【課題】消音室又は消音機能を備える真空ポンプであっても小型化が可能なポンプ構造を提供することを課題とする。
【解決手段】ボディ部３０の上面に負圧を発生するポンプ部８０が取付けられる。このポンプ部８０は、カバー体５０に設けられた収容室５１に囲われる。カバー体５０の壁５２の一部は厚くなっており、そこにポンプ部８０からの排気の排気音を減衰させる消音室５３が形成される。
【効果】消音室を負圧ポンプに内蔵することができ、消音室又は消音機能を備える真空ポンプであっても小型化が可能なポンプ構造にすることができる。 （もっと読む）

【課題】ポンプ部の下にモータが配置される負圧ポンプにおいて、モータ内に水が浸入することを防止することができるポンプ構造を提供することを課題とする。
【解決手段】消音室の底５９に、下方へ窪む凹部６１が設けられ、この凹部６１の排気管６２が接続される。消音部の底５９は連通路１０５の連通部から図右に向かって下方に傾斜される。即ち、消音部の底５９の最も低い位置に凹部が６１が設けられ、凹部６１から下方に延びる排気管６２が設けられる。
【効果】ポンプ部で結露により発生した水は低い位置に流れるので、水は排気経路を通ってボディ部の最も低い部位に設けられた排気管から外部へ排出される。結果、負圧ポンプ内に水が溜まらず、モータ内に水が浸入することを防止し、排水性の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で軸受部に液分の混入（浸入）がなく、軸受動作不良による故障が発生することのない真空ポンプを提供する。
【解決手段】平行な２つの回転軸３２にそれぞれ取付けた一対のポンプロータ１１と、該一対のポンプロータを内部に収納するポンプケーシング１２とを具備するポンプ部Ｐと、回転軸３２を回転駆動するモータ部Ｍとを備え、一対のポンプロータ１１とポンプケーシング１２との間に閉じ込められた気体を移送して排気する真空ポンプにおいて、回転軸３２は、モータ部Ｍのモータステータ３０を挟んだ両側に配置した軸受３４，３５のみ、またはモータ部とポンプ部の間に配置した２つの軸受のみで回転自在に支承されており、ポンプケーシング１２のモータ側端部に吸気口１５が、反モータ部側端部に排気口１６がそれぞれ設けられて、気体がモータ部Ｍから離れる方向に移送される。 （もっと読む）

【課題】 流通ガス（腐食性ガス）と接触するロータ，ケーシング，段間仕切板やサイドフレームの部位には隙間を設けて厚肉のテフロンライニングが設けると共に隣接ケーシング間にテフロンライニングのない部位を形成して隙間保持とテフロンライニングの変位を防止する耐腐食性多段式真空ポンプを提供する。
【解決手段】 例えば、第１段ケーシング９Ａと第２段ケーシング９Ｂとの接触面の一部（◎印で示す）にはテフロンライニングが施されていない部位があり、金属接触するように形成される。これにより、締結固定時においてもテフロンライニングの変形が防止され、隙間５を所定の寸法に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】低コストな手段で、ロータ間に形成される圧縮ポケットの過圧縮を緩和し、脈動や動力損失及び到達圧力の悪化等を抑制する。
【解決手段】ポンプ室１２の内部で、回転軸１８ａ、１８ｂに、爪部２２ａ、２２ｂをもつ雄ロータ２０と、該爪部が侵入する凹部２６ａ、２６ｂが形成された雌ロータ２４が取り付けられている。回転軸１８ａ、１８ｂを含む平面Ｌに対し、雌ロータ２４の回転方向上流側に窪み３２ａ、３２ｂが刻設されている。窪み３２ａ、３２ｂは、圧縮ポケットＰが吐出口３０との連通を止め、吐出口３０から分離した時から、圧縮ポケットＰが徐々に縮小して消滅する時まで、該窪みを介して圧縮ポケットＰと吐出口３０とを連通させるように、かつ圧縮ポケットＰが消滅すると同時に、吐出口３０との連通を止めるように、配置位置及び大きさ、形状が選定されている。 （もっと読む）

