【課題】配線基板用パネルに対して均一かつ良好にビアを充填するめっきを施すことがめっき装置を提供すること。
【解決手段】配線基板用パネルＰに電解めっき用の電流を供給するための給電用陰極３上を摺動する集電子５として、配線基板用パネルＰの前端側に位置する第１の集電子５ａと配線基板用パネルＰの後端側に位置する第２の集電子５ｂとを具備し、配線基板用パネルＰの前端が陽極板２のペア間に進入するのと同時にそのペアに対応する給電用陰極３上に第１の集電子５ａが乗り上げ、配線基板用パネルＰの後端が陽極板２のペアの間から脱出するのと同時にそのペアに対応する給電用陰極３上から第２の集電子５ｂが離脱する位置関係で配置されている。 （もっと読む）

【課題】非磁性金属板等の被吸着部材をコンベアに正確に供給する。
【解決手段】被吸着部材（ａ）を吸着してコンベア（２）に垂直状態で受け渡し、被吸着部材（ａ）をコンベア（２）の把持部（６）に把持させる被吸着部材の供給方法において、被吸着部材（ａ）の吸着に静電チャック部材（９）を用い、この静電チャック部材（９）に電圧を印加することより静電チャック部材（９）で被吸着部材（ａ）を吸着して上記コンベア（２）の把持部へと送り、被吸着部材（ａ）が上記コンベア（２）の把持部で把持された直後に電圧の印加を解除して被吸着部材（ａ）を解放させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 複数の分割陰極レールを用いることなく、設定電流値に応じた膜厚で各ワークにメッキ皮膜を形成する連続メッキ装置を提供すること。
【解決手段】 連続メッキ装置は、メッキ液１１を収容し、搬送路に沿って連続搬送される複数のワークＷを同時にメッキするメッキ槽１０と、複数のワークＷをそれぞれ保持する複数の搬送治具２０を介して複数のワークＷと電気的に接続される共通陰極電極３０と、メッキ槽１０内にて搬送経路と対向配置される複数の分割陽極電極４０と、複数の分割陽極電極４０の各一つと共通陰極電極３０とに接続され、複数の分割陽極電極４０に供給される電流をそれぞれ独立して制御する複数の電源５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】クラムシェル・アセンブリにおいて電気メッキ中のウェハと係合して、電気メッキ中のウェハに電流を供給するためのカップを提供する。
【解決手段】環状のカップは、電気メッキ中のウェハと係合するように構成されたエラストマ・シール２１２を備え、エラストマ・シール２１２係合しているときにはウェハの周辺領域からメッキ溶液を実質的に排除する。さらに電気メッキ中のウェハに電流を供給するための１つまたは複数の接触要素２０８を備えることができ、接触要素２０８は、上記エラストマ・シール２１２の上に配置された金属ストリップ２０４に接続されて、そこからカップの中心に向かって内側に延出している。カップのノッチ領域は、カップの底面の一部分に突起または絶縁部を備えることができ、このノッチ領域は、ウェハのノッチと揃う位置にある。 （もっと読む）

【課題】めっき槽内における板状ワークの揺動を防止して、めっき品質の向上を図るとともに、搬送時における基板の脱落や損傷を防止する。
【解決手段】めっき槽２ａが、その上方に設けられた、搬送用ハンガー１５ａを移動方向に搬送する上部ガイドレール１１と、処理槽２ａ内に設けられた、搬送用ハンガー１５ａの下部クランプ４９との間で引力を生じさせる下部ガイドレール１４と、を備え、めっき処理を行っているときに引力を生じさせ、搬送用ハンガー１５ａの下部クランプ４９を下方向に引っ張ることで、板状ワークＷに張力を与える。 （もっと読む）

