国際特許分類[C23C14/24]の内容
化学;冶金 (1,075,549) | 金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般 (47,648) | 金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般 (43,865) | 被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆 (14,491) | 被覆の方法に特徴のあるもの (7,808) | 真空蒸着 (2,572)
国際特許分類[C23C14/24]の下位に属する分類
ソースの抵抗加熱または誘導加熱によるもの (14)
波動エネルギーまたは粒子放射によるもの (271)
爆発によるもの;蒸発およびその後の蒸気のイオン化によるもの (343)
国際特許分類[C23C14/24]に分類される特許
1,941 - 1,944 / 1,944
全方向同時蒸着重合装置
[構成] 真空処理室1aの両壁部19a、19bにフランジ加熱ヒ−タ14a、14bを埋設し、これ以外の各バレル10面が対向する外周壁部18には処理室加熱ヒ−タ13が埋設されている。また、真空排気系用配管51の壁部にも排気系加熱ヒ−タ15が埋設されており、更に蒸発源容器5a、5bのに接続されている導入管6a、6bにも導入管加熱ヒ−タ16a、16bが埋設されている。これら各加熱ヒ−タは各々独立して温度制御が可能である。導入管加熱ヒ−タ16a、16bを設けたことで導入管6a、6bにモノマが付着せず蒸発速度の低下が防止でき、排気系加熱ヒータ15を設けたことで真空排気系2の内壁にモノマが付着せず排気能力の低下が防止でき、蒸発レ−トが不安定となる要因を取り除くことができる。
[効果] 被蒸着物表面上に形成される高分子被膜の質を良好にする。
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蒸着重合装置
[目的] 蒸着重合装置における蒸発源容器の蒸発源噴出口にモノマを付着・堆積させず、モノマの蒸発レートを安定化させる。
[構成] 原料モノマA、Bが供給された蒸発源容器7の蒸発源貯蔵部14a、14bの外周部と蒸発源噴出口部13a、13bの外周部とに、それぞれ別個に蒸発源加熱ヒータ9a、9bと蒸発源噴出口加熱用ヒータ12a、12bとを設け、蒸発源加熱ヒータ9a、9bの温度よりも蒸発源噴出口加熱用ヒータ12a、12bの温度を若干高くする。これにより蒸発源噴出口部13a、13bの温度が低下するのを防ぎ、蒸発源容器7a、7b全体の温度がそれぞれ一定化するので、蒸発源噴出口13a、13bにモノマが付着・堆積することなくモノマA、Bの蒸発速度及び蒸発レートが常に安定化する。
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超電導薄膜の作成方法
ラセミ体薄膜の形成方法
1,941 - 1,944 / 1,944
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