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国際特許分類[G01B15/04]の内容

国際特許分類[G01B15/04]に分類される特許

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【課題】 ケーブルの沿線方向の形状状態をより正確に測定するための形状状態測定方法、及びこれに用いるケーブルの形状状態測定システム、ケーブルの形状状態測定プログラム、ケーブル状態評価方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るケーブルの形状状態測定方法は、直交3方向をX,Y,Zとするとき、沿線方向がX−Y平面と交差するように配置された芯線における、X−Y平面と平行かつZ方向に所定間隔で並ぶ複数の芯線断面の断面形状を、X−Y平面の2次元データとして取得する断面形状取得工程と、前記断面形状取得工程により取得される複数の前記断面形状の2次元データから、当該芯線の断面中心を前記複数の芯線断面それぞれについて特定し、前記ピッチ間隔に基づいて、前記複数の芯線断面における前記断面中心を3次元座標値として取得する断面中心座標値取得工程と、前記断面中心座標値取得工程により得られる断面中心の3次元座標値に基づいて、沿線方向の形状状態を数値として出力する形状状態出力工程と、を備えている。 (もっと読む)



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【目的】本発明は、測長対象のパターンのエッジを検出するエッジ検出方法およびエッジ検出装置に関し、測長対象領域から取得した画像について、複数方向に所定量だけずらしてその差分を算出してこれらを合成し、ずらした量の太さをもつ輪郭線を自動生成し、画像から迅速かつ精度良好にパターンの輪郭線を生成して自動計測することを目的とする。
【構成】 測長対象のパターンを含む画像を取得するステップと、取得した画像について、複数方向に所定量だけずらしてその差分をそれぞれ算出するステップと、算出した複数の差分画像を合成し、パターンの輪郭線を生成するステップとを有する。 (もっと読む)


【課題】試料上にレジスト材料が形成されていても、その表面形状を、ミラー電子プロジェクション式検査装置によって検出可能にするパターン検査技術を提供する。
【解決手段】試料7のレジスト材料表面に照射することでその表面の電気伝導度を上げることのできる波長(160〜250nm)の紫外光を、紫外光源30より試料表面に対して全反射する角度(試料水平方向に対して約10度以下)以下で入射させることにより、試料表面のみを導電性にするよう構成する。 (もっと読む)


【課題】基板上に金属層を堆積させる方法および基板のトポグラフィカルフィーチャを3次元で測定するための方法の提供。
【解決手段】前駆体ガスは、直径約0.7mmのガス噴射システムの管状ノズル50を用いてサンプル上方に導入される。約8×1017mol/cm2sのガス流が用いられる。図2に例示される実施形態においては、2つのノズル50および60が存在し、2種類の異なる前駆体ガス55、65が基板上方に導入される。対象となる領域を走査する走査電子顕微鏡の電子ビーム70は、前駆体ガス55、65を活性化させるために用いられ、この結果、選択された領域40の基板のトポグラフィカルフィーチャ上に金属層が堆積される。 (もっと読む)


【課題】精度を維持してCT画像の合成を行うことができ、試料を部分的に拡大して撮影する場合等においても、複数の3次元画像を高い精度のもとに合成して試料全体の3次元情報を正確に得ることのできるX線CT装置を提供する。
【解決手段】回転テーブル3上に試料Wを収容する筒状の枠体20を配置し、その枠体20には、回転テーブル3上への搭載状態で回転軸Rに略直交する方向に伸びる少なくとも1本の溝を21a,21b,21cを形成しておき、各部分撮影に際しては溝21a,21b,または21cのいずれかを含む領域を各撮影領域の重複領域に収まるようにすることで、各3次元画像の合成に際しては各溝21a,21b,または21cが合致するように画像を合成することによって、合成精度を向上させることを可能とする。 (もっと読む)


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