本発明はＸ線源（１０）及びＸ線を検出する少なくとも１個のＸ線センサ（７）からなる第１の感知装置としてのＸ線感知装置及び測定物に対して座標測定装置のｘ、ｙ及びｚ方向に位置決めすることができる第２の感知装置、例えば触覚式及び／又は光学式感知装置（８、１１；９）を有する、測定物（３）の測定のための座標測定装置（１１０）に関する。大きなサイズの測定物も問題なく測定できるように、Ｘ線感知装置（７、１０）が第２の感知装置（８，１１；９）に対応して座標測定装置（１０）に位置決めされることを提案する。 （もっと読む）

本発明は画像内にあるオブジェクトをスケーリングする画像処理装置に関する。前記画像処理装置は、マーカの実際の寸法と、画像内にあるこのマーカのピクセル単位での寸法との間の関係から得られる較正係数に基づいて前記オブジェクトをスケーリングするキャリブレータを有し、ここでキャリブレータはさらに、前記画像内において識別される複数の異なる配向のマーカを使用して得られる複数の較正係数を生成する。画像（Ｉ）は、解剖学的構造（２）対してこれらオブジェクトの異なる位置合わせとなる、空間において異なって配向される複数のオブジェクト（３、８、９）を有する。前記オブジェクト（３）は計測ツールにリンクされ、これは前記オブジェクト（３）のピクセル単位での長さを計測し、マーカ（Ａ）から決められる較正係数を使用して、前記オブジェクト（３）の実際の寸法を計算する。前記マーカは空間においてオブジェクト（３）と同様に位置合わせされる。画像（Ｉ）はさらに、計測ツールにリンクされるオブジェクトを有し、これは、これらオブジェクトのピクセル単位での夫々の長さに基づいてこれらオブジェクト（８、９）の実際の長さ、及び前記マーカ（Ｂ）を使用して決められる較正係数を計算する。好ましくは、別々のマーカに対応するオブジェクトがグループ化され、較正グループを形成し、これにより、較正係数の更新が同じ較正グループ内にある全てのオブジェクトに対する実際の寸法の自動更新となる。好ましくは、各較正グループはユーザの便宜に対し別々に識別される。本発明はさらに、画像内にあるオブジェクトのスケーリングを可能にするためのイメージングシステム、コンピュータプログラム及び方法にも関する。
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本発明は、ワークピース（９）に対して不動に位置決めされている第一座標系を固定すること、 ワークピース（９）の第一座標を、第一座標測定装置（３）を使用することにより測定すること、 ワークピース（９）の第二座標を、第二座標測定装置（５）を使用することにより測定すること、そして 第一座標と第二座標から、共通の座標組を、ワークピース（９）に不動に位置決めされた座標系に対する第一座標系においてあるいは第二座標系において作ることを特徴とするワークピース（９）の座標を確定するための方法に関する。特に多数のワークピース（９）の座標はワークピース（９）の製造工程および／または加工工程の最中および／または後に確定することができる。さらに本発明はワークピース（９）が両座標測定装置（３，５）を用いた測定の間に位置および／または姿勢が変化する場合にも関する。
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本発明は、方法および測定システムを提供する。当該方法は：測定画像情報を含む測定モデルを提供するステップと；上記測定画像情報を利用することにより測定領域を突き止めるステップと；測定結果情報を提供する為に少なくとも一つの測定を実施するステップと；を含む。
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【課題】走査電子顕微鏡において、観察視野の選択時に有効である異種倍率像の同時表示機能では、広い領域の走査に必要な高い感度の偏向コイルをそのまま用いて高倍率とするために走査信号の振幅を縮小していたので、高倍率像走査時には、偏向コイル駆動電流のＳ／Ｎ比が低下し、倍率比の大きな異種倍率像を得る事が困難であった。
【解決手段】高感度偏向コイルと低感度偏向コイルを使用し、低倍率像は、高感度偏向コイルを走査し、高倍率像は低感度偏向コイルを走査することで、Ｓ／Ｎ比低下の問題を解決し、倍率比の大きな異種倍率像を得る事が可能である。
【効果】倍率比の大きな異種倍率像を表示できるので、効率良く視野選択ができ、操作性を向上する効果がある。 （もっと読む）

【課題】 従来の半田付け状態を検査するためにサブトラクション処理を行うと、吸収係数の差の情報が画像化されるために、信号成分が小さくなり相対的にノイズが大きくなる。そこで、このノイズを軽減するためには、長時間撮影による積算が有効であるが、検査時間が長くなるといった問題があった。
【解決手段】 撮影条件を変えて同一部分におけるプリント基板上の実装部品の第１、第２のＸ線画像からエネルギーサブトラクション処理によって第３の画像を得、前記第１または第２の画像から第３の画像を差し引いて回路パターンのみの第４の画像を得、該第４の画像を平滑化フィルタ処理を行ってノイズを除去して第５の画像を得、前記第１または第２の画像から第５の画像を差し引いて半田のみの第６の画像を得、この第６の画像から半田の良否を判定するようにしたプリント基板の半田検査方法である。 （もっと読む）

【目的】 Ｘ線の投射により，半田付け部の良否を精度良く判定すること。
【構成】 半田付け部の断面形状の良否を，半田付け部の基板と部品とのそれぞれの接点に対応する接点対応点を通過する直線と透過量分布曲線との比較において行うので，半田付け部の断面形状の良否が正確に判断される。また、半田付け部の断面形状の良否を，検出した断面形状と理想状態の断面形状とを形状を示す各パラメータの定量的比較において行うので，半田付け部の断面形状の良否が正確に判断される。 （もっと読む）

【目的】 倍率や電子銃の加速電圧等の測定条件の変動によって生ずる測長値の誤差や複数の測定装置間で生ずる測定誤差を正確に補正し、しかもその出力には補正処理を施した測長値を直接得ることができる走査型電子顕微鏡を得る。
【構成】 測定サンプルと測定倍率が異なるそれぞれの測定条件に対して、各測定条件に対応した補正式ｙ＝ａｘ＋ｂを、設計値と特定の測長値とに基づいて作成し、これを端末装置６からディスク装置５に格納し、所定の測定条件での測長の際、ディスク装置５に格納されている補正式の中からこの測定条件に対応する補正式を選択し、この補正式により測長値を補正するようにした。 （もっと読む）

少なくとも一つの三次元座標系（５；２４）内の本体（３６）の位置と方向を検出する装置であり、この装置は、Ａ）位置検出センサー（１）；およびＢ）少なくとも一つの座標系（５；２４；２６）内で本体（３６）の位置と方向を算定するために位置検出センサー（１）へ接続したコンピュータ（８）を含み、Ｃ）前記装置は重力ベクトル（１９）の方向を算定する補助手段（２５）を含む。重力または地球の磁場に関連した影響から生ずる欠陥に関して磁気光学Ｘ線写真（３５）を修正する方法であり、この方法は以下の段階：ａ）重力ベクトル（１９）の方向を検出する段階；ｂ）Ｘ線器械（２８）の位置と方向を算定する段階；ｃ）重力により引き起こされたＸ線器械（２８）の機械的変形によるＸ線写真（３５）のゆがみを算定する段階；ｄ）地球の局所的磁場により引き起こされたＸ線写真（３５）の欠陥を算定する段階；ｅ）受像機（２９）に生成するＸ線写真（３５）の光学的変形を算定する段階；およびｆ）コンピュータ（８）を用いて、段階ｃ）、ｄ）およびｅ）で算定された欠陥に関してデジタル化したＸ線写真を修正する段階を含む。 （もっと読む）