【課題】液滴化を抑制しつつ薬液の滴下流量を減少させる技術を提供する。
【解決手段】本発明は、回転するウェハ上に薬液を供給するための薬液吐出弁を提供する。本薬液吐出弁は、閉弁状態と最大リフト量との間でリフト量を操作することによって、薬液供給口と薬液吐出口との間の流路状態を変化させる当接部を有するダイアフラム弁と、作動ガスの供給量を操作するための第１開度を連続的に調整可能な第１比例制御弁５１と、作動ガスの排出量を操作するための第２開度を連続的に調整可能な第２比例制御弁５２と、前記第１比例制御弁５１と前記第２比例制御弁５２とを接続する中間流路に設けられている作動ガス供給口とを有する作動ガス供給部と、作動ガス供給口から供給された作動ガスの供給圧力に応じてリフト量を操作するアクチュエータ部と、を備える。アクチュエータ部は、最大リフト量を調整可能に制限するリフト量制限部を有する。 （もっと読む）

【課題】凹凸著しい面で汎用的に簡単に利用できる真空吸着パッドを提供すること。
【解決手段】開閉弁筒体の内側に密着され略中央に真空連通孔を穿設した薄膜構造の弁膜と、前記筒体の開口部に断面凹状の弾性体の筒体が密着され、該弾性体筒体内側底面には前記薄膜の真空連通孔に当接する弾性体台状平滑突部の弁座を設け、また前記弾性筒体の伸張により底部を移動させるための可動板と、前記弾性体筒体内側と真空生成装置とを連通する継ぎ手とが弾性筒体の底面部に設けられ形成された伸縮真空制御室と、前記可動板を弾性体筒体長手方向に、前記弁膜とは逆方向に動かすために可動板に接し設けられた接面検知作動杆とからなり、真空吸着パッドが対象物を吸着する場合の３つの状態遷移に対応した真空開閉弁付き真空吸着パッドとした。 （もっと読む）

無針アクセスポートバルブが、流体流を収容するための上部ピストン部に沿ったスリットを備えるピストンを組み込む無針アクセスポートバルブにまで拡張された具体的な検討をもって、本明細書で全般的に検討されている。当該スリットは、ピストンが注射器の先端等の医療器具によって圧縮されると開き、バルブ筐体の流入口と流出口との間の流体連通を可能にする。当該スリットを、高周波切り込み機または複数軸ロボットアームおよび切刃を使用して切り込むことができる。 （もっと読む）

【課題】シール性能を低下させることがなく構造を簡素化すると共に、製造工程を簡略化することにより製造コストを低減すること。
【解決手段】インレットポート１２とアウトレットポート１４とを有するバルブボデイ１６と、帯状の弾性シート体２０ａを側面視して略Ｕ字形状に折曲して形成された弁体２０と、前記弁体２０を空間部１８の内周面に沿って回動させる回動機構２２とを備え、前記弁体２０は、前記バルブボデイ１６の内周面に沿って回動可能に設けられ、前記弁体２０が第１シート部２４ａ及び第２シート部２４ｂに着座した際、形状弾性力によって前記弁体２０の側部２８ｂが前記第１シート部２４ａ及び第２シート部２４ｂに対して押圧されることにより、シール性能が発揮される。 （もっと読む）

内部に空洞を有するチューブであって、該空洞が複数のチャンバを有し、各チャンバが1つまたは複数の空気袋チャンバと結合している、チューブと；前記チューブ内に配置されたステムであって、該ステムが複数のプランジャーを有し、各プランジャーがチューブの空洞のチャンバ内に配置され、各プランジャーが、チューブの空洞の隣接するチャンバ間の空気連通を選択的に開放および閉鎖するよう構成されている、ステムとを含む空気袋バルブ装置であって、隣接するチャンバ間の空気連通を選択的に開放および閉鎖するよう複数のプランジャーの各々が配置されるように、前記ステムが前記チューブに対して可動性である、空気袋バルブ装置を提供する。

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【課題】自在栓となる風船部分を確実に支持することができ、容器体開口部への装着に際しての取り扱い性や、封止安定性に優れているとともに、容器体の注出口が密閉された状態を保持して、内容物の供給排出や入れ替えなどの処理操作を行うこともできる自在栓を提供する。
【解決手段】大きさ、形状の異なる容器体１１の開口部１１ａにその先端部側が装着されて開口部１１ａを封止する自在栓１０であって、開口部１１ａに密着して空気圧により膨出又は収縮するバルーン部１３と、バルーン部１３を貫通して設けられたバルーン支持軸１４と、を有するように構成する。 （もっと読む）

マイクロバルブまたはマイクロバルブのアセンブリを環境から保護するのを助けることができるマイクロバルブアセンブリ。そのようなマイクロバルブアセンブリは、ガスを放出するかつ／または別の形で中に入れられる静電作動マイクロバルブの性能を低下させる可能性のある接着剤および／または他の材料の使用なしで、機械的に組み立てることができる。特に、マイクロバルブアセンブリは、基台取付具（１６）、基台取付具に取り付けられるように構成されるクランプ取付具（１０）、および基台取付具とクランプ取付具の間に配設される静電作動マイクロバルブ（１２）を含むことができる。クランプ取付具は基台取付具に機械的に取り付けることができる。 （もっと読む）

バルブまたはアクチュエータのための調節機構（６０）が提供される。この調節機構は、１つ以上のピストン（４２）と協働し、これは、次に、バルブ要素（３０）と協働し、このバルブ要素のバルブシート（２６）に対する軸方向変位を制限する。この調節機構は、軸方向に調節され得、それによって、ピストンおよびダイアフラム（３２）が動くより大きい、またはより小さい距離を提供する。この調節機構を取り込む実施形態は、トリクルバルブ、オン／オフバルブおよび混合バルブを含む。この調節機構はまた、ピストンストロークの調節を提供し、上記バルブ要素のストロークに一致するか、またはそれを緊密に写す。
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この発明は牽強応答バルブ付きの燃料サプライに向けられている。環境応答バルブは、温度、圧力、または速度のような環境要素に応答する。このバルブは、環境的にドリガとなる事象がもはやなくなったときにバルブが自動的にリセットするように構成して良い。 （もっと読む）

【課題】流体圧変動の影響を受け難くして、圧力調整動作が安定的に行え、多少の過大な圧が作用しても破損するおそれが生じないよう、改善された圧力調整弁を提供する。
【解決手段】供給側流路３と排出側流路４との連通口３Ａ、及びこれを開閉する弁体５を有する弁箱１と、連通口３Ａが閉じ状態となるように弁体５を付勢する付勢手段７を有する蓋箱２とが組付けられ、供給側流路３の圧が所定値を上回ると付勢手段７による付勢力に抗して弁体５が開き移動されて連通口３Ａが開き、かつ、供給側流路３の圧が所定値以下のときには連通口３Ａの閉じ状態が維持されるよう構成されている圧力調整弁において、弁体５は、連通口３Ａの開閉が自在で、かつ、付勢力が付与される弁部１０と、この弁部１０に一端が気密状に固定され、かつ、弁箱１に他端が気密状に固定されるベローズ１１とを有して構成する。 （もっと読む）