【課題】火炎品質を安定させ、処理効率の良い火炎得て、有機ケイ素化合物を安定供給することのできる表面改質のための表面改質用火炎噴射装置及び表面改質方法を実現する。
【解決手段】バーナ５は、隔壁８により、主バーナ室１１と副バーナ室１２に分割されており、副バーナ室１２の前方には火炎点火検知両用プラグ１５が設けられており、空気燃料ガスミキサ３４によって、空気供給系２から供給される空気と燃料ガス供給系３から供給される燃料ガスが燃焼用ガスとして混合し、燃焼用ガス有機ケイ素化合物ミキサ４６は、燃焼用ガスと有機ケイ素化合物を混合し、空気燃料ガスミキサ３４で混合された燃焼用ガス一部は主バーナ室１１に供給され、残りは副バーナ室１２に供給され、それぞれ火炎として加工物６０の表面に噴射され、火炎点火検知両用プラグ１５は、副バーナ室１２における火炎を検知する。 （もっと読む）