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国際特許分類[G01B21/30]の内容

国際特許分類[G01B21/30]に分類される特許

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【課題】原子間力顕微鏡に、電気伝導率を計測できる新しい構成の4探針のプローブを導入すること。
【解決手段】従来のAFMプローブを基にして作製された、4探針型原子間力プローブ(4PAFMプローブ)のミクロ構造を模式的に示す。
4PAFMのプローブの電極は、集束イオンビームシステム(FIB)を用いたカンチレバーのチップ上に、3つのスリットを作製することにより構成されている。また、カンチレバーとプローブ基板は、図(b)に示されているように、コーティングされた金の薄膜をエッチングすることによって、4つの独立した伝導部分に分かれて、定電流源及びデジタル電圧計(図示せず)に接続されており、それぞれ電流と電位差信号を伝送する。プローブの2つの外側の電極は電流のソースとドレインとして動作し、電位差を内側の電極間を介して測定するとよい。 (もっと読む)


【課題】 ターゲット物質相互間の斥力による影響を回避して、カンチレバーの表面上にターゲット物質認識物質との結合を介して、付着するターゲット物質の面密度をより高めることが可能であり、その荷重によって、カンチレバーの共振周波数の変化量をより大きくでき、高い検出感度でターゲット物質の検出を可能とする検出方法の提供。
【解決手段】 外力を加えて、予め撓んだ状態とした上で、カンチレバーとターゲット物質と接触させると、ターゲット物質同士の斥力が小さい状態で、ターゲット物質認識物質との結合を介して、ターゲット物質の付着がなされ、その後、カンチレバーを撓ませていた外力を取り除き、カンチレバーの共振周波数の変化量を測定すると、より高い検出感度、また、より簡易な手順でターゲット物質の検出が可能となる。 (もっと読む)


【課題】より精度の高いエレベータのガイドレール据付精度測定装置を提供する。
【解決手段】エレベータのガイドレール1aとかご2との変位距離を検出しガイドレール変位信号を出力するガイドレール変位検出手段101,102と、ガイドレールの昇降路内への据付時の位置の基準となる昇降路の頂部から底部まで垂下されたピアノ線7と、このピアノ線とかごとの間隔の変位距離を検出しかご変位信号を出力するかご変位検出手段103,104と、かご変位検出手段からのかご変位信号とガイドレール変位検出手段からのガイドレール変位信号からガイドレールの精度を演算して求める精度測定手段120と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】 光学顕微鏡を用いて試料裏面から観察を行いながら試料と探針の位置合わせを行うことが困難であったという点である。
【解決手段】 試料に対向する探針と、前記試料を置載面に置載する試料ステージと、前記試料ステージを前記置載面方向に走査すると共に、高さを変化させるスキャナと、を有し、前記探針と前記試料との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡において、前記試料ステージの少なくとも試料を置載する部分が光を透過し、前記試料ステージの置載面の裏面から前記試料を写すミラーと、前記ミラーからの像を受ける光学顕微鏡と、前記試料と前記探針を相対的に位置合わせする位置合手段と、を備え、前記光学顕微鏡の像に基づいて前記試料と前記探針の位置合わせを行う走査形プローブ顕微鏡。 (もっと読む)


【課題】AFM型寸法測定機による寸法計測方法において、円柱形状のドットパターンや円柱穴形状のホールパターン等の非直線パターンの最大幅寸法を正確に計測するパターン寸法計測方法を提供するものであり、また、その計測方法を行い得るパターン寸法計測装置を提供する。
【解決手段】基板表面に垂直方向に励起振動する探針をカンチレバーに設けた原子間力顕微鏡で前記基板表面のパターンを寸法計測するパターン寸法計測方法において、前記探針の走査方向にほぼ垂直方向で、かつ前記基板表面に平行に前記探針を振動させて前記パターンのエッジを検出して寸法計測することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 極めてサイズが小さく、高感度・高性能のセンサを少なくとも一部が弾性変形を生じる微細構造体の所望の位置に所望の形状・サイズで設けられるようにする。また、微細構造体の弾性変形を測定する際の部品の組立・調整の容易化、検出回路の小型化・簡略化を図るとともに、微細構造体の微細箇所の局所的変位を検知できるようにする。
【解決手段】 開示される微細構造体は、梁部14が弾性変形を生じるカンチレバー1である。このカンチレバー1には、梁部14の弾性変形をトンネル効果により検出するセンサ12が設けられている。 (もっと読む)


【課題】微細な大きさの異物が転がり軸受内に存在するか否かを簡単な方法で検査する技術を提供する。
【解決手段】転がり軸受内部の異物有無検査方法であって、検査対象の転がり軸受は、相対回転可能に対向して配置された一対の軌道輪2,4と、各軌道輪の対向面2a,4aにそれぞれ形成された軌道面8,10間に転動自在に組み込まれた複数の転動体6とを備えており、当該転がり軸受のすきまをマイナスに設定し、所定の荷重を加えながら各軌道輪を所定時間相対回転させた後、転動体の表面形状の変化に基づいて転がり軸受の内部に異物が存在しているか否かを検査する。 (もっと読む)


【課題】高スループットで試料にダメージを与えずに、試料の正確な立体形状情報を計測でき、垂直な側壁やオーバーハングを含む試料の正確な立体形状情報を計測できる走査プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】探針を測定点のみで接触させて次の測定点に向かうときには探針をいったん引き上げて退避させてから次の測定点に移動してから、探針を接近させることによって試料にダメージを与えずに正確な立体形状を用いる方法において、高周波・微小振幅カンチレバー励振と振動検出を行い、さらに、急傾斜部での接触力検知感度を上げるために、横方向励振あるいは、縦横2方向励振をおこなう。探針を測定対象の傾斜に合わせて傾斜させる手段と、探針と試料の接触状態を検知する光のカンチレバーでの反射後の向きが、探針の傾きによって大きく変わることを吸収または調整できる構造をもつ。 (もっと読む)


【課題】走査範囲を大きくでき、しかも高精度に試料の観察を行うことができる走査型プロ−ブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】探針1と、探針1の位置を検出する位置検出器2と、探針1を試料Sに対して直交する方向に変位させる変位機構3と、変位機構3をZ軸に対して直交するX軸方向に移動させる走査機構4と、変位機構3をZ軸及びX軸に対して相互に直交するY軸方向に移動させる走査機構5とを備えた走査型プローブ顕微鏡である。変位機構3をZ軸方向に伸縮する圧電素子10にて構成する。走査機構4を、Y軸方向に伸縮する圧電素子11と、圧電素子11の伸縮をX軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構12にて構成する。走査機構5を、X軸方向に伸縮する圧電素子13と、圧電素子13の伸縮をY軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構14にて構成する。 (もっと読む)


【課題】光記録媒体でのV溝形状のグルーブと、ここに形成された記録マークとの位置関係及び記録マークの形状を精密に測定する。
【解決手段】V溝形状のグルーブを有する光記録媒体に記録マークを形成しておき、これを、記録マーク測定装置50における走査型プローブ顕微鏡52をAFMモードとしてプローブにより走査し、得られた凹凸像の信号から、V溝の底部のみを残すデータ処理を施して、グルーブ底部強調凹凸像を得て、このグルーブ底部強調凹凸像と検出電流により得られたコンダクティブAFM像とを合成して、グルーブ底部と記録マークとの位置関係を測定する。 (もっと読む)


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