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国際特許分類[C30B19/00]の内容

化学;冶金 (1,075,549) | 結晶成長 (9,714) | 単結晶成長;そのための装置 (9,714) | 液相エピタキシャル成長 (350)

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【課題】飽和磁界が低く、温度特性が優れたファラデー回転子の製法とそのファラデー回転子を提供することを目的とする。
【解決手段】Caを含んだ化学式TbGdCaBi3−x−y−wFe5−zAl12(式中、0.15≦y/x≦0.65,0.3≦z≦0.5,0.04≦w≦0.1)で示されるビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶からなるファラデー回転子において、製品形状での室温での飽和磁界が200(Oe)以下、温度特性0.07deg/℃以下が達成された。 (もっと読む)


【課題】温度特性が優れ、かつ角型ヒステリシスを示すファラデー回転子の製法とそのファラデー回転子を提供することを目的とする。
【解決手段】Caを含んだ化学式TbYbCaBi3−x−y−wFe5−zGa12、または化学式TbHoCaBi3−x−y−wFe5−zGa12で示されるビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶を、金るつぼを使った液相エピタキシャル法にて育成することで、温度特性0.075deg/℃以下が達成された。 (もっと読む)


【課題】工程を複雑化させることなく、また、高価な反応容器を用いることなく、かつ結晶の大きさが小さくなることなく、実用的な大きさのIII族窒化物結晶を提供する。
【解決手段】 大気圧よりも高い圧力を有する反応容器内で、少なくともIII族金属を含む融液とフラックスと窒素原料からIII族窒化物結晶を成長させて該III族窒化物結晶から基板を製造するIII族窒化物基板の製造方法において、前記III族窒化物の種結晶を前記反応容器内に配置する工程と、結晶成長中、前記窒素原料を前記反応容器の外部から供給する工程と、III族窒化物結晶を前記種結晶に対して成長させる工程と、前記III族窒化物結晶を切断してIII族窒化物基板を作成する工程と、を含む。 (もっと読む)


モールドシートに亘って圧力差が適用され、半導体ウエハ(例えばシリコン)がその上に形成される。圧力差の緩和がウエハを取り外すことを可能にする。モールドシートは、メルトよりも冷たい。熱は、形成ウエハの厚み方向のみに拡散される。液固界面はモールドシートにほぼ平行である。凝固体の温度は幅方向に亘ってほぼ均一であり、その結果、低ストレス及び転位密度並びに高品質の結晶性を提供する。モールドシートは、それを通過するガス粒を可能にする必要がある。水平、垂直又はその中間のいずれかのメルト頂部への全領域接触、モールドシートへのメルトの部分領域横断、並びに、モールドのメルトへのディッピングによって、メルトがシートに導入されうる。多くの手段によって粒サイズを制御可能である。 (もっと読む)


【課題】溶液成長法における結晶成長では、種結晶から黒鉛軸方向への放熱作用により成長が進む。接着不良箇所や接着剥離箇所のような、接着が不完全な部分(空気の層が入る部分)がある場合、軸方向への放熱性が悪くなり部分的に成長速度が落ちる。その結果、単結晶成長時に面内で平坦な成長が出来ない問題を引き起こす。また、接着不良箇所や接着剥離箇所のような、接着が不完全な部分は、種結晶の脱落の原因となり得る。従って、接着層で均一且つ安定な接着を実現することが、課題となっている。
【解決手段】SiCの溶液にSiC種結晶を接触させてSiC単結晶を成長させるために用いるSiC種結晶を黒鉛軸先端に接着する方法であって、熱硬化性樹脂およびSiC粒子を含む接着剤を用いてSiC種結晶を黒鉛軸先端に接着することを特徴とするSiC種結晶の接着方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】Si−Cr−C溶液を用いた溶液法により、高速かつ安定にSiC単結晶を成長させることができるSiC単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】Si‐Cr融液にCを溶解させたSi−Cr−C溶液からSiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる方法において、上記Si−Cr−C溶液に直流磁場を印加する。望ましくは、該Si−Cr融液はCr30〜70at%および残部Siから成る。望ましくは、上記直流磁場の強度は0.015T〜0.15Tである。 (もっと読む)


