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国際特許分類[C23C14/24]の内容

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【課題】摩耗を受ける基体、特に工具の表面に表面層を形成するための層組織を提供する。
【解決手段】組成(AlMgCrMeAXSi)α[N]β〔ここで、(a+b+c+d+e+m+k)=α、(u+v+w)=β、及び(α+β)=100、40≦α≦60、であり、Meは、元素周期表の第二亜族IVb、Vb、及びVIbの少なくとも一種類の元素であり、AXが、元素周期表の第一亜族Iaの元素、及びBe、Ca、Sr、及びBaの元素、及び第二亜族VIIb、VIIIb、Ib、IIb、IIIbの元素、及びランタノイド系の元素からなる群からの少なくとも一種類の元素であり、0.004≦m<60である〕の少なくとも一つの第一硬質層を含む層組織において、0.4≦a≦58、及び0.04≦b≦12、及び18≦c≦42であることを特徴とする、層組織。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、従来の真空蒸着設備を用い成膜することの出来る、導電性、透明性、及び外観に優れたアルミニウム添加酸化亜鉛系透明導電膜を提供する。
【解決手段】
不純物ドーパントとして少なくともフッ化アルミニウムを0.01〜10重量%の割合で含む酸化亜鉛焼結体をターゲット材料とした真空蒸着法により、基板上に成膜されることを特徴とするアルミニウム添加酸化亜鉛系透明導電膜。 (もっと読む)


【課題】蒸着源、蒸着装置及び蒸着方法の技術分野に関し、特に、同軸型真空アーク蒸着源に関する。
【解決手段】本発明の蒸着源5では、絶縁部材10の側面20と、トリガ電極12の表面22と、蒸着材料14aの側面24とが、面一になるように構成されている。トリガ電極12と蒸着材料14aとの間に電圧を印加して、トリガ放電を発生させると、蒸着材料14aの側面24から荷電微粒子31や巨大粒子33が放射状に放出されるが、蒸着材料の側面24に沿う方向に放出される荷電微粒子31や巨大粒子33の数は非常に少ない。このため、蒸着材料の側面24と面一に配置された絶縁部材の側面20には、巨大粒子33がほとんど付着しないので、付着した巨大粒子33が再蒸発して基板4の表面に付着する量を少なくすることができ、従来に比して膜質の良好な薄膜を成膜することができる。 (もっと読む)


本発明は、剥離剤を、基板に向けられた少なくとも1つのノズルを備えた真空室の内室内で気化させ、真空室内で移動する又は移動可能な基板上に剥離剤の層を施すための方法に関する。この場合、液状の剥離剤を、気化室の内室内に噴射して、気化させるようにした。また本発明は、真空室内で移動するか又は移動可能な基板に、剥離剤の層を施すための装置であって、前記真空室が少なくとも1つの金属蒸発装置を有しており、基板に向けられた少なくとも1つのノズルを備えた気化室が設けられており、剥離剤が供給管路を介して前記気化室の内室に供給可能である形式のものに関する。この場合、前記供給管路が噴射装置に接続されており、該噴射装置によって、液状の剥離剤が、気化させるために、気化室の内室内に噴射可能又は噴射され、それによって気化されるようになっていることを特徴としている。
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【課題】構造を簡略化することができると共に、短時間で均一な厚みに蒸着物質を基板に蒸着することができる蒸着装置の提供。
【解決手段】本発明の蒸着装置は、フレーム上に往復移動可能に取り付けられた移動プレート、基板上に蒸着できるように蒸着材料を蒸発させ、前記移動プレートに前記移動プレートの移動方向と交差する方向に配設けられた複数の蒸発源、及び、前記移動プレートを往復駆動させるための駆動ユニットを含む。 (もっと読む)


【課題】高純度、且つ、高密度の有機化合物層を形成することができる成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜室内に配置された基板上に有機化合物材料を蒸着させる成膜方法であって、成膜室内を5×10−3Torrよりも高真空とし、基板に対向して配置した蒸着源から有機化合物材料を蒸着させて基板上に有機化合物層を成膜し、成膜後、基板を大気にふれさせることなく、成膜室とは異なる処理室に搬送し、処理室内を5×10−3Torrよりも高真空とし、且つ、基板を加熱して有機化合物層中のガスを低減する。 (もっと読む)


【課題】 絶縁体である担体粒子の表面に均等に、かつ排ガスの浄化触媒として機能する場所である排ガスと貴金属ナノ粒子と担体との三相界面が効率よく形成されるように貴金属ナノ粒子を担持させること。
【解決手段】 白金の円柱状カソード電極22、その外周の絶縁碍子23、その外周のトリガ電極24、その外周から所定の間隔をあけた円筒状で一端が真空チャンバ11内に開口され他端が閉じられたアノード電極25からなる同軸型真空アーク蒸着源21を備えた真空アーク蒸着装置1を使用し、カソード電極22とアノード電極25との間に間欠的にアーク放電を誘起させて、カソード電極22から蒸発しプラズマ化される白金を担体のアルミナ粒子Pへに到らせ、その表面に白金のナノ粒子を形成させる。 (もっと読む)


【課題】基体の表面特性を改善して、優れた臨界電流特性を示す超電導線およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】金属基板を含む基体1と、この基体上に形成された超電導層を具備する超電導線であって、金属板に90%以上の圧下率の強圧延加工工程と配向熱処理工程とが施された金属板に研磨を施し、結晶粒界に形成された突起部Aを除去するとともに、突起部を構成する物質を溝部B内に堆積させて平坦化した後、基体表面上に超電導層を形成することによって製造される。 (もっと読む)


【課題】同軸型真空アーク蒸着源を用いた金属材料の微粒子膜の製造において、微粒子膜の成膜レートを向上させる。
【解決手段】
同軸型真空アーク蒸着源5を用いて、被蒸着物であるポリマ等の絶縁基板4上に、所定の粒径の微粒子からなる白金等の金属材料の微粒子を付着せしめる微粒子膜の製造において、絶縁基板4に微粒子の付着によってもたらされた電荷は、後から来る微粒子に対する反発力を生じるため、後から来る微粒子の絶縁基板4への付着の妨げとなる。そこで、電荷を絶縁基板4上に滞留させないように除電する。これにより、微粒子膜の成膜レートを向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】有機EL素子の各画素に同一マスクを用いて複数の非共通層を蒸着した場合の位置ずれによる蒸着欠陥を低減する。
【解決手段】有機EL素子のキャリア輸送層と発光層を同一のマスク20を用いて連続的に成膜する。キャリア輸送層の蒸着によって発生するマスク20と基板10の熱膨張に伴う変位の差分に応じて、発光層の蒸着工程においては、両側のポイントソース31a、31cの放射角θ2をキャリア輸送層の蒸着時より広げて蒸着する。キャリア輸送層の外縁を囲むように発光層の外縁部を回り込ませることで発光層に欠陥が発生するのを防ぐ。 (もっと読む)


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