【課題】ゲートバルブの小型化を図る。
【解決手段】ゲートバルブＧＶは、ロードロック室ＬＬに装着され、開閉により基板を搬送させる。ゲートバルブＧＶは、ロードロック室ＬＬの内部空間と連通する前方開口１０５ａが形成された筐体１０５と、筐体１０４に回転可能に内蔵され、回転軸１１０ａとその回転軸に取り付けられた弁体１１０ｂとを有する回転部材１１０と、弁体１１０ｂに取り付けられ、膨張可能なシール部材２００とを有する。ゲートバルブＧＶを閉じる場合には、回転軸１１０ａを回転させて弁体１１０ｂを前方開口１０５ａを塞ぐ第１の位置まで回転させた後、シール部材２００を膨張させる。 （もっと読む）

【課題】インサートの外径を大きくすることなく、流路への突出部の少ないボールバルブを実現し、しかも、着脱治具の係合部も鋳造成形可能なインサートを有するボールバルブを提供する。
【解決手段】ボデー２内部に貫通孔１０を有する球状弁体１１を一対のボールシート８，９で支持して回転自在に内蔵したボールバルブ１である。少なくとも一側のボールシートを先端で保持する筒状のインサート１２には、前記弁体１１の貫通孔１０の口径と略同径である先端部１２ｄから開口端部１２ｅに向かって拡径する断面テーパ状の流路孔１３を形成している。この流路孔１３の先端近傍の内周面には、流路孔１３のテーパ面より求心方向に突出しない係合内周面１２ｈから構成される多角形状を呈した係合部１２ｆを有し、この係合部１２ｆにインサート着脱治具を係止させて、インサート１２の着脱を行い得るようにしたボールバルブである。 （もっと読む）