【課題】シリコン単結晶の引上げに用いる石英ガラスルツボについて、内部気泡の少ない均一なガラス層を有する石英ガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】モールド内面に充填した石英粉成形体を真空引きしながらアーク溶融するルツボの製造方法において、石英粉成形体のリム端から石英粉の溶融を開始し、その後にアーク電極を下げまたはモールドを上げて、リム端から下側部分を加熱し溶融することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法であり、好ましくは、アーク溶融開始からアーク総時間の１０％以内の時間内にルツボ内表面をシールし、またシール厚が３mm以下である石英ガラスルツボの製造方法。 （もっと読む）