【課題】流体が第１の方向のみならず第２の方向に流されるときにおいても、上方向荷重（開弁方向に働く力）が発生するようにし得、もって、より小さなばね荷重の開弁ばねを使用できるようにして、小型化、大容量化、省電力化等を図ることのできる電動弁を提供する。
【解決手段】背圧室３０の室径と弁口９の口径とが略同一に設定されるとともに、弁体２０内に弁口９ないし第２入出口１２と背圧室３０とを連通させるべく直線状の均圧通路３２（３２ｃ）が設けられるとともに、該均圧通路３２を下方に延長するように細径の均圧導管２２が下向きに突設され、該均圧導管２２（直管部２２ａ）の下端開口が閉じられて側面開口３２ａ、３２ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】閉弁時に「組付け誤差」や「部品精度」による流体の漏れを防ぐことのできるポペットバルブを提供する。
【解決手段】シャフト１と弁体２との間に弾性部材４を介在させて、シャフト１に対して弁体２を傾斜可能に支持する。これにより、ポペットバルブを構成する各部品の「組付け誤差」や「部品精度」によって、弁座部材３に対して弁体２が相対的に傾く場合であっても、閉弁時に弁体２が弁座部材３に押し付けられることで、弁座部材３に対する弁体２の「傾き」を弾性部材４が弾性変形により吸収し、漏れが防がれる。さらに、シャフト１と弁体２との間にベアリングを追加することで、シャフト１と弁体２の回転差をベアリングで吸収させることができ、シャフト駆動力を抑えるとともに、着座面の摩耗を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】弁体の支持剛性を高めるとともに、弁体およびシャフトを応答性良く低負荷で動かすことのできるバルブ装置を提供する。
【解決手段】ハウジングに軸受部３を設け、この軸受部３に形成された摺動穴２によってシャフト１の先端部を軸方向へ摺動自在に支持する。これにより、弁体の支持剛性を長期に亘って安定して高めることができ、バルブ装置の信頼性を高めることができる。また、摺動穴２の内周壁に軸方向へ延びる溝６を設けて、摺動穴２の底部とハウジング内とを連通する呼吸路４を設けている。これにより、「シャフト１の先端部と摺動穴２の底部との間」の容積変動が容易になり、シャフト１の軸方向への移動が容易になる。その結果、弁体の開閉の応答性を向上できるとともに、弁体の駆動負荷を低減できる。 （もっと読む）

【課題】低温環境下においても、内部の流路が凍結により閉塞されることが抑制できる排気排水弁を提供する。
【解決手段】流入流路には、弁口側に向かって徐々に内径が小さくなる内径徐変部８５ｖが形成され、内径徐変部８５ｖとオリフィス孔８５ｆとの間には、オリフィス孔８５ｆの形成方向と直交する方向に延在し周方向に連続する環状の面である段差面８５ｐが形成されている。これにより、流入流路が水平となるように排気排水弁を配設すると、内径徐変部８５ｖの天井部８５ｗに残留した水滴９９９は、その自重により内径徐変部８５ｖの天井部８５ｗを伝って段差面８５ｐに流れ、段差面８５ｐを伝って下方に流れ落ち、水滴９９９の、オリフィス孔８５ｆ内への侵入が抑制され、低温環境下において、オリフィス孔８５ｆ内の水分の凍結に起因する閉塞が抑制される。 （もっと読む）

【課題】２種類の流量変化特性を任意に選んで流量制御を行うことが可能な流量制御弁を提供する。
【解決手段】本発明の流量制御弁１０では、直動シャフト８０の直動の前後方向において、第１弁孔４０Ａに対して第１弁体４０を後側に配置したのとは逆に、第２弁孔５１Ａ，５２Ａに対して第２弁体５１，５２を前側に配置したので、直動シャフト８０を可動ストロークの中間位置より後側で直動して第１弁体４０のみを動作させ、流量が「０」の状態から第１の流量変化特性の下で流量制御を行うことができるし、直動シャフト８０を可動ストロークの中間位置より前側で直動して第２弁体５１，５２のみを動作させ、流量が「０」の状態から第２の流量変化特性の下で流量制御を行うこともできる。即ち、本実施形態の流量制御弁１０によれば、２種類の流量変化特性を任意に選んで流量制御を行うことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】閉弁時にバルブ部材と弁座との間において確実にシール力を発生することができる小型で低コストの流体制御弁の提供。
【解決手段】エア調圧弁４は、モータアッセンブリ４２により、バルブシャフト４４とともにバルブ部材４５を、バルブハウジング４１内において軸方向に移動させている。バルブ部材４５は、調圧弁座４１１ｆに対し着座あるいは離間することによりエア調圧弁４を開閉している。バルブ部材４５は、シール部材４５２が取り付けられたバルブフレーム４５１を有し、バルブフレーム４５１の取付部４５１ｄは、バルブシャフト４４の先端部の連結部４４４に対し傾き可能に取り付けられている。連結部４４４には軸心に直交するようにボール孔４４５が貫通し、ボール孔４４５内には鋼球４４６が回転可能、かつ、ボール孔４４５の軸方向に移動可能に配置されている。取付部４５１ｄは、鋼球４４６に対してかしめられて固定されている。 （もっと読む）

【課題】２つの逆止弁を組み込むことにより簡素かつ小型に構成するとともに、逆方向に流れる流体を濾過するフィルターを設けることによって分岐路内の逆止弁の閉弁時のシール性を確保する。
【解決手段】流体通路１ａを介して連通された２つの接続ポート１１，１２と、流体通路１ａからの分岐路１ｂに連通された接続ポート１３と、流体通路１ａ内に設けられた第一の逆止弁１４と、分岐路１ｂ内に設けられた第二の逆止弁と、接続ポート１２から接続ポート１３へ流れる流体を濾過するフィルター１６とを備え、フィルター１６を、流体通路１ａの内周面に沿って設ける。 （もっと読む）

【課題】流体制御弁を通過する流体のコンタミネーションを防止するとともに、弁体が移動方向に対して傾いたり振動したりすることを防止する。
【解決手段】弁室５２内に当該弁室５２の内面に所定の間隔を介して配置されるとともに、前記弁室５２内に設けられた弁座４に接離可能に設けられた弁体６と、弁体６を開弁方向に付勢するアクチュエータと、弁体６を閉弁方向に付勢する弁体戻しばね８と、弁体６の開閉方向に対する傾きを解消する方向に向かって弁体６を付勢する傾き抑制ばね９とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウエハが出し入れされる方向に対して斜めに開閉駆動されるゲート弁において、プラズマが回り込みやすい側のシール部材の劣化を抑制する。
【解決手段】ゲート弁は、プラズマ処理装置のチャンバに対してウエハが出し入れされるゲートに設けられ、ウエハの出し入れの方向に対して斜めに交差する斜め方向に開閉駆動される。ゲート弁は、本体部１と、本体部１に設けられ、ゲート弁が閉じたときに、ゲート１０の周縁部に当接するシール部２と、本体部１におけるシール部２が設けられる面から突出し、シール部２の前方において、プラズマが回り込みやすい側に隙間の狭隘部３０を形成する突出部３とを備える。 （もっと読む）