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国際特許分類[G01B11/16]の内容

国際特許分類[G01B11/16]に分類される特許

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光ファイバブラッグ格子FBGセンサが各固定体に回転可能に設けられた回転軸により支持される回転体に設けられる。FBGセンサは回転軸に沿って延長され、一端は回転軸の一端の中心に配置される。光ファイバが固定体に設けられ、一端がFBGセンサから離れてFBGセンサの端部と対向するように配置される。多波長の光源から放射された光は光ファイバを通じて光ファイバとFBGセンサ間の間隙を横切ってFBGセンサに伝達される。FBGセンサは回転体の変形に対応する周波数の光を反射する。データ処理ユニットが反射された光を受けて、それに基づいて回転体の変形を算出する。
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土木構造物での変形の位置を特定し測定するための工程において、平行で、信号の伝達可能な、複数の光ファイバ(2a乃至2e)を有する、少なくとも1つのジオシンセティックな繊維(1)が、構造物に、もしくは構造物の下に適用され、光ファイバは、均等に離間され、同じ波長に対応するN1個の連続したグレーティングからなるシリーズ(4)に分布するブラッググレーティング(3)を有し、シリーズは、それら自身同一の複数のセットの中に配置され、これらセットの各々は、異なる波長に対応するN2個の連続したシリーズを有するということと、少なくとも2つの光ファイバで、1つのシリーズ(4)におけるグレーティングの数N1と、1つのセット(5)におけるシリーズの数N2とは、光ファイバの各々に伝達される入射光の波長とブラッググレーティングにより反射される光の波長との間の違いを測定することにより特徴付けられる工程に関する。
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第1に、光ファイバを備える鉄道監視システムである。光ファイバの第1の部分は、レールの軌道の組の1つに取り付け可能であり、ファイバの第1の部分の特徴は、ファイバの第1の部分が取り付けられる前述の1つの軌道の特性の変化に応じて可変である点である。システムはまた、光信号をファイバの中に放射するためのファイバに接続された光信号放射器を含み、ファイバは少なくとも第1の変更された光信号を生成し、この信号はファイバの一部の特性の変化に関係する情報を含む。システムは更に、第1変更された光信号に含まれる情報に基づいた、1つの軌道の特性の変化を確認するために、ファイバに接続されて第1の変更された光信号を受信して解析するための光信号アナライザを含む。
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投影露光装置(100)は、基板(W)が載置されるとともに、その基板を保持して移動可能な基板テーブル(30)と、基板テーブルの位置情報を計測する位置計測系(18等)と、液体の供給に起因して基板と基板テーブルとの少なくとも一方に生じる位置ずれを補正する補正装置(19)とを備えている。この場合、補正装置により、液体の供給に起因して基板と基板テーブルとの少なくとも一方に生じる位置ずれが補正される。これにより、基板に対して液浸法を利用した高精度な露光を行う。 (もっと読む)


材料の中の歪みの測定のための装置。この装置は、受動的な光ファイバのリングと、予め決められて形状をもち、前記のリングと一列に配置され、基板に組み合わされる、少なくとも1つのセンサと、(i)放射源により放出された放射の一部を前記の受動的な光ファイバのリングの中に導入し、そして、(ii)受動的な光ファイバのリングにおいて共鳴する放射の一部を受け取る、結合手段と、結合手段により受け取られた放射のレベルを検出し、それに対応した信号を生成する検出器と、検出器に結合され、受動的な光ファイバのリングにおける放射の減衰の割合に基づいて、基板に誘起された歪みのレベルを決定するプロセッサとからなる。
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【目的】 検査を省力化するだけでなく、任意の状態で正確な検査を行うことができるようになる透明樹脂板の歪み検査方法及びその装置を提供することを目的とする。
【構成】 投影機1とスクリーン2との間に樹脂板支持台3で支持された透明樹脂板6を配置すると共に、スクリーン2の背後にCCDカメラ4を配置し、多数の円形パターンを投影して各円形パターンの径を測定する。 (もっと読む)


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