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国際特許分類[G01B21/30]の内容

国際特許分類[G01B21/30]に分類される特許

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【課題】
高スループットで試料にダメージを与えずに、試料の正確な立体形状情報と同
時に試料の局所的特性に関する分布情報を計測できる走査プローブ顕微鏡を提供
することである。
【解決手段】
光学式の高感度近接センサを具備して試料と探針との接近を制御することによ
って、各測定箇所へのアプローチを高速化した。また、プローブを間歇的に試料
に接触させて探針を試料上で引きずらないようにしながら試料高さデータを得る
と同時に、試料への接触期間に同時に、探針に電圧を掛けたり、探針を振動させ
て応答を計測したり、試料表面の局所的光強度を検出したりすることにより、走
査速度を落とさずに試料上の材質の分布に関する付加的情報を得られるようにし
た。 (もっと読む)


【課題】エンジンのシリンダボアの真円度あるいは円筒度を測定する際、実際のエンジンの作動状態に近似させた状態で測定を行い、エンジンの作動状態における正確な真円度の測定データを得る。
【解決手段】測定するエンジンのシリンダブロック1とシリンダヘッド3とを締結ボルト4により組み付けて組立体9とする。これをシリンダブロック1が上側となるように設置し、両方のウォータジャケットに高温の流体を送り込む。この状態で測定装置20を組立体9の上方からシリンダボア2に挿入して測定することにより、エンジンの作動時の状態を再現し、内部応力や熱膨張の影響を反映した真円度を測定することができる。測定装置20には、位置決めのため、シリンダボア2と合致する第1基準部材21と、シリンダブロック1の主軸受部7に合致する第2基準部材とが設けられる。 (もっと読む)


【課題】本発明が解決しようとする問題点は、カンチレバーの試料表面上での微小変位の変位量や変位スピードを高精度にコントロールしてカンチレバーと試料表面に働く局所的な微小な摩擦力の測定することができなかったという点である。また、上記測定において、長い時間をかけた状態と同等の状態を作り出して測定を行うことができなかったという点である。
【解決手段】試料と対向する探針との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡の測定方法において、前記探針を有するカンチレバーを加振手段により前記試料表面方向に振動させ、前記試料と前記探針との間の距離をスキャナにより変化させ、前記探針を前記試料に押し込んで前記試料の微小摩擦を測定する方法。 (もっと読む)


【課題】波長が混在した塗膜に対して、需要者の嗜好性に原点を置いた新規で簡便な塗膜外観の評価方法を見出し、その評価方法により需要者満足度の高い塗装レベルとは何かを明らかにし、更に、需要者満足度の高い塗装を有する塗装物品、塗装物品の製造方法、塗膜外観の評価装置を提供する。
【解決手段】塗膜の表面うねりのうち、波長1mm〜10mmのうねりの振幅の大きさを選択的に測定し、この測定結果の大小によって前記塗膜の表面の塗膜外観を評価する塗膜外観の評価方法。 (もっと読む)


【課題】 漏れ光の影響を受けることなく、試料の電気的物性を高精度に測定すること。
【解決手段】 先端に探針2を有するカンチレバー3と、該カンチレバー3を支持する支持部4と、カンチレバー3の変位量に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗素子5とを有する自己検知型プローブ6と、ピエゾ抵抗素子5を流れる電流値を検出してカンチレバー3の変位量を検出する検出手段と、試料を載置する試料台と探針2とを、XY方向及びZ方向に相対移動させる移動手段と、探針2と試料表面との距離が一定になるように移動手段を制御すると共に試料Sの表面形状を測定する制御手段と、探針2と試料表面との間に所定の電圧を印加する印加手段と、印加された電圧に起因する電気物性情報を測定する測定手段とを備え、探針2が、カンチレバー3の基端側まで延びると共に測定手段に電気的接続可能な導電膜28に電気的に接続されている走査型プローブ顕微鏡を提供する。 (もっと読む)


探針20を備えるカンチレバー21と、探針・試料間の物理量を測定する測定部を備え、試料表面を測定する走査型プローブ顕微鏡の探針交換方法である。走査型プロープ顕微鏡は、カンチレバーの取付け部22と、カンチレバーカセット30と、カンチレバーカセットを移動させるXYステージ14とZステージ15と、光学顕微鏡18を備える。上記の走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバー取付け部とカンチレバーカセットの間の位置合せを行い、カンチレバーカセットからカンチレバーを選んでカンチレバー取付け部に装着する第1ステップと、カンチレバー装着後に、光学顕微鏡装置を移動させ、装着されたカンチレバーを観察視野の所定位置に設定する第2ステップとを含む。第2ステップでは、光学顕微鏡側またはカンチレバー側を移動させて位置調整を行うステップを設ける。
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【課題】 観察対象や観察目的に応じてスキャナを交換する必要が無く、高い分解能を保ったまま、微小領域から広域までの観察を行うことのできる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 探針13をX−Y−Z軸方向に移動させる探針側スキャナ10と試料12をX−Y−Z軸方向に移動させる試料側スキャナ11の2つのスキャナを設ける。探針側スキャナ10として最大走査範囲の小さいスキャナ、試料側スキャナ11として最大走査範囲の大きいスキャナを使用し、観察対象や観察目的に応じて両者を切り替えて使用する。あるいは、探針側スキャナ10で微小領域の走査を行うと共に、試料側スキャナ11によって観察視野を移動させる。 (もっと読む)


【課題】 静止時のクリープ現象の発生を解消し、高速走査と高精度位置決めの両立を可能にし、動的位置決め精度を確保することができる、高速かつ高精度で、スムーズな走査移動等を行うことができる機械式の移動装置を提供する。
【解決手段】 この移動装置は、走査ステージ211を移動させる方向に対して平行に設けられた2組の駆動軸機構(205A,206A−1,205B,206B−1等)と、これらの2組の駆動軸機構のそれぞれに設けられた位置検出機構(213A,213B)と、2組の駆動軸機構の動作を制御するコントローラ33等とから成り、コントローラ等は、少なくとも走査ステージの静止時に、2組の駆動軸機構のそれぞれの駆動位置の偏差dを維持するように2組の駆動軸機構を駆動制御するように構成される。 (もっと読む)


【課題】 標準試料を測定することなく探針の評価を行うことのできる走査型プローブ顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡の探針の評価方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 本発明にかかる走査型原子間力顕微鏡100は、試料を複数の画素に分割して、各画素の高さを、探針と試料との間に作用する物理量を検出することにより測定する測定部120と、前記測定部120が測定した各画素の高さと隣接する画素の高さに基づいてそれぞれ勾配を算出する勾配算出部112と、算出した前記勾配を用いて、勾配を階級とした頻度分布を作成する頻度分布作成部114と、前記頻度分布に基づいて、前記探針の評価を行う探針評価部116と、を含む。 (もっと読む)


【課題】 装置に装着された探針の長さを測定して探針長さを正確に管理し、探針の摩耗状態を正確に推測し、測定中に探針の先端状態を良好に保持し、探針の使用寿命を延長し、測定・検査の精度を良好に保持できる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 この走査型プローブ顕微鏡は、試料12に対向する探針20を有する探針部(21,22等)と、探針を移動させる探針移動機構14,15,23,29と、探針と試料の間で生じる物理量を測定する測定部63(24,31,32)と、試料が載置される試料ステージ11を備え、探針で試料の表面を走査して試料の表面を測定する走査型プローブ顕微鏡において、探針20の軸方向の長さを測定する探針長さ測定機構62を備えるように構成される。 (もっと読む)


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