【課題】
本発明は、真空ポンプの再生のためによる装置稼働率の低下を防止できる真空処理装置及び真空処理方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、真空チャンバ内を所定の真空度にし、該所定の真空度を維持し、前記所定の真空度を有する前記チャンバ内で所定の処理をする真空処理装置または真空処理方法であって、再生処理が必要な複数台の真空ポンプで前記所定の真空度を得、複数台の前記真空ポンプのうち少なくとも１台の第１の真空ポンプと前記真空チャンバとを隔離し、前記隔離された前記真空ポンプの再生処理を行ない、複数台の前記真空ポンプのうち前記第１の真空ポンプでない他の前記真空ポンプのうち少なくとも1台の第２の前記真空ポンプで前記真空チャンバの前記所定の真空度を維持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】効率的にクライオポンプの劣化を監視することができるクライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの監視方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプは、気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、クライオパネルを収容するポンプ容器とを備える。クライオポンプの再生処理は、基本パージ処理と、排気処理と、必要な場合に追加実施される追加パージ処理と、を含む。追加パージ処理は、１回以上のガスパージ工程を含む。クライオポンプを制御するクライオポンプ制御装置８０において、劣化判定部８８は、１回の再生処理において追加実施が必要となったガスパージ工程の合計数であるリパージ回数が、劣化判定基準回数に達した否か判定する。 （もっと読む）

【課題】適用対象により適合させた設計を可能とする極低温冷凍機、及びその冷凍機を適用したクライオポンプを提供する。
【解決手段】冷凍機５０は、長手方向に隣接する２つのディスプレーサを備え、高温側のディスプレーサは蓄冷材のための主収容区画と副収容区画とを含む。２つのディスプレーサの間に作動気体の直通流路が形成されている。クライオポンプ１０は、低温クライオパネル６０と、低温クライオパネル６０よりも高温に冷却される放射シールド４０と、冷凍機５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】適切にクライオポンプの真空度保持状態を検査できるクライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの真空度保持判定方法を提供する。
【解決手段】気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネル４８と、クライオパネル４８を収容するポンプ容器３６とを備えるクライオポンプの排気処理を制御するクライオポンプ制御装置８０において、圧力制御部９４は、ポンプ容器３６内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知したときに真空引きを停止させる。真空度保持判定部９２は、第１測定時刻と第２測定時刻におけるポンプ容器３６内の圧力測定値の差が圧力変化許容範囲内であるか判定する。第１測定時刻は、ポンプ容器３６内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知した時刻に、真空引きの動作遅延に関する補正時間を加算して定められる。 （もっと読む）

【課題】水素等の非凝縮性気体の高速排気のためのクライオポンプ、及びそうしたクライオポンプを製造するための方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ開口３１へと開放されたクライオポンプ内部開放空間３０に包囲されている複数のクライオソープションパネル５０の配列１４と、クライオポンプ内部開放空間３０を包囲する放射シールド１６と、を備える。複数のクライオソープションパネル５０の少なくとも１つは、パネル前面が非凝縮性気体のための吸着領域７６と凝縮性気体のための凝縮領域８２とに区分されている。 （もっと読む）

【課題】複数のクライオポンプの圧力差が再生プロセスに与える影響を緩和する。
【解決手段】クライオポンプシステム１００は、粗引きポンプ７３を共用し、各々が粗引きバルブ７２を含む複数のクライオポンプ１０と、複数のクライオポンプ１０の再生のために各粗引きバルブ７２を制御するＣＰコントローラ２０と、を備え、開放されている粗引きバルブ７２の閉鎖と閉鎖されている他の粗引きバルブ７２の開放との間に遅延時間が設定されている。 （もっと読む）

【課題】水素等の非凝縮性気体の高速排気のためのクライオポンプ、及びそうしたクライオポンプを製造するための方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ開口３１へと開放されたクライオポンプ内部開放空間３０に包囲されている複数のクライオソープションパネル５０の配列１４と、クライオポンプ内部開放空間３０を包囲する放射シールド１６と、を備える。複数のクライオソープションパネル５０の少なくとも１つは、クライオポンプ内部開放空間３０に突出し放射シールド１６へと向けられているパネル末端を含み、そのパネル末端は、吸着剤の欠落した区域８２を有する。 （もっと読む）

【課題】消費電力の低減に寄与するクライオポンプ、及びそうしたクライオポンプを使用する真空排気方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオパネルを冷却するための冷凍機と、イオン注入装置１からその運転モードを表す制御信号を受信可能であり、該制御信号に基づいて冷凍機を制御するためのＣＰコントローラ１００と、を備える。運転モードは、目標にビームを照射する照射モードと、目標からビームを逸らすかまたは該照射モードよりも弱いレベルでビームを存続させるアイドルモードと、を含む。ＣＰコントローラ１００は、照射モード及びアイドルモードにおいてクライオパネルが気体分子を保持する冷却温度に冷却されるよう冷凍機を制御しており、アイドルモードの期間の少なくとも一部において冷却温度を照射モードよりも高くすることを許容する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプを良好に保管する。
【解決手段】クライオポンプ１０により排気する気体を受け入れるためのクライオポンプのポンプ口をポンプ蓋１００で塞ぐことと、クライオポンプ１０の内部を外部に連通する流体経路を通じてクライオポンプ１０の内部を減圧することと、を含むクライオポンプの保管方法が提供される。また、クライオポンプ１０に取り付けられているポンプ蓋１００の閉塞部材１０６を蓋本体１０２から取り外すことにより、クライオポンプ内部の負圧を解除することを含むクライオポンプの立ち上げ方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプの冷凍機の逆転昇温による昇温能力を高める。
【解決手段】クライオポンプシステム１００は、クライオパネル６０の冷却運転とクライオパネル６０の再生のための昇温運転とを行うための冷凍機５０を備えるクライオポンプ１０と、冷凍機５０に作動気体を供給するための圧縮機５２と、を備え、冷却運転よりも昇温運転において圧縮機５２の供給作動気体温度を高くする。圧縮機５２は、冷凍機５０に供給する作動気体を冷却するための熱交換器と、熱交換器を迂回するバイパス路と、を含んでもよい。制御部２０は、冷凍機５０の運転状態に応じて、熱交換器を経由する流路とバイパス路を経由する流路とを切り替えてもよい。 （もっと読む）