【課題】再始動時に速やかな応答性で再始動状態に切り換え可能であり、始動安定性を大きく高めることができる空気遮断バルブおよびこれを用いた再始動安定化方法を提供する
【解決手段】空気通路３に金属材質を重ねて当てたプラスチック材質のハウジングユニット１と、空気通路を開閉するフラップバルブ９と、運転者による始動開始時、制御器を通して駆動され、フラップバルブを開放するための回転動力を発生させるモータ１１と、モータの回転動力を受けてフラップバルブを完全閉鎖状態から完全開放状態に切り換え、運転者による始動停止とは異なる異常な始動停止時、空気通路を通して空気供給が行われるように、モータの駆動なしにフラップバルブの完全開放状態を維持させる電子減速器２０，３０，４０と、運転者による始動停止時、モータの駆動がない状態で弾性復元力でフラップバルブを完全閉鎖状態に戻す復帰ユニット５０とを含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】流入口と流出口とを結ぶ弁室と、弁室内に設けられた弁座とを有するバルブケーシングと、弁座に接近する閉じ側と弁座から離隔する開き側とに変位自在な弁体と、弁体を閉じ側又は開き側に付勢する形状記憶合金バネと、形状記憶合金バネを加熱するヒータとを備える熱動弁において、ヒータへの通電停止後の開閉切換えの応答性を向上できるようにする。
【解決手段】形状記憶合金バネ５及びヒータ６の配置部を弁室２３に対し液密に仕切る筒状のケース７の周囲に、弁室２３に連通する冷却ジャケット部２６を設ける。また、形状記憶合金バネ５をケース７の周壁部寄りに配置し、ヒータ６を形状記憶合金バネ５の内周側に配置する。 （もっと読む）

【課題】弁を小型化および低コスト化できるとともに、弁内を流れる流体同士の熱交換を抑制できる、切替弁を提供する。
【解決手段】切替弁５２は、貫通孔７５の形成された弁体７４と、貫通孔７５を流れる流体が通過する径方向孔７７が形成され、弁体７４を収容する第一ハウジング７１と、貫通孔８５の形成された弁体８４と、貫通孔８５を流れる流体が通過する径方向孔８７，８８が形成され、弁体８４を収容する第二ハウジング８１と、弁体７４と弁体８４とを一体に移動させるモータ６１と、を備える。弁体７４と弁体８４との間に、弁体７４と弁体８４との間の熱伝達を抑制する中空の空間６９が設けられ、第一ハウジング７１と第二ハウジング８１との間に、第一ハウジング７１と第二ハウジング８１との間の熱伝達を抑制する中空の空間６８が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 サーモスタットの設置を容易とした流体制御装置を提供する。
【解決手段】 温度計測が必要な流体制御機器6と支持部材9との間にスペースSが形成されている。サーモスタットユニット10が、スペースS内に配されて、サーモスタット11が温度計測が必要な流体制御機器6に当接させられている。サーモスタット11は、支持部材9に取り付けられた取付け治具12に支持されている。取付け治具12は、支持部材9に固定される第１治具13と、第１治具13に固定された第２治具14と、第２治具14に移動可能に取り付けられてサーモスタット11が固定される第３治具15とからなる。第１治具13と第３治具15との間に付勢部材が介在されている。 （もっと読む）

【課題】弁体を冷却するための熱交換器を設け、該熱交換器内の冷却水通路と主ロッドの内部の冷却水供給路とを、相対的に変位可能な方法によって簡単にしかも液漏れを生じないように連結する。
【解決手段】開口部２を開閉する弁体５と、弁体５を開口部２に接離させる開閉シリンダ６と、弁体５を開口部２に対向する位置と非対向の位置とに変位させる主シリンダ７と、弁体５を冷却する熱交換器８とを有し、主シリンダ７の主ロッド１３の先端に開閉シリンダ６を取り付け、開閉シリンダ６の開閉ロッド２５に熱交換器８を取り付け、熱交換器８に弁体５を取り付け、熱交換器８内の冷却水通路４８の冷却水入口４８ａ及び冷却水出口４８ｂと、主ロッド１３の内部の冷却水供給路５０及び冷却水排出路５１とを、伸縮自在で液密性を有する供給用及び排出用のベローズ継手５２ａ，５２ｂで接続する。 （もっと読む）

