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国際特許分類[C23C14/24]の内容

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[構成] 真空処理室1aの両壁部19a、19bにフランジ加熱ヒ−タ14a、14bを埋設し、これ以外の各バレル10面が対向する外周壁部18には処理室加熱ヒ−タ13が埋設されている。また、真空排気系用配管51の壁部にも排気系加熱ヒ−タ15が埋設されており、更に蒸発源容器5a、5bのに接続されている導入管6a、6bにも導入管加熱ヒ−タ16a、16bが埋設されている。これら各加熱ヒ−タは各々独立して温度制御が可能である。導入管加熱ヒ−タ16a、16bを設けたことで導入管6a、6bにモノマが付着せず蒸発速度の低下が防止でき、排気系加熱ヒータ15を設けたことで真空排気系2の内壁にモノマが付着せず排気能力の低下が防止でき、蒸発レ−トが不安定となる要因を取り除くことができる。
[効果] 被蒸着物表面上に形成される高分子被膜の質を良好にする。 (もっと読む)


[目的] 蒸着重合装置における蒸発源容器の蒸発源噴出口にモノマを付着・堆積させず、モノマの蒸発レートを安定化させる。
[構成] 原料モノマA、Bが供給された蒸発源容器7の蒸発源貯蔵部14a、14bの外周部と蒸発源噴出口部13a、13bの外周部とに、それぞれ別個に蒸発源加熱ヒータ9a、9bと蒸発源噴出口加熱用ヒータ12a、12bとを設け、蒸発源加熱ヒータ9a、9bの温度よりも蒸発源噴出口加熱用ヒータ12a、12bの温度を若干高くする。これにより蒸発源噴出口部13a、13bの温度が低下するのを防ぎ、蒸発源容器7a、7b全体の温度がそれぞれ一定化するので、蒸発源噴出口13a、13bにモノマが付着・堆積することなくモノマA、Bの蒸発速度及び蒸発レートが常に安定化する。 (もっと読む)




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