【課題】高耐圧強度、高冷却効率、軽量化、大焼成空間を有し、しかも真空炉・減圧炉・加圧炉として使用でき、電気炉・高温ガス炉・ガスバーナー炉などとしても使用できる熱処理炉を実現する。
【解決手段】本発明に係る熱処理炉は、周回状のベローズ山１０ａ、１２ａを軸方向に多段に形成した外側ベローズ１０と内側ベローズ１２を環状間隙１１を有するように二重管状に配置したダブルベローズ型周壁部８と、前記ダブルベローズ型周壁部８を支持する床部４と、前記ダブルベローズ型周壁部８の上方開口部を閉鎖する天井部６からハウジング１３を形成し、少なくとも前記環状間隙１１に冷却水１６を流通させて強制水冷するダブルベローズ型熱処理炉２である。 （もっと読む）

【課題】 乾溜ガスに熱分解する被処理物を収納した容器を、従来よりも時間を掛けなくて加熱することで被処理物を乾溜できるようにし、上記加熱と同時に事前に容器そのものを予熱器でさらに時間を掛けて予熱することで、更に乾溜時間を短くし、バーナとして必要な重油量を少なくするだけでなく、個々の容器内の被処理物を乾溜に必要な時間を短縮して効率を向上させんとする。
【解決手段】
炉本体と容器４及び/又は予熱器と第２容器との間隙に、ラセン状熱風誘導路を配置することにより、バーナからの熱風を、前記容器もしくは第２容器の周囲に巻き上げて加熱するようにしたことを特徴とする乾溜熱分解器。 （もっと読む）

【課題】炉ハウジング（Ｉ．２，ＩＩ．２，ＩＩＩ．２）によって取り囲まれた筒状レトルト（Ｉ．３，ＩＩ．３，ＩＩＩ．３）を用いる金属加工品の熱処理のためのレトルト炉（Ｉ．１，ＩＩ．１，ＩＩＩ．１）の実際的な価値を増加させ、かつ使用可能性を増加させる。
【解決手段】第１の変形形態に従って装入物の重量がレトルト（Ｉ．３）に加わらないようにし、第２の変形形態に従って第２の循環装置（ＩＩ．１８．２）をレトルト（ＩＩ．３）の加熱素子（ＩＩ．６）に対して配置し、第３の変形形態に従ってレトルト（ＩＩＩ．３）の底部（ＩＩＩ．９）に第２の底部（ＩＩＩ．９．１）及び／または調整弁（ＩＩＩ．２０，ＩＩＩ．２１）を設ける。 （もっと読む）

【課題】高精度なプロセス処理および高い安全性を実現することができる熱処理装置及び基板の製造方法を提供する。
【解決手段】熱処理装置１０は、基板を処理する反応管４２と、反応管４２を支持するマニホールド４４と、反応管４２の周囲に設けられ反応管４２内を加熱するヒータ４６と、ヒータ４６より下方の反応管４２の側方を囲うように設けられる囲い部５００と、囲い部５００と反応管４２との間の間隙５０６を強制排気する排気装置３０１と、反応管４２とマニホールド４４との間の当接部に設けられる密閉部材１５０と、を有し、囲い部５００には、排気装置が囲い部５００の外側の雰囲気を間隙５０６へ吸気する吸気口５０１が設けられる。 （もっと読む）

【課題】多室型熱処理装置において、熱処理室間における受渡しの際に熱処理対象物が冷却されることおよび受渡し環境が汚染されることを抑制する。
【解決手段】複数の熱処理室間にて熱処理対象物Ｘを受渡しを行う受渡し装置５を備え、該受渡し装置５は、前記熱処理室において加熱された前記熱処理対象物Ｘを保温する保温手段を備え、該保温手段は、前記受渡し装置５に収容された前記熱処理対象物Ｘを囲う断熱室５ｈと、該断熱室５ｈの内部に配置されるヒータ５ｉを備える。 （もっと読む）

