【課題】シリコン融液全体の温度を適切な種結晶着液温度とすることができるシリコン単結晶製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】単結晶製造装置内のルツボ１に多結晶シリコン原料を充填し、ヒータ２で加熱して多結晶シリコン原料を融解した後に該シリコン融液８に種結晶１０を着液して該種結晶１０の下方に単結晶１４を育成するチョクラルスキー法を用いたシリコン単結晶の製造装置であって、少なくとも、前記シリコン原料を充填するためのルツボ１、前記シリコン原料を加熱して融解させるためのヒータ２、前記ルツボ内のシリコン融液面の温度を複数点測定するための温度測定器７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄを備え、該温度測定器で測定した複数の融液面温度を基に種結晶を融液に着液させる際の種結晶着液温度を決定する手段を有するシリコン単結晶の製造装置。 （もっと読む）