【課題】長期間に亘って、出口用弁口を完全に塞ぐことを可能とする弁装置を提供する。
【解決手段】切換弁１は弁室６内に流体が供給される入口用弁口１１と流体を排出する出口用弁口１２とが設けられた弁座１０と出口用弁口１２を開閉自在に設けられた弁体４とを備えている。弁体４は出口用弁口１２を塞ぐ塞ぎ部１７の表面１７ａから凹の凹みが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、このバルブプレート１４を駆動するモーター１６とを備えている。モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上でバルブプレート１４に直接伝達される。この場合、モーター１６の回転力は、モーター１６の回転軸１６Ａに連結されて回転軸１６Ａと共に回転し回転軸１６Ａよりも大径に形成されたフランジ２０と、このフランジ２０及びバルブプレート１４に連結されてフランジ２０と共に回転する回転体２２と、この回転体２２をケーシング１２から離反するように付勢するスプリング２４を介して、バルブプレートに伝達される。フランジ２０は、中空部２０ａを有する。 （もっと読む）

【課題】圧力差によるバルブプレートの変位を防止して、密閉状態を確実に保持すると共にバルブプレートの損傷を抑制する。
【解決手段】真空用ゲートバルブ１０は、開口１２ａを有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口１２ａを開閉するバルブプレート１４と、バルブプレート１４のケーシング１２への密着時においては弾性部材を介さず機構的にバルブプレート１４の変位を許容しない位置調整手段を備えている。位置調整手段は、駆動源と、この駆動源により回転する回転体２２と、この回転体２２の回転により回転体２２に対して相対的に昇降する昇降体２４とから成り、この昇降体２４はバルブプレート１４に接してバルブプレート１４の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、ケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、バルブプレート１４を駆動するモーター１６を備え、モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上で、回転軸１６Ａと共に回転するフランジ２０と、フランジ２０及びバルブプレート１４に連結される回転体２２を介してバルブプレート１４に直接伝達される。回転体２２は、本体部２２Ａと、本体部２２Ａから延びるシャフト部２２Ｂを有し、本体部２２Ａは、横方向においてはローラーベアリング２８を介して、上下方向においては本体部２２Ａの上下に配置された２つのスラストベアリング３０Ａ、３０Ｂを介して保持されることによりカバー２６内に回転自在に設置される。 （もっと読む）

【課題】弁ディスク開度が小さい領域でコンダクタンスを高精度に制御可能にするコンダクタンスバルブ及び真空ポンプを提供する。
【解決手段】流体の流路Ｒを形成する円形状開口部５を有するハウジング２と、ハウジング２内に回動可能に設けられるとともに回動することにより円形状開口部５の開口状態を調整可能な円形状弁ディスク３Ａと、を有し、円形状開口部５には内側方向に突出する突起部５１が設けられており、突起部５１は、円形状弁ディスク３Ａにより円形状開口部５を閉塞する方向側に設けられている。 （もっと読む）

本発明は、流路（Ｆ）を気密式に遮断するためのバルブに関する。バルブは、バルブハウジング（１）と、バルブプレート（５）と、バルブプレート（５）を開放位置（Ｏ）と閉鎖位置（Ｃ）との間でシフトすることができる駆動部（７）とを有する。本発明によると、バルブは、連結位置（Ｋ）において、バルブプレート上のバルブプレート（５）の第一のシール（２１）に対して連結および分離することができ、係留位置（Ｐ）において、バルブハウジング（１）の係留部における係留部（８）の第二のシート（２２）に対して連結および分離することができる、シール支持部（３０）を有する。第一のシール（３１）が連結位置（Ｋ）および閉鎖位置（Ｃ）でバルブシート（４）に気密式に接触し、第一のシール（３１）とバルブプレート（５）上にある閉鎖表面（１３）との間に気密接続が形成されるように、第一のシール（３１）がシール支持部（３０）上に配置される。シール支持部（３０）は、第一の連結手段（３３）により、連結位置（Ｋ）でバルブプレート（５）の第一のシート（２１）に分離可能に連結することができる。シール支持部（３０）は、第二の連結手段（３４）により、係留位置（Ｐ）で係留部（８）の第二のシート（２２）に分離可能に連結することができる。
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少なくとも１つの開口部（２）が形成された第１の弁部分（１）と、少なくとも１つの開口部（４）が形成された弁部分（３）とを含む弁を操作する方法を開示する。第１の弁部分（１）と第２の弁部分（３）は、相対移動を実施するように適合され、第１の弁部分（１）の開口部（２）と第２の弁部分（３）の開口部（４）の相対位置が、開口部（２、４）の重なり領域によって弁の開口度を規定する。この方法は、第１の弁部分（１）および／または第２の弁部分（３）を弁の最大開口度を規定する位置から弁の最小開口度を規定する位置へと移動させるステップであって、重なり領域が減少すると第１の弁部分（１）と第２の弁部分（３）との間の相対移動の速度が低下するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】密封性の優れた流量調整弁を提供すること。
【解決手段】ハウジング３と、流路３３に開口する窓２１が外筒５の側面に設けられている外筒５と、外筒５内部に回転可能に備えられた内筒７であって、内筒７の側面で、かつ内筒の回転によって窓に開口する位置に流入孔２３が設けられた内筒７と、内筒の回転によって流路に開口する位置に内側流出孔２５が設けられた内側回転板９と、流路３３に開口する外側流出孔２７が設けられた外側回転板１１、を備える流量調整弁１であって、内筒７の回転に対応して、流入孔２３の流路３３に開口する面積、及び内側流出孔２５の流路３３に開口する面積が変化することを特徴とする流量調整弁。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空処理装置における真空処理室の排気側等に設けられる振り子式ゲートバルブの加熱装置において、弁体の回動範囲をカバーするようにケーシングの側壁部の内側に加熱手段を設け、輻射熱を利用して弁体を加熱する方式を採用することにより、弁体等の可動側に加熱手段を設けた場合に較べ、加熱手段の構造を簡単化できるとともに、既存の弁装置への加熱手段の適用が容易にできる振り子式ゲートバルブの加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の振り子式ゲートバルブの加熱装置は、真空処理装置における真空処理室の排気側に設けられる振り子式ゲートバルブの加熱装置において、弁体の回動中心にその中心を置き、弁体の回動範囲をカバー可能な中心角をもつ扇形の加熱手段を、弁体と平行に、かつ弁体と間隙を有するようにしてケーシングの側壁部の内側に装着することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】産業用設備及び発電設備から出る高流量で低濃度の排出物内の揮発性有機化合物を処理するための再生式熱酸化装置において、適切な密閉性を保証し磨耗を低減または無くすような、弁および弁システムの提供。
【解決手段】ガスを処理するための再生式熱酸化装置は、燃焼ゾーンと、排気と、熱交換媒体が入っており、燃焼ゾーン及び排気と連通している第１熱交換ベッド及び第２熱交換ベッドと、ガスを第１熱交換ベッドへ流す第１静止モードと、移動モードと、ガスを第２熱交換ベッドへ流す第２静止モードとの間で流れを交代させるための、弁駆動装置、弁座及び流れ分配器５０であるポペット弁を備えており、弁の位置に基づいてガスの流れを制御することができ、弁が第１又第２静止モードにあるとき、弁を弁座に対して密閉するための手段と、弁が移動モードにあるとき、弁を密閉解除するための手段を備えている。 （もっと読む）