国際特許分類[C23C18/08]の内容

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【課題】形成された銀被膜が均一で、銀被膜が形成される温度が400℃以上である銀被膜の形成剤及び銀被膜の形成方法を提供する。
【解決手段】化学式(I)で示されるイミダゾール化合物銀錯体を含有する銀被膜の形成剤を用いる。(1)


(式中、R、RおよびRは、同一または異なって、水素原子、炭素数1〜13のアルキル基またはシクロヘキシル基を表す。但し、R、RおよびRの炭素数の合計は、0〜13である。) (もっと読む)


【課題】電子デバイスなどにパラジウム構造を低コストで形成するための方法およびパラジウム堆積に使用できる溶液処理可能な塑性物を提供する。
【解決手段】パラジウム塩およびオルガノアミンを含み、還元剤を含まない非触媒パラジウム前駆体組成物であって、この組成物は、実質的に水を含まない。この組成物を、溶液処理方法を使用して基板上に溶液堆積させ、加熱して伝導性パラジウムを形成させ、パターン状のものを含む種々広範の基板にパラジウム層を形成し、電子デバイスのための電気回路または経路を形成する。 (もっと読む)


【課題】例えば電子デバイスまたは電子デバイスなどの種々の対象物にパラジウム層を形成するための組成物およびプロセスを提供する。
【解決手段】パラジウム層を形成するための組成物は、パラジウム塩およびオルガノアミンを含有する。基板上にパラジウム層を形成するためのプロセスは、パラジウム塩、オルガノアミン、および水不混和性の有機溶媒を含むパラジウム前駆体組成物を受容する工程と、前記基板を前記パラジウム前駆体組成物で溶液コーティングする工程と、前記パラジウム前駆体組成物を加熱し、パラジウム層を形成する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】約210℃以下の低温であっても速やかに金属銀を形成できる新たな材料の提供を目的とする。
【解決手段】β−ケトカルボン酸銀を含む金属銀の形成材料とする。この形成材料を加熱することによって、約210℃以下の低温であっても速やかに金属銀を形成できる。前記β−ケトカルボン酸銀の一例としては、例えば、イソブチリル酢酸銀、ベンゾイル酢酸銀、アセト酢酸銀、プロピオニル酢酸銀、α−メチルアセト酢酸銀およびα−エチルアセト酢酸銀が挙げられる。 (もっと読む)


【課題】内部の粒子の露出を十分に低減することが可能な被覆粒子の製造方法を提供すること。
【解決手段】粒子と該粒子を被覆する金属膜とを有する被覆粒子の製造方法であって、超臨界又は亜臨界状態の二酸化炭素及び該二酸化炭素に溶解した金属錯体を含む分散媒と、該分散媒の中に粒子と、を含有する流体を得る工程と、流体の圧力を下げて、粒子の表面に金属錯体を析出させる工程と、流体の温度を上げて、粒子の表面に析出させた金属錯体を分解し、粒子の表面を金属膜で被覆して被覆粒子を得る工程と、を有する、被覆粒子の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】銅の高原子価化合物から金属銅膜を製造する組成物、金属銅膜の製造方法、および金属銅膜を提供する。
【解決手段】銅化合物;直鎖、分岐または環状の炭素数1から18のアルコール類;VIII族金属触媒;バインダー樹脂;バインダー樹脂硬化剤および銅錯体から成る銅含有組成物を被膜とし、不活性ガス;水素、または、不活性ガスと水素の混合ガス中で、加熱して金属銅膜を製造する。
また、銅化合物;直鎖、分岐または環状の炭素数1から18のアルコール類;VIII族金属触媒;バインダー樹脂;バインダー樹脂硬化剤;銅錯体およびレオロジー調整剤から成る銅含有組成物を被膜とし、不活性ガス;水素、または、不活性ガスと水素の混合ガス中で、加熱して金属銅膜を製造する。 (もっと読む)


【課題】塗布性が良好で、保存安定性に優れ、低温で銅膜に転化でき、導電性に優れた銅膜を安価に製造できる溶液タイプの銅膜形成用組成物を提供すること。
【解決手段】必須成分として、ギ酸銅又はその水和物を1モル部、下記一般式(1)または下記一般式(1’)のいずれかで表されるジオール化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種のジオール化合物を0.25〜2.0モル部、下記一般式(2)で表されるピペリジン化合物を0.25〜2.0モル部並びにこれらを溶解せしめる有機溶剤を含有してなる銅膜形成用組成物。
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【課題】処理雰囲気を適切に制御しつつ、金属混合液を用いて基板上に金属膜を適切に形成する。
【解決手段】塗布処理装置の塗布ノズル70には、金属錯体と溶媒を供給する液供給装置71が接続されている。液供給装置71は、内部に金属錯体を貯留する金属供給源100と、内部に溶媒を貯留する溶媒供給源110と、金属供給源100と塗布ノズル70とを接続する金属供給管104と、溶媒供給源110と塗布ノズル70とを接続する溶媒供給管114と、内部に不活性ガスを貯留するガス供給源120と、ガス供給源120と金属供給管104とを接続する第1のガス供給管121と、ガス供給源120と溶媒供給管114とを接続する第2のガス供給管123と、を有している。塗布処理装置の内部を減圧する前に、液供給装置70から塗布ノズル70へ不活性ガスを供給する。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、薄肉であっても耐自重変形性に優れて、変形しにくく、取り扱いが容易であり、高温高圧状態での耐食性及び耐久性を有し、還元雰囲気中での白金の粒成長及び粒界腐食を防止できる表面が硬化された白金成形物及びその表面硬化方法を提供することである。
【解決手段】本発明に係る白金成形物の表面硬化方法は、白金成形物20の表面に、イリジウム塩若しくはルテニウム塩のいずれか一方又は両方を含有する塗布液を塗布して塗布層を形成する塗布工程と、該塗布層を窒素ガス雰囲気中又は火炎中で熱分解して前記塗布層をイリジウム、ルテニウム又はイリジウム若しくはルテニウムの少なくとも一種を含む合金からなる被覆層30とする熱分解工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】金属混合液を用いて基板上に金属膜を適切且つ効率よく形成する。
【解決手段】金属膜形成システム1は、ウェハWを搬入出する搬入出ステーション2と、ウェハW上に前処理液を塗布し、ウェハW上に下地膜を形成する前処理ステーション3と、下地膜が形成されたウェハW上に金属混合液を塗布し、ウェハW上に金属膜を形成する主処理ステーション4と、搬入出ステーション2、前処理ステーション3及び主処理ステーション4を接続するロードロックユニット10とを有している。前処理ステーション3、主処理ステーション4、ロードロックユニット10は、それぞれ内部を不活性ガスの大気圧雰囲気又は減圧雰囲気に切り替え可能に構成されている。 (もっと読む)


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