【課題】有底の凹部の状態を非破壊で検査し、製造コストを低減させる。
【解決手段】本発明のウエハ５０のビア孔５１の検査方法は、有底のビア孔５１が表面に形成されたウエハ５０に被転写材料を塗布し、この被転写材料をビア孔５１内に充填させ、被転写材料を硬化させた後、ウエハ５０から離型させることでビア孔５１がビア像７１として転写されてなる被転写体７０を形成する転写工程と、ビア像７１の表面を観察することでその表面形状の画像データを作成する表面観察工程と、ビア像７１の画像データに基づいてビア像７１の形状を評価し、ビア孔５１内の状態を検査する検査工程とを備えたところに特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】ロール紙のカール量を簡単な方法で測定することにより適正なカールの補正を行うことを目的とする。
【解決手段】ロール紙１０が収納されたカートリッジ１１０と、前記カートリッジ１１０内のロール紙１０の先端を検知する検知手段と、前記ロール紙１０を回転させて、前記ロール紙１０を搬送するための駆動手段と、前記検知手段により前記ロール紙１０の先端を検知した後に、前記駆動手段により前記ロール紙１０を回転させることにより、前記検知手段により再び前記ロール紙１０の先端を検知し、前記ロール紙１０の先端を検知してから、再び前記ロール紙１０の先端を検知するまでの前記ロール紙１０の搬送量に応じて、前記ロール紙１０のカール量を判定するカール判定手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 様々な表面形状に対して比較的に容易に適用可能な特徴形状抽出演算方法及び表面形状補正演算方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 この方法は、表面形状測定装置によって測定された被測定物の表面形状を表わす表面形状測定データ点群から、該被測定物の表面形状の所要の特徴形状を表わす特徴形状データ点群を抽出する特徴形状抽出演算方法であって、前記表面形状測定データ点群によって構成される仮想表面に接触可能な二次元もしくは三次元の形状を有する仮想接触子を想定し、前記仮想表面における複数の異なる位置において該仮想接触子を該仮想表面に接触させたことを仮想したときに、各位置において該仮想接触子が接触する前記仮想表面上の１以上の接触点における前記表面形状測定データ点群の中のデータ点を抽出して前記特徴形状データ点群とする特徴形状抽出演算方法である。 （もっと読む）

【課題】金属コイルを固縛するバンドに跨って印字することなく、固縛後の金属コイルの表面に対して、印字レイアウトの制約を遵守しつつ情報を的確に印字できること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる印字装置１は、バンド１６によって固縛された金属コイル１５に印字する装置であり、検出部２および印字レイアウト決定部８を備える。検出部２は、金属コイル１５の印字対象領域の中から、バンド１６の位置等を含む印字不可領域と、この印字不可領域以外の印字可能領域とを検出する。印字レイアウト決定部８は、指示された制約を加味した印字レイアウトと印字可能領域との適合度を所定の評価関数によって評価して、この制約を遵守しつつ印字可能領域に文字群を印字できる印字レイアウトの候補を複数選出し、選出した複数の候補のうち、文字群の印字面積が最大となる候補を印字レイアウトとして決定する。 （もっと読む）

【課題】被計測面の表面形状の計測において、部分領域の計測データのつなぎ合わせ（スティッチ）に要する計算負荷の低減に有利な技術を提供する。
【解決手段】正六角形の外形を有する被計測面２の表面形状を計測する計測方法であって、前記被計測面２に対して、前記被計測面２の全体を覆うように、平行四辺形の同一の外形を有する複数の部分領域８を設定する第１ステップと、前記複数の部分領域８のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記複数の部分領域８のそれぞれについて計測データを取得する第２ステップと、前記複数の部分領域８のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面２の表面形状を算出する第３ステップと、を有し、前記平行四辺形は、１２０度と６０度の内角を有し、一辺の最大の長さが前記正六角形の一辺の長さ以下。 （もっと読む）

【課題】 複数の３次元形状計測法、表面計測手法を相補的に組み合わせることで、測定対象の形状によらず高い計測精度を確保した３次元形状検査方法およびその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、検査対象の参照モデルの形状データである参照データを格納する格納部と、前記参照データから第１の形状データを取得する領域を特定する領域特定部と、前記領域特定部で特定した領域について前記第１の形状データを取得する第１の３次元形状センサと、前記領域特定部で特定した領域以外の領域について前記検査対象の前記第１の形状データとは異なる第２の形状データを取得する第２の３次元形状センサと、前記第１の形状データと前記第２の形状データとを統合する相補的統合部とを備えることを特徴とする３次元形状検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】単孔用ツールと複孔用ツールを併用し、多数の箇所を最短時間又はこれに近い短時間で検査することができる多点検査装置と方法を提供する。
【解決手段】単孔用ツール１４ａと、複孔用ツール１４ｂと、ツールのいずれかを孔２に対して位置決めする位置決め装置１２と、各孔２の中心位置と干渉物４の位置とを記憶する記憶装置１８とを備える。（Ａ）各孔２の中心位置と干渉物位置を表示し、（Ｂ）指定した孔２の検査順が干渉物位置を通過する場合に、その前後を別の列として扱い、（Ｃ）検査順の各列に含まれる孔数ｍが、複孔用ツール１４ｂで同時に検査する孔数ｋより小さい場合に、単孔用ツール１４ａの使用と、検査順に基づく孔２の順を決定し、（Ｄ）ｍ≧ｋの場合に、複孔用ツール１４ｂの使用と、検査順に基づくｋ個毎の孔２の順を決定し、かつｋより少ない最後の１又は複数の孔を複孔用ツール１４ｂで同時に検査する孔を決定する。 （もっと読む）

【課題】柔軟な物体同士の接触面の形状をより正確に測定できる測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる接触面形状測定装置１００は、柔軟な物体１０２、１０４同士の接触面１０６の形状を測定する測定装置において、接触面に沿って配置される柔軟性を有する基板１０８と、基板に貼付され貼付位置での基板の歪量を測定する２つ以上の歪センサ１１０と、歪量に基づいて曲率を算出し、該曲率に基づいて、２つ以上の歪センサが貼付された経路に沿った接触面の形状を近似した曲線を算出する形状近似部１２０と、基板上の経路に配置され配置位置での基板の傾斜角を測定する少なくとも２つの加速度センサ１１２と、いずれかの加速度センサの配置位置における近似した曲線の接線角と測定した傾斜角との差分を算出する比較部１２２と、差分が所定の値以内に収まるように、近似した曲線を補正する補正部１２４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）