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国際特許分類[C30B15/06]の内容

国際特許分類[C30B15/06]に分類される特許

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【課題】転移が突然形成されたり、溶融シリコンはその時点まで成長した単結晶の側部において流出することがなく、歩留まりの高いシリコン単結晶の形成方法を提供する。
【解決手段】第1の誘導加熱コイル2によって、成長する単結晶と、シリコンから成る円錐状の管部分1の下端部との間に、溶融したシリコンの第1の体積9を形成し、プレート3の上方に配置された第2の誘導加熱コイル7によって、溶融したシリコンの第2の体積10を形成し、溶融したシリコンの第2の体積10のための通過開口が形成される程度まで管部分1の下端部を溶融させ、通過開口が、溶融したシリコンの第2の体積10がまだ存在しないか又は溶融したシリコンの第1の体積9の2倍よりも少ない時点で形成され、第1及び第2の体積9,10から溶融したシリコンを消費することによって、成長する単結晶にモノクリスタルシリコンを結晶させる。 (もっと読む)


半導体材料薄片製造用の成形装置は成形型枠及び担体バンドを有する。成形型枠は、溶融半導体材料を保持するよう側壁を有する構成とし、側壁のうちの出口側壁は、半導体材料薄片の産出位置に配置する。出口側壁には、出口スリットを設ける。成形装置は、さらに、出口スリットの位置で、溶融半導体材料に対して局部的な相対的に増大した、外力を加えて、前記出口スリットで溶融半導体材料に対する外圧を局部的に増大させる局部的力印加手段を備える。 (もっと読む)


【課題】比較的低コストで高品質の単結晶シリコンリボンを製造できる新規な装置および/またはシステムを提供することにある。
【解決手段】単結晶シリコンリボンの形成装置を提供する。本発明のシリコンリボンの形成装置はるつぼを有し、このるつぼ内でシリコン融成物が形成される。融成物は、るつぼから実質的に垂直方向に流出して、凝固前にシリコン種結晶と接触できる。リボンへの凝固にしたがって、制御された条件下でリボンの更なる冷却が行われ、リボンは最終的に切断される。また、上記装置を使用して単結晶シリコンリボンを形成する方法も提供される。 (もっと読む)


【課題】溶液法によって大口径のSiC単結晶を連続的に成長させる方法を提供する。
【解決手段】Si融液中にCが溶け込んだSiC溶液102からSiC単結晶120を製造する方法であって、SiC溶液102を収容した黒鉛坩堝104の上部開口端112で、円板状のSiC種結晶114のa面を含む円周面をSiC溶液102に側方から接触させ、種結晶114の円周面にSiC単結晶120を成長させつつ、成長の速度に同期させて、円板状のSiC種結晶114を板面に垂直なc軸周りであるR方向に回転させると同時に回転の軸116を上部開口端112からT方向に遠ざけることにより成長するSiC結晶120を巻き取って、連続的に円板状のSiC単結晶120を成長させる。 (もっと読む)


材料の溶融物を冷却し、溶融物内に材料の固体のシートを形成する。シートは移送され、切断されて少なくとも1つのセグメントになり、セグメントは冷却室で冷却される。その材料はシリコン、シリコンゲルマニウム、ガリウム、および窒化ガリウムを用いることができる。冷却室はシートの応力または歪みを防止するよう構成される。一例を挙げると、冷却はガス冷却で行う。 (もっと読む)


リボン結晶は、本体と、本体内の末端ストリングと、を有する。少なくとも1つの末端ストリングは、ほぼ凹面断面形状を有し、少なくとも2つの個々のストリングから形成される。上記本体は、厚さの寸法を有し、前記少なくとも2つの個々のストリングは、概して、該本体の厚さの寸法に沿って離間され、該少なくとも2つの個々のストリングは、ほぼ細長い凹面断面形状を形成する。上記少なくとも2つの個々のストリングの間に、本体材料をさらに備える。上記少なくとも2つの個々のストリングは、物理的に接触する。
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本発明にかかるシート製造装置は、溶融物を保持する溝を備える容器を有する。溶融物は、溝の第1のポイントから第2のポイントに流れるように構成される。冷却プレートが、溶融物に近接して配置され、溶融物上にシートが形成される。スピルウェイは、溝の第2のポイントに配置される。このスピルウェイを、溶融物からシートを分離させるように構成する。 (もっと読む)


液体供給材料、例えばシリコンのメルトプールから連続的に結晶リボンを製造する装置及び方法。シリコンは、溶融され且つ成長トレイ内へ流されて液体シリコンのメルトプールを提供する。当該メルトプールからチムニーを介して上方へ熱を流れさせることによって、熱が受動的に除去される。熱の損失をチムニーを介して生じさせながら、シリコンを液体相に保つために、成長トレイに熱が同時に適用される。熱がチムニーを介して失われるときに、シリコンが“凍結”(すなわち、凝固)し始め且つテンプレートに付着するように、テンプレートがメルトプールと接触せしめられる。当該テンプレートは、次いで、メルトプールから引き出されて結晶シリコンの連続するリボンが製造される。 (もっと読む)


シリコンまたは他の結晶性物質のリボンを作るための装置および製造方法。この装置は、底部(2)および側壁(3)を有したるつぼ(1)を備える。このるつぼ(1)は、側壁(3)の底部に水平に配置された少なくとも一つの横方向スリット(4)を有している。横方向スリット(4)は、50mmより大きく、好ましくは100mm〜500mmの幅を具備する。スリット(4)の高さ(H)は、50〜1000マイクロメートルである。結晶性物質は、横方向スリット(4)を介してるつぼから取り出されて結晶リボン(R)を形成する。この方法は、横方向スリット(4)から取り出される材料に種結晶(13)を接触させる段階、およびリボン(R)を水平移動させる段階(14)を含む。
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