【課題】 表面処理槽の上方から外れた位置に配置されたレールに沿って搬送される搬送治具の構造を改良し、極めて安定して搬送治具を支持することができる表面処理装置及びワーク保持治具を提供する。
【解決手段】 表面処理装置は、処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽２００と、表面処理槽の上端開口の上方から外れた位置にて、表面処理槽の長手方向と平行な第１方向Ｃに沿って延設される第１，第２案内レール１３０，１４０と、表面処理槽の処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、第１，第２案内レールに支持される複数の搬送冶具３０とを有する。搬送治具は、第２方向Ｂに沿って延びる水平アーム部３００と、水平アーム部の一端側に支持され、第１案内レールに案内される第１被案内部３１０と、水平アーム部の他端側に支持され、第２案内レールに案内される第２被案内部３２０と、第１被案内部と第２被案内部との間の位置にて水平アーム部から垂下され、ワークを保持する垂直アーム部３３０と、を有するに関する。 （もっと読む）

【課題】 薄板状被処理物を水平状態で確実且つスムーズに処理液が満たされた処理槽内に搬入し、搬出できるようにする。
【解決手段】 エンドレスに回転するクランプ４で両側縁部をクランプされて水平搬送される薄板状被処理物物Ｐを処理液が満たされた処理槽５内に搬入し、処理液中を通過させ、この処理槽から搬出させる装置を提供する。この処理槽５の搬入側と搬出側の被処理物通過切欠部１０に噴出液で処理槽内処理液の流出を防ぐ液噴出仕切り装置１２を配設した。また、異なる横幅の薄板状被処理物に対処するため、薄板状被処理物Ｐの一方の側縁部をクランプするクランプ４が横幅方向に移動可能な構成した装置では、幅広のクランプ通過切欠部２０をシール舌片２６が取付けられたクランプ通過枠体２２と仕切りプレート２８，２９による仕切り構造とした。 （もっと読む）

【課題】 低張力搬送を実現した状態で、処理量の増大、即ちワークの長尺化に対応可能な化学処理装置を提供する。
【解決手段】 長尺シート状のワークを連続的にワーク供給装置から供給して化学処理槽に搬入して化学処理した後、ワーク巻取装置により連続的に巻き取る低張力搬送化学処理装置において、ワークを化学処理槽に搬入して化学処理する際に、少なくともワーク上端を搬送クランプ群により把持してワーク面を鉛直状態としたワークのワーク面に化学処理を施す化学処理槽であり、ワーク巻取装置がワークを巻き取る際に化学処理された鉛直状態のワークを水平状態のワークとする搬送方向変更装置を通過した水平状態のワークを巻き取る水平方向ワーク巻取装置であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】極薄の長尺シートであっても欠陥を発生せずに安定した処理が可能な化学処理装置を提供する。
【解決手段】化学処理槽４へのワーク３の搬入時に少なくともワークの上端を把持する搬送クランプ９群を有し、かつ両端を搬送プーリー６によって張設されたエンドレスベルト８に等間隔で取り付けられ、定寸ごとにワークを把持して鉛直状態として搬送すると同時に、ワークの折り返し時に搬送プーリー７と同軸上に設けられ、ワークの幅方向両端を円弧状に保持し、クランプ群の位置を規制する位置規制凹部を設けたワーク支持部材１０によって、ワークが位置規制されながら搬送され、化学処理槽４搬出時に搬送クランプ群が順次開放されて巻取装置に巻き取らせるワーク搬送装置を備える化学処理装置。 （もっと読む）

【課題】液体への投入・排出時におけるワークへの負荷を低減して、ワークの折損や装置からの脱落を防止できると共に、貯留槽からリークする液体の量を削減でき、また、装置全長を短縮することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】この搬送装置１は、板状のワークＷを貯留槽の液体に対して投入・排出を行う搬送装置において、前記ワークＷの保持を行う保持部１１、１２、２１、２２を有すると共に回転可能に支持されたワーク保持手段１０、２０を備え、前記ワークＷを保持させた前記ワーク保持手段１０、２０を回転させて該ワークＷを前記貯留槽３０の液体Ｌに対して投入・排出を行う。 （もっと読む）