【課題】単位枚数あたりのワークを処理するのに要する熱処理空間を拡張させることなく、また、炉体内部のクリーン度を維持しつつ、簡易な構成によって大型の平板状ワークを均一に加熱することが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置は、炉体１２、循環ファン２２、加熱ヒータ２０、耐熱フィルタ１４、および熱風整流板１６を備える。熱風整流板１６は、耐熱フィルタ１４とワーク１８との間に配置される。熱風整流板１６は、ワーク１８の上面においては、第１の側面側からワークに供給される熱風の風量を、第２の側面側からワークに供給される熱風の風量よりも多くする一方で、同じワーク１８の下面においては、第２の側面側からワーク１８に供給される熱風の風量を、第１の側面側からワーク１８に供給される熱風の風量よりも多くするようにする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造により炭化炉から乾留ガスが漏れ出るのを防止できる炭化装置を提供すること。
【解決手段】炭化装置は、混合物が供給される炭化炉２１と、炭化炉２１を貫通する搬送軸２６と、炭化炉２１に設けられ、搬送軸２６を回転可能に支持する軸受部２４と、を備え、炭化炉２１の炉体２２の内部で混合物を搬送しながらこの混合物を炭化する。軸受部２４には、炭化炉２１の外部からシールガスが供給されるチャンバ２４５が設けられ、このチャンバ２４５には、その内部と炉体２２の内部とを連通する隙間部２４７が設けられる。炭化炉２１には、チャンバ２４５の内部にシールガスを供給しこのチャンバ２４５の内部を炉体２２の内部よりも高圧にした際に、隙間部２４７を介して炉体２２の内部に導入されたシールガスを炉体２２の外部に排出する乾留ガス排出部が設けられる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を熱処理する熱処理装置を改良するものであり、メンテナンスを容易に行うことができる熱処理装置を開発する。
【解決手段】熱処理室１２の略中央部には、基板換装システム１８が配されて、基板換装システム１８に載置棚１６が設けられている。載置棚１６の全部の段部２３には、中央部分の小梁３１が欠落した欠落部３７を有し、当該欠落部３７によって吹き抜け部３８が設けられている。吹き抜け部３８に作業者が入ることができる。 （もっと読む）

【課題】トラフの熱変形を防止したスクリューコンベアを備えた多段スクリュー炭化炉を提供すること。
【解決手段】炉体３内で加熱されたスクリューコンベア２が、筒状のトラフ２０内をスクリュー８が回転することによって被炭化物を搬送し、縦方向に複数並べられた当該スクリューコンベア２１を解して炭化物を生成する多段スクリュー炭化炉１であって、スクリューコンベア２を構成するトラフ２０は、長手方向に見た断面がＵ字形のトラフ本体２１と、そのトラフ本体２１の上方開口部を塞ぐように配置された天板２２とが一体に形成されたものであり、トラフ本体２１には、長手方向に直交する幅方向に掛け渡した複数の桁部材２４が上方開口部に接合され、天板２２は、そうしたトラフ本体に対して長手方向の一部分ｙ１〜ｙ６が接合され、他の部分が非接合状態である。 （もっと読む）

【課題】 遮熱特性を低下させることなく大型化することが可能な扉を備えた熱処理装置を提供する。
【解決手段】ＩＲ炉１０は、炉体１２、扉２０、および駆動ユニット２８を備える。扉２０は、シャッタ２６およびメインフレーム２２を備える。シャッタ２６は、炉体１２の内部および外部を熱的に遮断する。また、シャッタ２６は、扉２０の長さ方向に沿って連続して配置された複数のシャッタ片２６２を有する。メインフレーム２２は、複数のシャッタ片２６２の少なくとも一部が長さ方向で移動自在になるようにシャッタ２６を支持するように構成される。また、メインフレーム２２は、駆動ユニット２８に接続されるように構成される。 （もっと読む）