本発明はHVAC（暖房、換気及び空調）温度制御の技術分野に属し、電動式フローティングボールバルブを提供する。従来の電動調節バルブの信頼性が低い、破損しやすい、制御精度が悪い、稼動騒音が高い、及びメンテナンス交換コストが高い問題を解決できる。本発明による電動式フローティングボールバルブは、バルブボディと、ステムと、バルブボディ内におけるバルブコアと、バルブボディ外における駆動手段とを備え、前記ステムはバルブボディを挿通し、且つ内端がバルブコアと接続され、駆動手段はステムの外端と接続されるとともに、前記ステムを回転するように駆動でき、前記ステムの外側が円筒状で金属材料で製造された放熱部品とスリーブ接続され、前記放熱部品は前記バルブボディと固定接続されている。本発明による電動式フローティングボールバルブの放熱部品は著しく放熱量を拡大でき、駆動手段が順調で安定に稼動することを保障し、電動式フローティングボールバルブの使用安定性を向上する。
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【課題】ホットウォールチャンバからの熱によってシール部材が加熱されても，高い真空度を保持したいチャンバ内への大気の侵入を防止し，そのチャンバ内の真空圧力を保持できるようにする。
【解決手段】ホットウォールチャンバであるプロセスチャンバ２００Ｂと，それより高い真空度を保持することが要求されるトランスファチャンバ３００との間のゲートバルブ装置は，トランスファチャンバの側壁と筐体の側壁との間は，そのトランスファチャンバとの基板搬出入口を第１シール部材３３０Ａとその外側の第２シール部材３３０Ｂにより囲んで２重シール構造とし，これらシール部材間の隙間を筐体の内部空間に連通する少なくとも１つの連通孔４０８を筐体の側壁に設け，トランスファチャンバとの基板搬出入口を，筐体内を昇降自在な弁体４１０によって開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】伝熱促進が抑制されて熱移動が効果的に遮断され、熱損失を低減して冷暖房能力が向上される四方弁を得る。
【解決手段】弁室５１を有するハウジング部材５と、上記弁室に設けられた座面部６１を有する弁座６と、この弁座の座面部に互いに隣接する開口部１ａ、２ａを有しそれぞれ該弁座を貫通して上記弁室の外に引き出された高温流体を通流する第１の流路１、低温流体を通流する第２の流路２及び高温流体を通流する第３の流路３と、上記弁座の座面部に対して移動するように設けられた弁体７とを備え、弁体７の内部に冷媒がＵターンするよう形成された整流板１２が設けられているものである。 （もっと読む）

【課題】弁体の振れや位置ズレを抑えるとともに弁体を含む可動部を軽くして、摩耗の発生を抑えて長期に亘って低弁漏れを実現する。
【解決手段】シャフト４の一端がハウジング３に固定され、弁体５に設けられたバルブパイプ５ａがシャフト４に対して摺動自在に支持される。このため、ＥＧＲ流路２に対して弁体５の偏心量を小さく抑えることができ、弁体５の振れや位置ズレを極めて小さく抑えることができる。そして、弁体５を含む可動部がシャフト４と別体であり、弁体５を含む可動部の重量が軽く設けられる。このため、弁体５を含む可動部に振動が生じても、振動による摩耗を抑えることができ、長期に亘って低弁漏れを実現できる。また、バルブパイプ５ａがシャフト４に摺動自在に支持されるものであるため、従来技術で用いていたボールベアリングやメタルベアリングを廃止でき、コストを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロフルイディック・システムにおいて使用するバルブを提供する。
【解決手段】バルブ５０は、上流チャネル５２の中心軸６０に対してある角度をなして配された第１対向壁７４によって規定された導管によって合流させた上流チャネル５２と下流チャネル５４とを規定する基板を含む。感熱物質５６の少なくとも一部が、第１対向壁７４との衝合によって、導管を遮断する。感熱物質５６と熱的に接触状態にある熱源３７の作動時に、感熱物質５６の開口運動によって導管を開放する。 （もっと読む）