流体の流れを流体源から別々の流体出口（１３２、１３６）の１つへ選択的に制御する切換弁（１０）は、ハウジング（１２）に固定された固定セラミック円盤（１４）と、保持器（２４）によりハウジング内に固定円盤（１４）に対して保持される回転セラミック円盤（１６）とを含む。回転セラミック円盤に付属品マウント（２０）を接着させて付属品への結合を容易にし、流体を弁から給送する。円盤の流路（８８、９０、１０４、１０６、１０８、１１０、１１２）はハウジングの流路（５４、６４、６６、６８）と、付属品マウントの流路（１１６、１１８、１２２）と協働し、円盤に対する弁内の流体の流れの圧力を均衡させて漏れを最小化しかつ耐用年数を延長させる。

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【課題】既に給気した分配給排気口を通しての排気を伴うことなく他の分配給排気口を通して給気できるロータリーバルブを得ることにある。
【解決手段】分配給排気口ａ〜ｈを複数有した弁座体５５と給排気筒部６２、６３を有した給排気体との間に、給気筒部及び排気筒部を分配給排気口に選択的に連通させる回転弁体５７を回転可能に配置する。弁体５７は、排気筒部と複数の分配給排気口とを連通するＣ字状の排気溝７０及びこの溝の両端７０ａ、７０ｂ間に開口して各分配給排気口の一つと給気筒部とを連通する給気孔７２を有する。溝７０の両端を隣接する二つの分配給排気口が含まれる距離を置いて隔てる。給気孔と排気溝の一端との間に、前記二つの分配給排気口の内の一方の給排気口に給気孔が連通した状態で他方の給排気口を閉鎖して、この分配給排気口を給気された状態に維持するシャッター部７３を設けたことを特徴としている。 （もっと読む）