説明

国際特許分類[C23C20/06]の内容

国際特許分類[C23C20/06]の下位に属する分類

国際特許分類[C23C20/06]に分類される特許

1 - 10 / 16


【課題】基材上に金属化合物の薄膜をより低い温度で形成可能な製造方法を提供する。
【解決手段】熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂から形成される合成樹脂製部材の基材上に金属化合物の薄膜を形成する方法は、薄膜形成用材料を含むゾルを用意することS10、ゾルを基材上に塗布することS20、ゾルが塗布された基材を配置した反応容器内にプラズマ源ガスを導入すること、ガスをプラズマ化することS30、プラズマの作用によりゾル由来の薄膜を基材上に形成。 (もっと読む)


【課題】基材のサイズに依らず連続コーティングが可能な生産性に優れ、かつ屈折率が低く、耐久性にも優れた良好な光学機能層となるシリカ系多孔質体の製造方法を提供すること。
【解決手段】シリカ系多孔質体の製造方法において、2種以上のアルコキシシラン類からなる加水分解基含有シラン、その加水分解物及び部分縮合物、及び水、アルコール類、有機高分子とを含むシリカ系組成物をJIS B7513に準拠した方法で測定される平面
度が20μm以下である基材上に塗布した後、100℃以上で加熱することを特徴とする
(もっと読む)


本発明は、基材を、a)少なくとも1種のインジウムアルコキシド及びb)少なくとも1種の溶媒を包含する液状の無水組成物でコーティングし、任意に乾燥し、かつ250℃より高い温度で熱的に処理する半導体の酸化インジウム膜の製造法、この方法に従って製造可能な膜及び該膜の使用に関する。 (もっと読む)


【課題】耐酸化性、及び耐エロージョン性の2つの特性を同時に向上させることができ、かつ、製造工程が簡易で製造コストが安価な蒸気タービン翼及び蒸気タービンを提供する。
【解決手段】蒸気タービン3は、タービンロータ4と、タービンロータ4に植設される動翼5と、動翼5の上流側に配設される静翼6と、静翼6を支持するとともにタービンロータ4、動翼5、静翼6を内包するタービンケーシング13とを具備し、動翼5と静翼6との対により一つの段落7を形成すると共にタービンロータ4の軸方向に複数の段落7を並べて蒸気通路8を形成した構成である。静翼6表面、動翼5表面の少なくとも一部に非晶質セラミックマトリックス中にビッカース硬度が800以上の結晶質からなる硬質粒子が分散して存在するコーティング皮膜が形成されている。 (もっと読む)


【課題】ハロゲン系腐食ガスおよびハロゲン系ガスプラズマでの使用により発生するパーティクルを低減する耐食性部材を提供すること
【解決手段】半導体製造装置内、フラットパネルディスプレイ製造装置内または太陽電池製造装置内の様なハロゲン系腐食ガスまたはハロゲン系ガスプラズマ等に曝される面が、溶射法によって形成された溶射皮膜と、溶射皮膜上にゾルゲル法によって形成された酸化ガドリニウムゾルゲル膜で形成された耐食性部材とする。 (もっと読む)


電解質基板上にゾルゲル由来の触媒薄膜を形成する方法は、カソード前駆体ゾルおよび/または複合カソードスラリーを形成し、前記カソード前駆体ゾルまたはスラリーを前記電解質上に沈着させ、前記沈着した膜を乾燥してグリーン膜を形成し、前記グリーン膜を加熱してゾルゲル由来の触媒薄膜を形成する、各工程を有してなる。固体酸化物燃料電池などの電気化学セルは、ゾルゲル由来の触媒薄膜を含みうる。
(もっと読む)


表面に被着された、少なくとも1のリン酸アルミニウムゼオライト(ALPO)の微孔性被膜層とその他の被膜層とを有するアルミニウム含有支持体が開示される。このアルミニウム含有支持体は、リン酸アルミニウムゼオライトの微孔性被膜層が一次被膜層を表し、一次被膜層上に当該一次被膜層の材料とは異なる微孔性またはメソ多孔性二次材料が被着されていることを特徴としている。このアルミニウム含有支持体は、1.アルミニウム含有支持体が網目構造形成元素として少なくともリンを含んだ水性懸濁液中で熱水処理され、次いで、インサイチュー晶出によってリン酸アルミニウムゼオライトの微孔性一次被膜層が形成され、その際、とくに、水性懸濁液中に化学量論的不足下で存在する網目構造形成アルミニウムと水性懸濁液中に存在するすべての網目構造形成元素の総和との間のモル比は0.5以下であるため、化学量論的不足を補償するために必要なアルミニウムはアルミニウム含有支持体から奪われ、さらに、2.微孔性一次被膜層上に微孔性またはメソ多孔性二次材料が形成され、その際、微孔性一次被膜層を有するアルミニウム含有支持体は多孔性二次材料の形成に必要な網目構造形成元素を含んだ水性懸濁液中でさらなる処理に付されるように構成した方法によってとくに有利に製造される。上記のアルミニウム含有支持体は、熱交換器、触媒反応器または防食機能ないし防汚機能を有する熱変態技法構成要素としてとくに適している。
(もっと読む)


【課題】フォトクロミックな金属酸化物前駆体溶液を用いた新規な金属酸化物薄膜の製造方法とその表面微構造を紫外線照射により制御する方法を提供する。
【解決手段】フォトクロミズムを示す金属酸化物前駆体溶液を原料として用い、薄膜作製プロセスに紫外線照射の過程を加えることで、焼成後の金属酸化物薄膜の表面微構造を簡便に制御する方法、該方法による表面微構造を制御した金属酸化物薄膜の製造方法、及びその表面微構造を制御した金属酸化物薄膜。
【効果】光化学反応を積極的に取り入れて調製したフォトクロミックな金属酸化物前駆体溶液を用いて、薄膜作製プロセス中において紫外線照射の効果を利用した、新規な金属酸化物薄膜の表面微構造制御技術を提供することができる。 (もっと読む)


【課題】基材上にセラミック膜を、焼成工程を経ずに、短時間で形成できる方法を提供する。
【解決手段】基材上に、セラミック前駆体を含有するセラミック前駆体膜を形成し、該セラミック前駆体膜上に、水を含有する水層を形成した後、レーザ光またはマイクロ波を照射して前記セラミック前駆体膜をセラミック膜に転化させる工程を有することを特徴とするセラミック膜の製造方法。 (もっと読む)


【課 題】 平滑性の低い多孔質支持体上に、メソポーラス酸化物薄膜が均一に製膜されており、かつ前記多孔質支持体の内部に前記薄膜を構成する酸化物が実質的に存在しないメソポーラス複合体の提供。
【解決手段】(1)多孔質支持体に流動パラフィンを含浸させ、(2)前記(1)で得た流動パラフィン含浸多孔質支持体の表面に、界面活性剤および酸化物源からなるゲル薄膜を形成させることにより多層構造体とし、ついで(3)該多層構造体を焼成することにより流動パラフィンと界面活性剤とを除去して、多孔質支持体上にメソポーラス酸化物薄膜が積層されてなるメソポーラス複合体を製造する。 (もっと読む)


1 - 10 / 16