーを含有する反応流体を被処理フィルム9に接触させ、かつロール電極11と対向電極11との間の放電空間15において被処理フィルム9にプラズマを照射する。第1洗浄ロール30を、ロール電極11の端部分11eと内側の部分11bとに跨るようにして上記フィルム巻付部分11aから周方向にずれた部分に接触させる。第1洗浄ロール30の少なくとも外周部32を絶縁性にし、かつ外周部32の最外周部分34を粘着性材料にて構成する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、電子素子を安定的、かつ、低コストで形成可能な積層体を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、金属基材および上記金属基材表面に形成された耐アルカリ保護層を有する耐アルカリ基材と、上記耐アルカリ基材上にパターン状に形成され、ポリイミド樹脂を含有する絶縁層と、上記絶縁層上に形成された導体層と、を有し、上記金属基材が、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする合金からなるものであり、上記耐アルカリ保護層が、無機材料を主成分とする耐アルカリ材料からなるものであり、上記耐アルカリ基材の厚みが70μm以上であることを特徴とする積層体を提供することにより、上記目的を達成する。 (もっと読む)


【課題】低コストかつ省スペースにエネルギ線硬化樹脂層を形成し、硬化させることができる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置1は、チャンバ10と、ステージ15と、ガス供給部13と、照射源14とを具備する。ステージ15は、チャンバ10の内部に配置され、基板Wを支持するための支持面151aを有する。ガス供給部13は、チャンバ10の内部に配置され、支持面151aに向けてエネルギ線硬化樹脂を含む原料ガスを供給する。照射源14は、チャンバ10の内部に支持面151aに対向して配置され、エネルギ線硬化樹脂を硬化させるためのエネルギ線を支持面151aに向けて照射する。 (もっと読む)


【課題】改良された有機材料の気化方法を提供する。
【解決手段】有機材料を気化させて表面に膜を形成する方法であって、所定量の流動化した粉末形態の有機材料を供給し;その粉末化した有機材料を計量し、流動化した粉末流として第1の部材の上に誘導し;その第1の部材を加熱して流動化した上記粉末流を気化させ;気化した有機材料をマニホールド60内に回収し;そのマニホールドに通じている少なくとも1つの開口部90が形成された第2の部材50を用意し、気化した有機材料をその第2の部材によって上記表面に誘導して膜を形成する操作を含む方法。 (もっと読む)


【課題】 樹脂薄膜を用い電子材料などを形成する際に厚みむらや欠陥があると薄膜化の効果が半減、性能不良に繋がる。薄膜の実用化には、膜質と生産性の両立が求められるが、従来の樹脂材料塗布方法は、重力による自然流動方式のため塗布したい加熱板面の範囲に対して流動させる時間を要し、また、流動する間に厚みむらや欠陥を生じ易いなど課題がある。
【解決手段】 樹脂材料の塗布方法としてニードルバルブによる吐出方法を採用することで、加熱板面上に均一な樹脂量が吐出可能となる。また。付着させる幅に応じ樹脂材料の供給点を複数個所設けることで、効率良く均一な吐出が可能となる。また、吐出粒径および吐出量の制御が可能となる。重力による自然流動方式で無いため、樹脂粘度の変化に対しても影響を受け難く、均一に吐出させながら蒸発させることで支持体に高速で安定した成膜が可能となる。 (もっと読む)


【課題】生産性を高めることができるとともに均一な蒸着膜を形成することができる真空蒸着装置および真空蒸着方法を提供する。
【解決手段】フィルムFを外周に沿わせて連続的に送る冷却ドラム21を備え、このフィルムFの外周側に、有機材料を加熱して蒸発させるとともに放出させて当該フィルムFに負圧下で蒸着させる蒸発源31を4基配置した真空蒸着装置1であって、上記蒸発源31のうち、第1蒸発源31Aおよび第2蒸発源31Bは、同一の有機材料を蒸着させるものであり、上記第1蒸発源31Aは蒸発させた有機材料の放出量を調整し得るバルブ駆動部33を有せず、第2蒸発源31Bは当該バルブ駆動部33を有するものであり、上記第1蒸発源31Aおよび第2蒸発源31B以外の他の蒸発源31C,31Dは、上記バルブ駆動部33を有するものである。 (もっと読む)


【課題】本件発明の課題は、プラスチック光学部品の表面に対する密着性に優れ、広い波長領域の光に対して優れた反射防止性能を有するプラスチック光学部品の反射防止膜及びプラスチック光学部品の反射防止膜の製造方法を提供することである。
【解決手段】上記課題を解決するため、反射防止膜を、プラスチック光学部品基材上に設けられ、有機系ケイ素化合物を用いて形成された応力緩和層と、当該応力緩和層上に、高屈折率層と、有機系ケイ素化合物を用いて形成される低屈折率層とを当該順序で積層した二層を一組の反射防止ペア層として、当該反射防止ペア層を少なくとも二組積層した構造を有する反射防止構造体とを備える構成とする。 (もっと読む)


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