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国際特許分類[C30B19/12]の内容

化学;冶金 (1,075,549) | 結晶成長 (9,714) | 単結晶成長;そのための装置 (9,714) | 液相エピタキシャル成長 (350) | 基板によって特徴づけられたもの (49)

国際特許分類[C30B19/12]に分類される特許

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【課題】板厚の薄いガーネット基板に、膜厚の薄いビスマス(以下、Biと略記する)置換希土類−鉄ガーネット膜(以下、RIG膜と略記する)が選択された場合、得られるRIG膜表面に発生する放射状、直線状のクラックが抑制された短波長向けRIG膜の液相エピタキシャル成長方法を提供する。
【解決手段】RIG膜の成分を溶かしたフラックス液面に、ガーネット基板を接触させてRIG膜を成長させる液相エピタキシャル成長方法であって、ガーネット基板の板厚が200μm以上350μm以下、RIG膜の膜厚が100μm以上300μm以下であることを特徴とし、特に、ガーネット基板の板厚をT(μm)、RIG膜の膜厚をt(μm)としたとき、上記要件に加えて、下記(数1)を満たすことを特徴とする。
-2T+700(μm) ≦ t ≦ -4T+1500(μm) (数1) (もっと読む)


【課題】、III 族金属窒化物単結晶の生産性が高く、製造が比較的に容易であり、種結晶膜のメルトバックを抑制できるようにすることである。
【解決手段】 成膜面2bと加工凹部8とが設けられている基板本体1に対して、成膜面2bおよび加工凹部8を被覆するようにIII 族金属窒化物単結晶の下地膜4A、4B、5を成膜する。下地膜が、成膜面上の種結晶膜と、側壁面および加工凹部の底面を被覆する多結晶膜とを有する。次いで、下地膜上にフラックス法によってIII 族金属窒化物単結晶6を育成する。 (もっと読む)


【課題】転位密度が少なく高品質な13族窒化物結晶基板に供することが可能であるバルク結晶を製造するための種結晶を提供することを目的とする。
【解決手段】本実施形態の窒化ガリウム結晶は、六方晶構造のm面の外周表面の少なくとも1面において、c軸方向の一端部側の領域におけるX線ロッキングカーブの半値全幅が、他端部側の領域における前記半値全幅より小さいことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】転位密度が少なく高品質な13族窒化物結晶基板に供することが可能であるバルク結晶を製造するための種結晶を提供することを目的とする。
【解決手段】本実施形態の窒化ガリウム結晶は、六方晶の窒化ガリウム結晶のc軸を横切る断面において、断面内側の第1領域と、前記第1領域の外周の少なくとも一部を覆う第2領域とを有し、前記第1領域の電子線または紫外光による発光スペクトルにおいて、窒化ガリウムのバンド端発光を含む第1ピークの強度が、前記第1ピークより長波長側の第2ピークの強度より小さく、前記第2領域の前記発光スペクトルにおいて、前記第1ピークの強度が前記第2ピークの強度より大きいことを特長とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、エピタキシャル構造体の製造方法に関する。
【解決手段】本発明のエピタキシャル構造体の製造方法は、少なくとも一つのエピタキシャル成長面を有する基板を提供する第一ステップと、前記基板のエピタキシャル成長面に複数の空隙を含むカーボンナノチューブ層を配置し、前記基板のエピタキシャル成長面の一部を前記カーボンナノチューブ層の複数の空隙によって露出させる第二ステップと、前記基板のエピタキシャル成長面に対して垂直する方向にエピタキシャル成長させ、前記カーボンナノチューブ層のカーボンナノチューブによって間隔された複数のエピタキシャル結晶粒からなる非連続なエピタキシャル層を形成する第三ステップと、前記カーボンナノチューブ層を除去する第四ステップと、を含む。 (もっと読む)


【課題】挿入損失で0.6dBを下回り、高い収率で製造可能なビスマス置換型希土類鉄ガーネット結晶膜(RIG)と光アイソレータを提供する。
【解決手段】化学式Gd3(ScGa)512で示される非磁性ガーネット基板上に液相エピタキシャル成長法により育成されたビスマス置換型希土類鉄ガーネット結晶膜において、化学式Ce3-x-yGdxBiyFe512で示され、xとyが1.20≦x≦1.58、0.80≦y≦1.19であることを特徴とする。化学式Ce3-x-yGdxBiyFe512で示される本発明のRIGは、従来のRIGと比較して挿入損失で0.6dBを下回り、かつ、波長1μm程度の光吸収に起因した発熱量の低減が図れるため、加工用高出力レーザー装置の光アイソレータ用ファラデー回転子に使用するできる顕著な効果を有する。 (もっと読む)


【課題】安価な単結晶炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材を提供する。
【解決手段】単結晶炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材12は、結晶多形が3Cである多結晶炭化ケイ素を含む表層を有する。表層のX線回折により、(111)結晶面に対応した回折ピークが観察される。表層のX線回折により観察される(111)結晶面のうち、配向角度が67.5°以上であるものの占める割合が80%以上である。 (もっと読む)


【課題】安価な炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材を提供する。
【解決手段】単結晶炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材12は、結晶多形が3Cである多結晶炭化ケイ素を含む表層を有する。表層の励起波長を532nmとするラマン分光解析によって、結晶多形が3Cである多結晶炭化ケイ素に由来のピークとして、T0ピーク及びL0ピーク以外のピークが観察される。 (もっと読む)


【課題】安価な炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材を提供する。
【解決手段】単結晶炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材12は、結晶多形が3Cである多結晶炭化ケイ素を含む表層を有する。表層のX線回折により、結晶多形が3Cである多結晶炭化ケイ素に対応した回折ピークとして、(111)結晶面に対応した1次回折ピークが観察され、(111)結晶面に対応した1次回折ピークの回折強度の10%以上の回折強度を有する他の1次回折ピークが観察されない。 (もっと読む)


【課題】安価な炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材を提供する。
【解決手段】単結晶炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材12は、結晶多形が3Cである多結晶炭化ケイ素を含む表層を有する。表層のX線回折により、(111)結晶面、(200)結晶面、(220)結晶面及び(311)結晶面の少なくとも一つに対応した1次回折ピークが観察される。少なくとも一つの1次回折ピークから算出される平均結晶子径が、700Åより大きい。 (もっと読む)


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