【課題】測定物の上面も側面も１０〜１００ナノメートルの超高精度で走査測定できる三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】上面スタイラス１ａは、エアスライド１ｃによりＸＹ方向には振れずに測定物の上面を走査測定でき、第１のミラー１ｂとレンズ２ｄｅによりＺ座標も精度良く測定でき、側面スタイラス２ｉａは、ＸＹ方向にのみ変位可能でＺ方向には振れないので測定物の側面を走査測定でき、側面スタイラス２ｉａのＺ座標測定は前記第１のミラー１ｂのＺ座標測定値を利用して、より高精度に側面スタイラスのＸＹ変位を傾斜角度測定部２ｊで測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 汎用性が大で簡単な構造で球体を満遍なく回転させることができるようにする。
【解決手段】 球体１を回転自在に受持する一対のローラ３，４と、この一対のローラ３，４をそれぞれ回転駆動するサーボモータ２７，２８と、前記両サーボモータ２７，２８を制御して前記球体１の１回転中に一対のローラ３，４の角速度を高低変化させながら一方のローラ３，４が高角速度のときに他方が低角速度となるように回転させる制御手段７とを備えている。また、前記制御手段７は、一対のローラ３，４を角速度高低変化させながら回転する途中に、球体１の少なくとも１回転における高角速度の時間長さを長短変更する回動制御機能４３を有している。 （もっと読む）

【課題】エアー放出量を低減して省エネルギー化を図れる産業機械を提供する。
【解決手段】三次元測定機１（産業機械）は、エアーを供給するエアー供給部７と、エアー供給部７から供給されるエアーにより駆動される駆動機構２５と、エアー供給部７から駆動機構２５にエアーを導入するエアーレギュレータセット内に設けられ、エアーレギュレータセット内の空気供給路を開閉する電磁弁と、駆動機構２５が駆動停止してからの時間が予め設定された設定時間になると、電磁弁を制御して、空気供給路を閉塞させるモーションコントローラー３と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】ゴム層内に埋設されたスチールコードの位置を非破壊方式で簡便に測定でき、かつ取り扱いも容易で低コスト化が可能な測定装置を提供する。
【解決手段】基板１２の載置面１２０４をゴム層２の上面に載せ、測定位置基準部１２０６をゴム層２の端面２ａに押し当てた状態で、球体１４を案内部１２０２に沿って測定位置基準部１２０６から離間する方向に転動させ、球体１４が、ゴム層２の端面に最も近接するスチールコードの真上に転動され、スチールコードとの磁気結合によりスチールコードに吸着されて静止した時の位置と測定位置基準部１２０６との間の距離をスケール１８の目盛から読み取る構成にした。 （もっと読む）

【課題】球体の実際の移動状態に近いデータを獲得可能な球体移動経路の測定方法を提供する。
【解決手段】操作ユニットおよび三軸加速度計Ｃを用意し、三軸加速度計Ｃと操作ユニットとを接続させ、三軸加速度計Ｃで測定したデータを操作ユニットに伝送し、測定対象物Ｏの内部に三軸加速度計Ｃを置き、三軸加速度計ＣでＸＹＺ三軸の空間座標を定義し、第一測定時点に三軸の初期位置を確認し、第二測定時点に比較位置を確認し、データを操作ユニットに伝送する。ＸＹＺ三軸のそれぞれの比較位置と初期位置との間の角度を比較し、ＸＹＺ三軸の軸方向上の力を受けた後の加速度データと、それぞれ軸方向の分力のベクトルと、それぞれ軸に対する旋転力とを算出する。三つの軸方向の加速度値と、測定対象物Ｏの重量およびサイズとに基づいて、測定対象物Ｏの初期速度、飛行時間、飛行高度、飛行距離および旋転速度のうちの少なくとも一つのデータを求める。 （もっと読む）

【課題】 移動機構の揺動を抑えて移動機構を移動させることができ、制御対象物による測定誤差を低減できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、被測定物を載置するテーブル１１と、テーブル１１に対して移動可能な支持部２１３を有し、支持部２１３で支持されて所定の軸方向へ移動可能に設けられ、プローブ１２を所定の軸方向へ移動させる移動機構２と、移動機構２を制御する制御装置と、門型フレーム２１に取り付けられ、移動機構２と制御装置とを接続するケーブルを案内して収納するケーブルベア３とを備えるものであって、ケーブルベア３の重心を通ってＺ軸方向に延びる重心軸線Ｏ−Ｏが、Ｘ軸方向において、支持部２１３の中心を通ってＺ軸方向に延びる支持案内軸Ｐ−Ｐと一致している。 （もっと読む）

【課題】 移動機構の位置に基づく信号を出力するリニアエンコーダの原点位置を検出する動作を不要にでき、短時間で測定を開始できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル２と、スピンドル２の位置を制御することにより制御対象物の位置を制御する制御装置３とを備えるものであって、スピンドル２の絶対位置を出力するアブソリュート型のリニアエンコーダ１１を備える。このため、三次元測定機１による測定を短時間で開始できる。 （もっと読む）

【課題】 制御装置の機種の増加を抑えることができてコスト増を防止できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、複数の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構２と、移動機構２に接続されて移動機構２を各軸方向に制御する各軸の制御信号を送受信する第１ポート３２１と第２ポート３２２と第３ポート３２３とを有し、移動機構２を制御する制御装置３とを備えるものであって、制御装置３は、各軸の制御信号を生成する制御信号生成部３２４と、各ポート３２１〜３２３で送受信する各軸の制御信号をそれぞれ設定させる設定部３２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】外乱に基づいて不適切な幾何誤差が計測された場合であっても、そのような不適切な幾何誤差に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、きわめて効果的に防止することが可能な幾何誤差の計測方法を提供する。
【解決手段】幾何誤差の計測においては外乱誤差有無確認ステップを実行し、幾何誤差を同定する前に、Ａ軸およびＣ軸を複数の条件で割り出して、ターゲット球１２の直径を計測し、それらの計測値のバラツキを算出し、それらのバラツキが予め設定された直径変動量許容値Ｄａを超えた場合には、計測ミスと判断する。 （もっと読む）

【課題】外骨格および伝達手段を有するＣＭＭアームを提供する
【解決手段】 ベース端及びプローブ端を有する内部ＣＭＭアームと、複数の伝達手段を介して内部ＣＭＭアームを駆動する外骨格とを備える、外骨格を有するＣＭＭアームの装置が提供される。１つ又は複数の接触プローブ、光学プローブ、及び工具が、プローブ端に取り付けられる。外骨格を有するＣＭＭアームは、手動操作可能な実施形態及び自動実施形態で提供される。外骨格を有するＣＭＭアームは、高精度測定のため、又は高精度動作を行うために動作可能である。外骨格を有するＣＭＭアームの動作の方法が提供される。 （もっと読む）