【課題】 本発明は走査型プローブ顕微鏡及びその動作方法に関し、探針と試料とが接触することを確実に回避することを目的としている。
【解決手段】 探針を試料表面に対して相対的に走査し、これにより試料表面の凹凸を測定する走査型プローブ顕微鏡において、それまでに走査した走査ラインにおける試料表面の高さ情報の最高値に対応して高さ方向の走査基準位置を更新するとともに、走査基準位置に対する高さ方向での探針の相対移動の制限値を設定し、当該更新後に次の走査ラインの走査を順次実行する。 （もっと読む）

【課題】 カンチレバーを取り外すことなく探針の汚染を除去し、かつ試料の表面変質を防止する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡において、試料測定室、探針洗浄室および両室の間の遮断機構を備え、両室の間でカンチレバーを移動可能とし、紫外光照射機構ならびにオゾン供給機構を探針洗浄室に備え、両機構が動作中は試料測定室と探針洗浄室を遮断することを特徴とする。
カンチレバーは、探針洗浄室にて紫外光およびオゾンを用いて探針洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】 微小試験片に張力を加えた際の変位量を高精度に測定することができる変位量測定装置及び変位量測定方法を提供すること。
【解決手段】先端部にチップ（Ｔ）が形成された第１及び第２カンチレバー（１１、１２）を有するマルチプローブ（１）と、第１及び第２カンチレバー（１１、１２）の形状変化を検出する検出部と、マルチプローブ（１）を走査させるスキャナと、スキャナを制御する制御部と、試験片（２）に張力を加える引張機構とを備えた変位量測定装置であって、複数の凸部（２２）が等間隔に表面に形成された試験片（２）に対して引張機構によって張力を加える前後で、制御部がスキャナを制御し、マルチプローブ（１）を用いて、凸部（２２）が配列された方向に沿って試験片（２）の表面を所定距離走査し、検出部が、チップ（Ｔ）の位置変位による第１及び第２カンチレバー（１１、１２）の形状変化から試験片（２）の表面の高さ情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、所望の表面粗さを維持することができると共に、つくりやすい粗さ標準片を提供することにある。
【解決手段】 粗さ測定器の校正に用いられる粗さ標準片１０において、所望の表面粗さを満足する微細な凹凸が形成されている型に樹脂を当てて得られた、該型の凹凸に対応する微細な凹凸１２ａをもつ基準体１２と、前記基準体１２上に均一な厚みでしっかり密着された、所望の硬度を有する保護膜１４と、を備え、前記保護膜１４が基準体１２と同じ凹凸１４ａをもち、該保護膜１４の凹凸１４ａが前記粗さ測定器の校正に用いられることを特徴とする粗さ標準片１０。 （もっと読む）

【課題】 本発明は走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離測定方法及び装置に関し、探針先端と試料表面が接触せず、高速でアプローチする、走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離測定方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 探針６を使用して試料１表面を走査し、試料１表面の凹凸を原子分解能で測定を行なう原子間力顕微鏡であって、探針６と試料１表面の距離を近づけるための第１段階の高速アプローチと第２段階の精密アプローチを組み合わせるようにした。この結果、全体として試料表面と探針間のアプローチ時間を短縮することができる。 （もっと読む）

板ガラスを測定する装置である。この装置は安定したベースを含み、ベース上には複数の再配置可能な支持部材が配列されている。シート状ガラスは支持部材上に配置され、ｘ−ｙ軸及びｚ軸に沿って測距装置を平行移動させるシステムに連結されたレーザ測距装置等の従来の測距装置が、シート状ガラスの上方に懸下される。複数の距離測定が行われ、その後、平面からのシート状ガラスのずれが決定される。各支持部材と測定されるシート状ガラスとの接触は点接触であるのが好ましい。
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【課題】 支持剛性が高く、振動や温度変化の影響が少なく、光学顕微鏡と組み合わせた場合に、対物レンズや照明装置をサンプルに十分近接できるように薄型のユニットで構成されプローブとサンプルの位置合わせが容易に行えるようなＺ軸粗動機構を有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 プローブ２１が取り付けられた走査型プローブ顕微鏡ユニット４をサンプルＳに近接させるＺ軸粗動機構１１０を、Ｚ軸方向に移動可能な上面移動テーブルを有し、上面から低面にかけて中空の開口部１１３を有し、中空開口部１１３の周囲を取り囲む外周部から内周部にかけて切欠を有する構成とし、走査型プローブ顕微鏡ユニット４を上面移動テーブル上に設けられたＸＹステージ１４０に固定し中空開口部１１３に配置した。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置又はその一部を較正又は検定する方法及びデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】リソグラフィ装置又はその一部を検定又は較正する方法において、チョーベネットの判定基準などの所定の客観的判定基準を使用して、視野毎に、又は基板毎に個々に測定ポイントが除外される。 （もっと読む）

【目的】試料の表面平面と凹凸部の側壁及び底面の走査を容易且つ正確に行うことができることを目的とする。更に、試料の平面の凹凸部の底角部を死角となることなく正確に操作できるナノチューブプローブを提供する。
【構成】カンチレバー部２に長軸状の突出部３が設けられ、この突出部３の先端部の側部に平坦面３ａが形成され、この側部平坦面３ａに突出部３の軸線方向に対して先端が斜め傾斜方向に突出するようにナノチューブ４ａ、４ｂが配置され、このナノチューブ４ａ、４ｂの基端部が側部平坦面３ａにコーティングあるいは融着により固定され、ナノチューブ４ａ、４ｂの先端を探針として用いる。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、試料表面の吸着層の影響で正確に試料表面の弾性や塑性変形を測定することができないという点である。
【解決手段】 試料と探針を離間した状態から接近させ、接触させ又は接触状態から離間させることにより測定を行う走査形プローブ顕微鏡であって、前記探針に横振動を作用させる加振手段を設けたことを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。また、前記測定は大気中、又は低真空雰囲気中で行われる走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）