国際特許分類[G01B15/04]の内容
物理学 (1,541,580) | 測定;試験 (294,940) | 長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定 (22,327) | 波動性または粒子性放射線の使用によって特徴づけられた測定装置 (737) | 輪郭または曲率の測定用 (232)
国際特許分類[G01B15/04]に分類される特許
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高度な粗さ度量衡
特徴部を評価する方法であって、前記特徴部の画像を受け取るステップと、前記画像において前記特徴部のエッジ上で、複数の突端の、それぞれの座標を決定するステップからなる前記方法。非円の非線状形状を有する図形は、複数の突端に適合され、その複数の突端と図研との間の、それぞれの距離が決定される。特徴部のための粗さパラメータは、それぞれの距離に応じて計算される。上記方法は、電子走査型顕微鏡(SEM)により結像されるように、集積回路の限界寸法(CD)の分析において、更に、特に、これらの特徴部と構成要素の測定において応用を見出す。
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X線による溶接検査方法及び溶接検査装置並びにその検査装置を用いた溶接装置
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