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国際特許分類[C30B29/00]の内容

化学;冶金 (1,075,549) | 結晶成長 (9,714) | 単結晶成長;そのための装置 (9,714) | 材料または形状によって特徴づけられた単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質 (5,187)

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【課題】複雑で高コストとなる処理工程を経ることなく、微小な構造の位置制御性およびサイズ均一性を高める。
【解決手段】第1の物質からなる基板の上に第2の物質を堆積させ、ステップが規則的に配列する二次元表面相11を形成する(S2)。ついで、二次元表面相11の上に第3の物質を配置することにより、二次元表面相11上のステップに第3の物質を含む液滴を配列させる(S3)。ついで、液滴島21を結晶化させることにより、微小構造22を形成する(S4)。 (もっと読む)


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