【課題】軸の回転運動と軸方向スライド運動とを高効率に支持することができ、コンパクトで低コストな軸受装置を提供すること。
【解決手段】軸受装置２は、相対的に回転および軸方向スライドする軸１を支持する。軸受装置２は、外輪、内輪、および内・外輪間に介在する転動体を有する転がり軸受３と、転がり軸受３の内輪の内周に固定され、内周面が軸１の軸方向スライドに対する軸受面を構成する含油焼結金属からなるスリーブ４とを備える。 （もっと読む）

【課題】軸部に嵌合させた可動部材が軸部の軸線方向に前後動するように構成された軸受構造において、可動部材からケーシング等に振動が伝達されることを抑制し、ＮＶ特性を向上させるように構成された軸受構造を提供する。
【解決手段】軸部２，４の外周側に該軸部２，４に沿って移動可能でかつ軸部２，４に対して相対回転する可動部材８，１０が設けられ、その軸部２，４の外周面と可動部材８，１０の内周面との間に摺動部材１２が設けられた軸受構造において、摺動部材１２は、円筒状に形成されるとともに、その内周面と外周面との少なくともいずれか一方に、摺動部材１２の半径方向の荷重を受けて弾性的に圧縮変形する凸部１３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】シリコンを主成分とするシリコン合金を用いた摺動案内装置、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】温度及び圧力を制御しながら行う燃焼合成方法により、燃焼合成温度２０００℃以下、同圧力１ＭＰａ以下で製造されたシリコン合金を粉末化し、含水コンパウンド工程を経て押出成形後、焼結し、完成品形状に合わせ適宜の方法を選択して研削、研磨することにより、転動体を介さず、軌道体１２と、これに対し相対移動可能なように形成された移動体１４のみを具えることを特徴とする、シリコン合金製摺動案内装置１０が得られる。これにより、優れた剛性、耐摩耗性、耐熱性を有しながら、転動体を用いない極めてシンプルな構造で、優れた自己潤滑性、動作特性、耐食性を有し、騒音・振動も生じない摺動案内装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内で基板等を搬送する際に、搬送機構によるパーティクルの発生を防止する。
【解決手段】真空チャンバ２内に移動可能に配置され、被搬送物（基板２０）を支持、搬送する支持体５と、チャンバ外から支持体５に磁力を介して運動伝達する磁気運動伝達機構を備える。真空雰囲気のチャンバ内においてローラや歯車などの回転体を用いず、磁気運動伝達することができ、搬送時のパーティクルを極力少なくする効果がある。さらに、チャンバ外への無駄な設置面積を必要としない。また、磁気運動伝達機構と回転機構を併用することにより、基板の受渡し、搬送時に任意の角度を設定でき、装置設計時の自由度が大きくなる。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受に供給する圧縮空気を清浄にするための多大な装置を不要にすることで、直動案内装置の小型化及び製造コストの削減をすることができる直動案内装置を提供する。
【解決手段】固定部材４と、この固定部材４に両端が回転自在に支持された回転軸３と、この回転軸３の軸心方向に沿って直線的に移動するガイド部材２とを備える。このガイド部材２は、ハウジング５と、このハウジング５に取り付けられかつ前記回転軸３が同軸心状に挿通されたスリーブ６とを有する。前記回転軸３の回転によって動圧を発生させる動圧溝６ｂを前記スリーブ６の内周面６ａに形成する。 （もっと読む）

【課題】回転かつ往復動可能なスプライン軸を、簡易な構成の滑り軸受によりスプラインの加工された部分で直接支持し、しかも、軸受面の損傷を回避する。
【解決手段】スプラインの形成された軸を支持する滑り軸受として、スプライン部分を取り囲むブッシュを設け、そのブッシュをスプライン軸とともに回転するようにしてスプライン軸とブッシュとの相対回転をなくし、スプラインのエッジ部によるブッシュの損傷を防止する。例えば、変速機の操作機構において、スプライン２５が形成され、回転かつ往復動可能な操作軸２は、フランジ部８１を備えたブッシュ８により軸受される。ブッシュ８は、爪部８２により操作軸２を回転させる傘歯車組立体６と連結され連動して回転するので、ブッシュ８と操作軸との相対回転が阻止され、スプライン２５のエッジ部によりブッシュ８の内周面が削られることはない。 （もっと読む）

処理装置（１）、例えば、イオン注入装置において用いられるガスベアリングスピンドル（２）である。スピンドル（２）は、鋼製のベアリング面（２３）、及び、クロム（３ａ）または他の硬い材料にて被覆されたシャフト（３）を備えている。
（もっと読む）