【課題】ヘッド表面の摩耗を低減できると共に、ワークの被測定面への傷付きを防止することができるエアマイクロメータの測定ヘッドを提供する。
【解決手段】ヘッドに設けた噴出孔からワークの被測定面に対しエアを噴出し、その背圧または差圧に基づき、ワークの内径、外径、或いは厚さなどを測定するエアマイクロメータの測定ヘッドである。ヘッド本体１０の噴出孔３，３の近傍を除き、少なくともヘッド本体１０の先端面１１と外周面１２に、ＤＬＣ膜２がＰＶＤ法またはプラズマＣＶＤ法によりコーティングされている。 （もっと読む）

【課題】可動部に取付けられて使用する場合であっても長い耐用期間が得られると共に、シリンダの周囲の磁気による誤動作を起こすおそれがない流体圧シリンダのピストン位置検出装置を提供する。
【解決手段】シリンダチューブ２のロッド側端部およびヘッド側端部のうちの少なくとも一方に切換弁１２，１３を設ける。切換弁１２，１３は、ピストン３のロッド室側端部またはヘッド側端部への到達により操作されて切換わる。流体圧シリンダから離れた位置に圧力スイッチ１４，１５等の圧力検出手段を設ける。切換弁１２，１３の出力ポートと圧力スイッチ１４，１５等の圧力検出手段との間を可撓性を有するホース１６，１７により接続する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で安価なうえ、応答性がよく、熱影響により検出精度が低下することがない流路閉塞度検査装置を目的とする。
【解決手段】被検査物の連通流路内に吹き込まれたパルスエアが外部開放口Ｈより流出する際の風速に基づいて連通流路の閉塞を検知する孔閉塞検査装置であって、被検査物の外部開放口から噴出されるエアを導入するエア導入孔１１とエアの排出孔１２とを備えた貫通流路１３を形成し、風速により変位する撓み板１４をエアの流れを阻害しない隙間をもたせて前記排出孔１２の出口に配設し、前記撓み板１４の変位に基づいて排出孔１２を通過する風速を検出するもので、応答性が良好なうえ、熱による影響が少なく閉塞度の検出精度の低下を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ安価な手法により十分な検出精度を実現するピストンリングの合口位置のずれ検出方法、及びずれ検出装置を提供する。
【解決手段】ピストンリングの合口位置のずれ検出方法は、所定圧力のエア供給源から供給されたエアを、ボア（１３）に対して固定されたエアノズル（１６ａ）からピストンリングＲの合口に向かって噴射したときの、エアノズル（１６ａ）からのエアの流出量の変化を検出するステップと、そのとき検出した流出量の変化に応じてピストンリングＲの合口位置のずれを検出するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 異物除去が容易なワーク検知装置を提供する。
【解決手段】 ワークＷに対向して配置された装置本体１０１にエア噴出孔１０４を設けるとともに、このエア噴出孔１０４を、前記装置本体と前記ワークとの相対移動により前記装置本体に当接した前記ワークよって閉塞されるように前記装置本体に配置し、ワークＷと装置本体１０１との相対移動にともなう前記エア噴出孔１０４内のエアの圧力の変化に基づき装置本体へのワークの当接を検知するワーク検知装置において、装置本体１０１の外周面に凹溝１０１ｃを形成し、この凹溝に、エア噴出孔１０４を連通させ、前記凹溝を外周側から閉塞するシール部材１０８を前記装置本体の外周面に着脱自在に取り付け、閉塞状態の凹溝内に圧縮エアを供給することでエア噴出孔１０４からエアを噴出させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】低コストで精度良く位置ズレを検出することのできる位置ズレ検出装置を提供する。
【解決手段】底側に開口部を有する筒状の空間と空間に連通する通気孔とを有する第１の部材と、第１の部材の前記筒状の空間に底側から摺動自在に収容される球状または円錐状の第２の部材と、空間に連通する通気孔を有し、通気孔の端部には前記空間側に向かって広がり第２の部材の一部が係合されるテーパー部が形成され、テーパー部を空間に対向させた状態で前記第１の部材の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材と、第１の部材と第２の部材との間隙および第２の部材とテーパー部とで形成される隙間を介して流通する流体の流量または圧力の計測手段と、計測結果に基づいて第１の部材と第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する検出手段とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】従来にない画期的な流量式空気マイクロメータを提供する。
【解決手段】空気供給源１と連結する供給側継手２と、測定ヘッド３ａを有する測定部３と連結する排出側継手４とを供えた本体部Ａに、フロート14を内設したテーパ管５を、上流側を下側に下流側を上側にして立設し、このテーパ管５の上流側を供給側空気路６を介して供給側継手２と連通し下流側を排出側空気路７を介して排出側継手４と連通した流量式空気マイクロメータにおいて、前記テーパ管５より径大にして天部が閉塞した外管８をこのテーパ管５に被嵌状態にして本体部Ａに立設してこの外管８とテーパ管５間に空隙部ｓを形成し、この空隙部ｓの上流側にして上部を前記テーパ管５の下流側である上部と連通し、この空隙部ｓの下流側にして下部を本体部Ａに設けた排出側継手連通路９を介して排出側継手４と連通して、この空隙部ｓ及び排出側継手連通路９を前記排出側空気路７として構成する。 （もっと読む）

【課題】 ワークの位置合わせにかかる時間を低減させることができるワーク保持位置検出システムを提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明に係るワーク保持位置検出システムは、設定位置に保持されたワークＷの外壁ＷＳに当接又は近接する位置に配置された流体吹き出し口１２と、流体吹き出し口１２から流出する流量を検出するセンサと、このセンサで検出された流量に基づいて、ワークＷが設定位置に位置しているか否かを判断する演算ユニットと、を備えている。ワークＷが設定位置に保持されていると、流体吹き出し口１２はワークＷの外壁ＷＳに当接又は近接しているので、流体吹き出し口１２から流出する流量は少ない。従って、この流量に基づいて、ワークＷが設定位置に位置しているか否かを演算ユニットで判断することができる。 （もっと読む）

比較的長くかつ薄いオリフィスを備えた細長いノズルを有する測定プローブの間の極めて小さな距離を正確に検出するためのシステム及び方法。近接センサは、一定ガス流を使用し、極めて小さな距離を検出するためにニューマチックブリッジ内の質量流量を検出する。システム及び方法は、多孔質材料から形成された流れ制限器及び／又はスナッバ、及び／又は質量流量制御装置を使用し、これらは、様々な組み合わせにおいてナノメートルからサブナノメートルの範囲での極めて小さな距離の検出を可能にする。
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【課題】供給エアの無駄な消費を防止し、作業者への作業負担を低減させることができるエア供給作動装置を提供すること。
【解決手段】エア供給作動装置１は、供給エアＡ１によって作動するエアマイクロ測定器７と、エアマイクロ測定器７への供給エアＡ１の供給及び供給遮断を行うメインバルブ２と、メインバルブ２を開けるよう構成された開操作バルブ３と、メインバルブ２が開いてから所定時間経過後にメインバルブ２を閉じるよう構成されたタイマー作動手段４とを有している。タイマー作動手段４は、メインバルブ２が開いた後、メインバルブ２からエアマイクロ測定器７へ流れる供給エアＡ１の一部を徐々にタンク４３に貯留し、タンク４３内の圧力が所定の設定圧力以上になったときに、メインバルブ２に制御エアＡ２を供給してメインバルブ２を閉じるよう構成されている。 （もっと読む）