【課題】等方圧加圧装置において低圧域の昇圧速度を増大し、目標圧力に到達する時間を短縮する。
【解決手段】本発明に係る等方圧加圧装置１は、高圧容器２、圧媒ガスを供給するガスボンベ５、供給配管６、第１圧縮機７及び第２圧縮機８を備えていて、ガスボンベ５から送られてきた圧媒ガスを第１圧縮機７で圧縮し、この圧媒ガスをさらに第２圧縮機８で圧縮する高圧圧縮ライン１５を有しており、圧媒ガスを第１圧縮機７の上流側で分岐し、分岐された圧媒ガスを第１圧縮機７に送ると共に第２圧縮機８に送り、第１圧縮機７と第２圧縮機８とのそれぞれで圧縮された圧媒ガスを合流させて高圧容器２内に送る低圧圧縮ライン３４も有している。 （もっと読む）

【課題】条件の異なる複数ゾーンからなる連続乾燥炉における乾燥工程を、正確に模擬することができるバッチ炉及びバッチ炉による連続乾燥炉の模擬方法を提供する。
【解決手段】赤外線加熱装置８と熱風乾燥装置９とを備え、塗膜が形成された平面状のワークを乾燥するバッチ炉である。熱風乾燥装置９は温度条件の異なる複数の加熱手段２４〜２６を備え、赤外線加熱装置８の出力と使用する加熱手段とを、ワークが連続乾燥炉の各ゾーンを通過するに要する時間が経過するごとに瞬時に切り替えることにより、バッチ炉において連続乾燥炉における乾燥条件を模擬する。 （もっと読む）

【課題】 基板を高温で処理する場合においても、熱によるチャンバーの変形を有効に防止することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】 熱処理装置は、チャンバー１と、第２チャンバー２と、フレームカバー３とを、この順序で順次外側に配置した三重構造を有する。そして、チャンバー１内には、基板１００を加熱して処理するためのホットプレート４が配設されている。第２チャンバー２は、いずれも金属板から構成される上蓋２１、本体２２およびフード２６と、これらの上蓋２１、本体２２およびフード２６の内面に配設された断熱材２３とを備える。この第２チャンバー２は、チャンバーベース２７とともに、チャンバー１を囲う断熱領域ＴＩを形成する。すなわち、チャンバー１と第２チャンバー２との間には、外部との空気の流通が制限された空気断熱層から構成される断熱領域ＴＩが形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、グラファイトヒーター炉に関し、炉本体の加熱空間部内にヒーター棒等を水平に設けたグラファイト発熱体を多段に設け、焼成物に高温の温度分布が均一に形成されるようにして焼成物の焼成品質を向上させることをその目的とする。
【解決手段】グラファイトヒーター炉２は、炉本体６の内部に形成された加熱空間部１０にグラファイト発熱体１２が多段で水平に配設されている。このグラファイト発熱体１２の第１ヒーター棒支持体２０Ａと第２ヒーター棒支持体２０Ｂの間には架け渡された状態で複数のヒーター棒５０が間隔を設けて水平に配設されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、少ない工数で金属線材とパイプの直接接触を抑制でき、金属線材の表面疵を防止できる金属線材の熱処理装置を提供すること。
【解決手段】 本発明は、非酸化性雰囲気に保持されたパイプが並列に複数本横設された加熱炉を有し、前記パイプ内に金属線材を通線して前記金属線材を熱処理する金属線材の熱処理装置において、前記パイプの内面に沿って炭素からなる筒が内装されている金属線材の熱処理装置である。また、前記加熱炉の通線方向の下流側に前記金属線材の通るパイプが並列に複数本横設され、前記パイプの内面に沿って炭素からなる筒が内装された冷却装置を具備することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、焼成炉に関し、より詳細には熱電対を用いて内部温度を測定する焼成炉に関する。
【解決手段】本発明は、内部に空間が形成された本体と、前記本体の内部に位置し、前記本体と上下に移動可能に結合する複数の熱電対と、前記本体の内部に位置する複数の発熱体と、前記熱電対から温度データの入力を受けて前記発熱体の温度を制御する制御部と、を含み、内部空間の各部分ごとの温度を測定し制御することにより均一な温度分布を形成することができ、特に、焼成対象物に加えられる熱の温度分布を均一にして高品質の焼成物を得ることができるという長所がある。 （もっと読む）

【課題】 安定した温度で熱処理できるバッチ式熱処理炉を提供する。
【解決手段】 箱状の炉本体部１１を有し、熱処理を施す炉体１０と、炉体１０に、熱処理物Ｗを出し入れする移動台２０とで構成する。移動台２０を、昇降装置４０を備え、前後方向に移動する台車２１と、台車２１の直上に設けられ、昇降装置４０によって昇降動する昇降基盤２２と、昇降基盤２２の後部から立設されたコラム２３と、コラム２３から前方へ延びるフォーク２４とで構成する。炉体１０を、炉本体部１１の直下に形成され、台車２１と昇降台２２が進入する空間部１２と、炉本体部１１の後部に形成され、熱処理物Ｗを載せたフォーク２４が進入できる大きさの出入口１３と、炉本体部１１の内部に設けられ、フォーク２４が進入する凹部１４ａを備え、上面に、熱処理物Ｗが上載される架台１４と、出入口１３を開閉する扉部１６とで構成する。 （もっと読む）

【課題】 従来のソルダペーストリサイクル方法では、フラックス成分及び有機溶剤を含有した状態のソルダペーストを溶融していたため、フラックス成分及び有機溶剤が燃焼し、炭化して黒煙を発生したり、悪臭を発するという問題があった。本発明は、黒煙や悪臭を発することなくソルダペーストをリサイクルする溶融装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る溶融装置２０は、加熱によりはんだ合金粒子３を溶融するはんだ槽６と、はんだ槽６を覆うフード２１と、はんだ槽６において溶融したはんだ合金粒子３の表面に近接する部分に窒素を注入する窒素注入口２３とを備え、窒素を注入することにより、大気よりも低酸素濃度の環境下ではんだ合金粒子３を溶融することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】断熱材の断熱性能を向上させるとともに断熱材の厚みの増加を抑える。
【解決手段】熱処理炉２は被処理体Ｗを収容して熱処理するための処理容器３と、該処理容器３の周囲を覆う断熱材１６と、断熱材１６の内周面に設けられ被処理体Ｗを加熱するヒータ５とを備えている。断熱材１６は通常の断熱材料からなる内側断熱材１６ａと、圧縮された微粉シリカ材からなる外側断熱材１６ｂとを有し、外側断熱材１６ｂの外面は飛散防止材１６ｃにより覆われている。 （もっと読む）

【目的】処理品を１０００℃以上の高温に急速加熱し且つ均一に焼成するためのバッチ式焼成炉の焼成方法を提供する。
【構成】炉内に、棒状またはパイプ状の加熱用ヒーターを並設してなる棚構造を上下方向に複数段配置し、炉の内壁面または内壁面近傍に補助ヒーターを配設したバッチ式焼成炉で、前記棚構造上に処理品を積載したセッターを載置して処理品を加熱、焼成する方法において、補助ヒーターとして中央部に発熱部長の１０〜２５％の長さの非発熱部を設けたヒーターを使用し、補助ヒーターとセッターとを３ｄ〜１０ｄ（但し、ｄは補助ヒーターの直径）の距離離間して加熱、焼成を行うことを特徴とする。 （もっと読む）