【課題】所要電力が最低限とされた、真空室内を超高真空とするためのシステムを提供すること。
【解決手段】真空ポンプは、格子およびサブリメーション要素を備えることが可能である。この格子は、格子開口、および、少なくとも１つの格子面によって画定され得る格子内部を有していてもよい。サブリメーション要素は、格子内部に配置されてもよく、また、昇華温度を超えてサブリメーション要素を加熱した際に、昇華して格子内部に反応膜を形成するように構成されていてもよい。反応膜は、格子開口を介して格子内部に入って反応膜と接触する気体分子を捕獲するのに効果的であり得る。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程等において、反応性を有する特殊ガスを吸い込むような場合に好適なスクロール形真空ポンプを提供する。
【解決手段】固定スクロールに設けた渦巻状の固定ラップと、旋回スクロールに設けた渦巻状の旋回ラップを、ハウジングに設けた圧縮室５内において相互に嵌入させるとともに、旋回スクロールを、自転することなく固定スクロールに対して旋回させるようにし、かつ旋回スクロールの自転運動を防止するための自転防止機構部を配設したスクロール形真空ポンプにおいて、前記固自転防止機構部８ａ、８ｂ、８ｃの周囲の空間を連通する環状溝１１ｃを旋回スクロールに対向する筐体１１の端面に設け、この環状溝１１ｃに穿設した流入孔１１ｄから不活性ガスを導入する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ内部の温度をポンプ全体に亘ってより高温の一定温度（均一化）に維持して、ポンプ内部に生成物が発生して堆積することを簡易に防止する。
【解決手段】複数のポンプ室５０ａ〜５０ｆと、吸気側に位置するポンプ室に連通する吸気口５２ａと、吐出側に位置するポンプ室に連通する排気口５２ｂとを有するポンプケーシング５４と、両端を軸受で回転自在に支承されてポンプケーシングの長さ方向に沿って延びる回転軸５８と、各ポンプ室内にそれぞれ収容され、回転軸に連結されて該回転軸の回転に伴って回転する複数のロータ６０ａ〜６０ｆとを有し、ポンプケーシング５４は、回転軸と平行に該ポンプケーシングの長さ方向のほぼ全長に亘って延びる第１伝熱部材７２と、第１伝熱部材７２の排気口５２ｂ側の端部に近接した位置に位置して該ポンプケーシングの幅方向に延びる第２伝熱部材７４とを有する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ内部に流入したプロセスガスが軸受側に漏れることをより確実に防止して、軸受をプロセスガスから保護できるようにする。
【解決手段】吸気口５４ａと排気口５４ｂとを有し、内部にポンプ室５０ａ〜５０ｆを備えたポンプケーシング５６と、両端を軸受８４ａ，８４ｂで回転自在に支承されてポンプケーシング５６の長さ方向に沿って配置される回転軸６０と、ポンプ室５０ａ〜５０ｆ内にそれぞれ収容され、回転軸６０に連結されて該回転軸６０の回転に伴って回転するロータ６２ａ〜６２ｆとを有し、ポンプケーシング５６の排気口５４ｂ側には、該排気口５４ｂに連通し大気に開放させた大気開放室５２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ベーンの目標寿命を容易に把握することができるベーンポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】ロータ８６と、このロータ８６に放射状に設けられているスリット８４と、このスリット８４に摺動可能取付けられるベーン８７とを備えたベーンポンプにおいて、ベーン８７は、このベーン８７の摩耗寿命までは摺動中であってもスリット８４に収納され、摩耗寿命を超えるとスリット８４から外方へ露出する空隙８８を備えている。
【効果】目標とする摩耗寿命を超えるとベーンに設けた空隙が、ロータのスリットから外方に徐々に露出するので、ロータ室内の圧縮された空気が空隙から逃げ、ベーンポンプの吸引側で所望の負圧を得ることができなくなり、圧力の値を計測することでベーンポンプのベーンの目標寿命を容易に把握することができる。 （もっと読む）