【課題】簡便な金属膜形成方法、特には金属パターン形成方法を提供する。
【解決手段】固体電解質及び金属イオンを含有する固体電解質膜を挟んで配置された陰極基材と陽極基材間に電圧を与えることにより金属イオンを還元して陰極基材上に金属を析出させる工程ａ）を含む金属膜形成方法。 （もっと読む）

【課題】細孔の深さのバラツキが抑えられたインプリント用ロール状モールドを製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明は、陽極酸化槽の電解液に浸漬されたアルミニウムからなる円筒状のアルミニウム基材に、通電部材を用いて通電して陽極酸化処理を行い、表面に複数の凹凸を有するロール状モールドを製造する方法であって、前記通電部材が前記アルミニウム基材に当接した状態で、前記アルミニウム基材の中心軸を回転中心として、前記アルミニウム基材を回転させながら、前記通電部材を通じて前記アルミニウム基材に通電を行う陽極酸化工程、を含むロール状モールドの製造方法等に関する。 （もっと読む）

【課題】長尺な基材を処理する場合でも電解液の滞留を防止し、さらに電解液の使用量も抑制できる電解処理装置、およびこの電解処理装置に好適に用いられる処理槽の提供。
【解決手段】電解液Ｌを収容し、円柱状の基材Ａが浸漬する、長尺で底部１１ａの内面１１ａ’が円弧状に湾曲した処理槽本体１１、処理槽本体１１に電解液Ｌを供給する電解液供給部１２、処理槽本体１１から電解液Ｌを排出するオーバーフロー部１３を備え、電解液供給部１２は処理槽本体１１の長手方向に沿うように、処理槽本体１１の一方の側面１１ｂ上方に設けられ、オーバーフロー部１３は処理槽本体１１の長手方向に沿うように、処理槽本体１１の他方の側面１１ｃ上部に設けられた処理槽１０、および該処理槽１０と、処理槽本体１１に浸漬された電極板とを具備した電解処理装置。 （もっと読む）

【課題】電気化学堆積ツール用プラットフォーム上を流れる堆積用液のより大きな流れから堆積用液のより小さな流れを迂回させるシステムを提供する。
【解決手段】より小さな流れは迂回して別のプラットフォーム１５４上にあってもよい投与装置２６２へ向かう。一実施例において投与装置は加圧されたフローラインを含む。 （もっと読む）

【課題】 横幅サイズが異なる板状被処理物の搬送通路の横幅間隔の変更に合わせて上部の陽極と上部の噴流吐出管を好ましい配設位置に変更できる水平搬送式の電解メッキ処理装置を提供する。
【解決手段】 相対する固定陽極３１と可動陽極３２を互いの先端部側においてオーバーラップ可能なように上下にずらして配設し、この固定陽極と可動陽極から成る上部の陽極３０を水平搬送される板状被処理物Ｐの横幅に合わせて配置できるようにした。同様に、相対する固定吐出管４１と可動吐出管４２を水平方向にずらして配設し、この固定吐出管と可動吐出管から成る上部の噴流吐出管４０を水平搬送される板状被処理物Ｐの横幅に合わせて配置できるようにした。 （もっと読む）

【課題】表面処理に使用した処理容器を簡単な作動で洗浄できる水洗装置を、提供すること。
【解決手段】処理容器９を載せる受板７１と、受板７１に処理容器９を固定する固定機構と、受板７１及び処理容器９を共に上下反転させる反転機構と、上下反転された処理容器９を下方から覆うホッパ７４と、を備えており、上下反転された処理容器９内に、噴出部から水を吹きかけて、処理容器９内を水洗するよう、構成されていることを特徴とする水洗装置である。 （もっと読む）

【課題】めっき液を効率的に加熱するめっき処理装置を提供する。
【解決手段】めっき処理装置２０は、基板２を回転保持する基板回転保持機構１１０と、基板２にめっき液３５を供給するめっき液供給機構３０と、を備えている。このうちめっき液供給機構３０は、基板２に供給されるめっき液３５を貯留する供給タンク３１と、めっき液３５を基板２に吐出する吐出ノズル３２と、供給タンク３１のめっき液３５を吐出ノズル３２へ供給するめっき液供給管３３と、を有している。また、めっき液供給機構３０の供給タンク３１またはめっき液供給管３３の少なくともいずれか一方に、めっき液３５を第１温度に加熱する第1加熱機構５０が取り付けられている。また第1加熱機構５０よりも吐出ノズル３２側において、めっき液供給管３３に、めっき液３５を第１温度よりも高温の第２温度に加熱する第２加熱機構６０が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】ワークタルミを発生させずにメッキ等化学処理が行なえ、化学処理槽内において下端搬送クランプ群からワークが外れる現象を防止できる化学処理装置を提供する。
【解決手段】長尺シート状ワーク１を搬送するワーク搬送装置20とワークの化学処理を行う化学処理槽４を備え、化学処理槽搬入時にワーク上端と下端をクランプし化学処理槽搬出時に開放する上下端搬送クランプ５、６群を有する化学処理装置において、ワーク搬送装置の上端搬送クランプ群が上側エンドレスベルト81に固定され、下端搬送クランプ群が下側エンドレスベルト82に鉛直方向へ移動可能に取付けられかつ各下端搬送クランプを鉛直下方向へ向けて付勢する付勢手段が設けられ、更に下端搬送クランプ群の化学処理槽内における移動下限位置を規制するための下限位置規制手段が化学処理槽内底面の下端搬送クランプ群の移動方向に沿って設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】網状シートをバレルフレームの周囲側に着脱可能に取付固定するメッキ用バレル装置であって、網状シートに皺が生じることを防止して、より安定的に網状シートを取付固定可能なメッキ用バレル装置を提供することを課題とする。
【解決手段】バレルフレーム４が、一対の対向パネル部１１と、一対の対向パネル部１１の間を連結する連結フレーム部１２とを備え、隣合う連結フレーム部１２の間に、網状シート６を設けるとともに周壁パネル７を外側から嵌め込み固定したメッキ用バレル装置において、周壁パネル７の内面側に当接する当接部１３，２７を、対向パネル部１１側と、連結フレーム部１２側とに形成し、周壁パネル７の内面側との接触面２８，２９，３３が該周壁パネル７側に突出しない非凸面になるように各当接部１３，２７を形成し、周壁パネル７の内面側と、該接触面２８，２９，３３との間に網状シート６を配置して該網状シート６を固定する。 （もっと読む）

【課題】基板ホルダへのアクセスが容易で、かつ、めっき装置でウェハの処理を行いながら、基板ホルダのメンテナンスが容易に行えるめっき装置、めっき方法及びめっき装置に用いるワゴンを提供する。
【解決手段】基板のめっき処理を行うめっき処理部１３０と、前記基板を保持する基板ホルダ１１０と、前記基板ホルダ１１０を保持して搬送する基板ホルダ搬送部１４０と、前記基板ホルダ１１０を収納するワゴン１５０と、前記ワゴン１５０を収納するワゴン設置部１６０とを有し、前記ワゴン１５０は、前記ワゴン１５０を前記ワゴン設置部１６０の内外に移動する移動手段を有することを特徴とするめっき装置。 （もっと読む）