【課題】下地基板を融液に浸漬させることにより下地基板の表面上に形成される結晶薄板の生産を停止することなく安定した原料の追加供給を行なうことができ、また品質の劣化やばらつきを低減するとともに結晶薄板の製造歩留まりを向上することによって、結晶薄板の生産性を向上させることができる溶融炉を提供する。
【解決手段】融液1102を保持するための主坩堝1101と、融液1102を加熱するための主坩堝加熱装置1104と、融液1202を保持するための副坩堝1201と、融液1202を加熱するための副坩堝加熱装置1204と、固体原料1402を投入するための固体原料投入装置1401と、副坩堝1201から主坩堝1101に融液1202を供給するための融液搬送部1301と、固体原料投入装置1401から副坩堝1201への固体原料1402の投入の有無を決定する固体原料投入制御装置1506とを備えた溶融炉1000である。 (もっと読む)


【課題】各種単結晶基板上で表面モフォロジーに優れかつ単相の高品質なKNbO単結晶薄膜を製造する方法と、この方法で得られた薄膜を備えることによって、k(電気機械結合係数)が高く広帯域化、小型化、及び省電力化に優れる表面弾性波素子、周波数フィルタ、周波数発振器、電子回路、及び電子機器を提供する。
【解決手段】所定の酸素分圧におけるKNbOと3KO・Nbとの共晶点Eにおける温度及びモル組成比をT、xとするとき(xは、KNb1−xで表現されるときのカリウム(K)とニオブ(Nb)とのモル比)、0.5≦x≦xの範囲となるK、Nb、Oからなるプラズマプルームを基板11に供給する。そして、この状態における完全溶融温度をTとし、基板11の温度TをT≦T≦Tの範囲に保持して基板11上に堆積したKNb1−xからKNbO単結晶12を析出させ、残った液相部27を蒸発させる。 (もっと読む)


【課題】転位密度の小さな結晶薄膜を製造することのできる結晶成長方法および結晶成長装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る結晶成長方法は、基板6上に液体原料12cを供給し、基板6上に液体原料12cから結晶を析出させることによって、結晶薄膜を得る結晶成長方法において、基板6上に供給された液体原料12cの一部を、液体原料12cの重力によって、基板6から取り除いた後に、基板6上に残存する残存液体原料12dの結晶成長を開始する製造方法である。 (もっと読む)


基質に付着させた第III族金属窒化材料膜を形成する方法が得られる。この方法には、基質に0.01 Pa以下の周囲圧力をかける手順と、基質を加熱して約500°Cないし800°Cの温度にする手順とが含まれる方法。本法は、第III族金属蒸気を基準圧(0.01 Pa以上)で基質表面に送り込み、複数の第III族金属粒を表面に形成させる手順と、活性窒素を0.05 Paないし2.5 Paの使用圧力で基質に送り込み、第III族金属粒上に第III族金属窒化物分子を形成させる手順とをさらに含む。本法は、使用圧力および活性窒素を維持し、第III族金属窒化物分子を第III族金属粒に拡散させ、窒化物/金属液滴を形成させる手順と、窒化物/金属液滴を基質上のぬれ層に変える手順と、ぬれ層の第III族金属窒化物分子を持続的に濃縮させ、ぬれ層に含まれるすべての第III族金属原子を消耗させ、ぬれ層を第III族金属窒化物膜に変える手順も含む。開示された方法の別の態様によると、ぬれ層が比較的薄い場合、濃縮手順のあいだに第III族金属窒化物分子がぬれ層に拡散し、それによって粘性が増大し、ぬれ層が固形の非晶質第III族金属窒化物膜へと変化する。開示された方法のさらに別の態様によると、ぬれ層が比較的厚い場合、濃縮手順のあいだにぬれ層の表面に結晶シード膜が形成され、シード膜から活性窒素が拡散し、ぬれ層で第III族金属と反応することでシード膜がさらに肥厚化し、ぬれ層が結晶質第III族金属窒化物膜へと変化する。 (もっと読む)


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